【課題】ケーシングとダイアフラムおよびヘッドフランジの径方向位置が相対的に移動することを防止して、シール内における不安定流体力の発生、および、シールとロータとの接触を抑制しロータの不安定振動を防ぎ、高圧条件下でも高効率で安定した運転が可能な遠心圧縮機を提供する。
【解決手段】ケーシングと、該ケーシングの内部に設置され流路を形成するダイアフラムと、前記ケーシング端部においてシアキーによって取り付けられるヘッドフランジを有するバレル形遠心圧縮機において、前記ケーシング内周面と、前記ダイアフラムと前記ヘッドフランジの当接部外周面に、面に垂直なすべりキー溝を、周方向の少なくとも２箇所に設け、該キー溝にすべりキーを設けたことを特徴とする遠心圧縮機。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、バランスドラムのシール部に流入する漏れ流れの旋回流れを抑制し、多段ポンプのシール部に発生する不安定流体力を低減することである。
【解決手段】最終段羽根車の背面に漏れ量とスラストを低減するためにバランスドラムが取り付けられている多段ポンプにおいて、バランスドラムの固定側に旋回止めのリブを設け、その旋回止めリブの半径方向長さをバランスドラムの回転側まで伸ばすことによって、バランスドラムのシール部に流入する漏れ流れの旋回流れを抑制する。 （もっと読む）

【課題】幅，高さ方向に高精度で均一な塗布ができるようにしたインクジェット塗布装置及び方法を提供する。
【解決手段】各塗布ヘッド１５は、Ｘ軸方向に配列されて、４個ずつで１つのグループをなす。同じグループでは、塗布ヘッド１５がＹ軸方向の位置を異にし、グループ間では、Ｙ軸方向に同じ位置の塗布ヘッドが１つずつある。異なるグループのＹ軸方向に同じ位置の１つずつの塗布ヘッド１５は同じＺ軸保持プレート２０ｂｃに搭載されている。各塗布ヘッド１５は微動Ｚ軸駆動手段２０ａを備え、個別にＺ軸方向に移動可能である。また、Ｚ軸保持プレート２０ｂｃ毎に個別Ｚ軸駆動手段２０ｂ₁が設けられ、これにより、Ｚ軸保持プレート２０ｂｃが個別にＺ軸方向に移動可能である。また、共通Ｚ軸駆動手段３０が設けられ、これにより、全てのＺ軸保持プレート２０ｂｃが、従って、全ての塗布ヘッド１５が同時にＺ軸方向に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】オンオフ式制御弁を備えたスクリュー圧縮機において、不要に高い圧力でスクリュー圧縮機を運転するのを防止する
【解決手段】スクリュー圧縮機１は、吸入側にオンオフ式制御弁を、吐出側に圧力検出手段３を有する。制御装置２に、全負荷運転及び無負荷運転のそれぞれのサイクル時間を検出する検出手段３０を設け、吐出圧力が下限圧力設定値になるとオンオフ制御弁をオンして全負荷運転し、吐出圧力が上限圧力設定値になるとオンオフ弁をオフして無負荷運転する。サイクル時間検出手段が検出したサイクル全負荷運転時間および無負荷運転時間から全負荷運転と無負荷運転の双方を含む１サイクルの時間内における消費流量を算出し、末端圧力が一定となるように上限圧力設定値および前記下限圧力設定値を自動調整する。また、制御装置にスクリュー圧縮機の運転条件および運転状態を表示する表示器２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄方法、被洗浄物の洗浄装置を提供する。
【解決手段】浸漬時に空気１６を保持可能な穴部１４を表面に有する被洗浄物（多結晶シリコン１２）を洗浄槽１８に浸漬して前記洗浄槽１８を気密封止し、前記洗浄槽１８内の空気を排出することにより前記洗浄槽１８内を減圧する工程と、気体４４を前記洗浄槽１８内に導入することにより前記洗浄槽１８内を加圧する工程と、を繰り返すことにより、前記穴部１４に保持された空気１６を前記洗浄液２８と入れ替えて前記穴部１４の洗浄を行う被洗浄物の洗浄方法であって、前記気体４４として、空気より溶解度の低いものを前記洗浄槽１８に導入することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、蒸発器に送風する複数の送風機のうち少なくとも１台が故障し、風量が減少し冷却能力が低下する場合でも、冷却能力を増加させ能力を補償することができる冷媒循環装置を提供する。
【解決手段】本発明の冷媒循環装置は、凝縮器３に供給される冷媒温度を制御する凝縮器側冷媒温度制御機器７を備える。凝縮器側冷媒温度制御機器７は、凝縮器３の出口の冷媒液管４に設けられた凝縮器冷媒液温度センサ８の測定値が凝縮器側外部入力温度の設定温度になるように、熱媒体配管２５に設けられた熱媒体流量制御弁２３の開度を制御する。また、凝縮器側冷媒温度制御機器７は、送風機故障検知手段６から故障信号が入力された場合に、凝縮器側外部入力温度の設定温度を低下させ、凝縮器冷媒液温度センサ８の測定値が設定温度になるように熱媒体流量制御弁２３の開度を制御する。 （もっと読む）

【課題】高い清浄度でウェブを洗浄する。
【解決手段】表面に洗浄液が供給される洗浄ローラ５に、当該洗浄ローラ５上に形成される洗浄液の液膜を介してウェブ２を巻装させた状態で、当該ウェブ２が搬送させられ、洗浄ローラ５の周速度とウェブ２の搬送速度とが異なる速度に制御される。これにより、洗浄ローラ５とウェブ２との間に、大きな速度勾配を持った液流を有する薄い液膜が容易に形成され得る。かかる液流により、ウェブ２へのダメージを抑えて、効果的に異物がウェブ２から除去される。 （もっと読む）

【課題】穴を有する洗浄対象物を洗浄した場合の洗浄性能を容易に評価することのできる洗浄性能評価用部材及び洗浄性能評価方法を提供する。
【解決手段】模擬的な穴部（５０）を形成した洗浄性能評価用部材（１０）を洗浄槽（７２）内の洗浄液（７０）に浸漬し、洗浄槽（７２）内の洗浄液（７０）に超音波を照射しながら洗浄槽（７２）内の減圧及び大気開放を繰り返して洗浄性能評価用部材（１０）を洗浄し、この洗浄工程終了後に洗浄性能評価用部材（１０）の洗浄性能を液浸透性能又は液交換性能に基づいて評価する。 （もっと読む）

【課題】高い清浄度でウェブを洗浄する。
【解決手段】ウェブ２の表裏面の少なくとも一方の面に対して、洗浄液が供給される。これにより、ウェブ２の面に沿った液流が発生させられる。この洗浄液には、ウェブ２の面に存在する異物１１に接触させるためのブラスト材１２が混入されている。したがって、ウェブ２の表面に沿った液流自体による剥離作用だけでなく、ブラスト材１２が接触することによる剥離作用が、異物１１に対して働く。このようにして、ウェブ２の面に沿った液流により、ウェブ２の面に存在する異物１１が除去される。 （もっと読む）

【課題】除湿機から出力する風量を減らすことにより、イニシャルコスト及びランニングコストを低減することのできるドライ環境室設備を提供する。
【解決手段】除湿機で除湿された除湿空気を複数の部屋に供給するドライ環境室設備において、前記部屋は所定湿度の高条件室のドライ環境室と、前記高条件室のドライ環境室より相対的に湿度の高い低条件室の準ドライ環境室からなり、前記除湿機から除湿空気を前記ドライ環境室に供給すると共に、このドライ環境室から内部の除湿空気を前記準ドライ環境室に供給する。 （もっと読む）