【課題】本発明は、加湿手段の運転に無駄を生じさせることなく、かつエネルギを浪費することなく、湿度制御を正確に行うことができる気化式加湿器を提供する。
【解決手段】本発明の気化式加湿器１０は、加湿材２６のうち加湿に必要な加湿モジュールのみ給水して所望の湿度を得る。給水されていない加湿モジュールには、空気が単に通過するだけである。よって、気化式加湿器１０の出口１６からは、給水されて濡れた加湿モジュール（Wet Zone）を通過した加湿空気と、給水されていない加湿モジュール（Dry Zone）を通過した非加湿空気とが混合された空気が吹き出される。この混合量（混合比）を、給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄの開閉で制御して所望の湿度を得る。すなわち、露点計２４で検出された露点に基づき、バルブ制御部３６が給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄの開閉を給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄごとにフィードバック制御することで、所望の湿度を得る。 （もっと読む）

【課題】微小粒子の表面を表面コーティング材でコーティングするときに、コーティング厚さを制御した微小粒子を製作する。
【解決手段】流体機器装置４５０は、リザーバータンク４０２と濃縮装置４１３とを有している。リザーバータンク内で、微粒子２０１の表面をコーティングする。そのため、微粒子が分散浮遊した分散液を噴出させるノズル４０１を、ほぼ鉛直方向に配置する。ノズルから下方に分散液を噴出させる。分散液の下方への移動中に、微粒子の表面をコーティングする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加湿手段の運転に無駄を生じさせることなく、かつエネルギを浪費することなく、湿度制御を正確に行うことができる気化式加湿器を提供する。
【解決手段】本発明の気化式加湿器１０は、加湿手段２４によって加湿された空気の加湿流路１２と、この加湿流路１２と分岐され加湿されていない空気の非加湿流路２８とを備えており、非加湿流路２８を流れる空気を、加湿流路１２を流れる空気に混合させるとともに、その混合量を、露点計２６で検出された露点に基づき、指示調節計４２がダンパ１８、３４の開度を比例制御することで制御し、所望の湿度の空気を得る。 （もっと読む）

【課題】搬送開始位置から目的位置まで複数ある搬送経路のうち、最小時間で搬送可能な搬送経路を選択して複数の搬送物を短時間内に搬送するようにした搬送システムにおける搬送経路の決定方法を提供すること。
【解決手段】搬送開始位置Ｘから目的位置Ｚまで複数ある搬送経路Ａ，Ｂのうちその１つの搬送経路Ａ，Ｂを選択して複数の搬送物を搬送するようにした搬送システムにおいて、各搬送経路Ａ，Ｂにおける搬送時間と待機位置１４，１５，２４，２５で待機している待機時間により搬送開始位置Ｘから目的位置Ｚに到着するまでの搬送所要時間を計算で求め、各搬送経路Ａ，Ｂの搬送所要時間を比較して最小時間で搬送可能な搬送経路Ａ，Ｂを決定して搬送するようにする。 （もっと読む）

【課題】攪拌装置に電動機や減速機を不要にするとともに、簡略な機構で攪拌羽根の駆動軸を低速回転させることができる排ガス処理装置を提供すること。
【解決手段】担体を充填した担体層２に排気ガスを導いて処理するとともに、該担体層２を攪拌羽根３により攪拌する攪拌装置を設けた排ガス処理装置において、ラチェット歯車１１と、ラチェット歯車１１に噛合するラチェット爪８を備えた爪付きアーム７とを同軸かつ個別に回転可能に設け、ラチェット歯車１１と爪付きアーム７の一方を攪拌羽根３の駆動軸４に接続するとともに、ラチェット歯車１１と爪付きアーム７のもう一方をシリンダ１３のロッド１４に揺動可能に接続する。 （もっと読む）

【課題】より正確な劣化度を求め、過去に行なったメンテナンスなどの経験を生かせる劣化度算出方法を提供する。
【解決手段】この機器の劣化度算出方法は、機器の使用開始からの経過時間を複数の期間に分割し、過去の劣化度に基づいて、機器の種類ごとに前記分割した各期間のそれぞれについて、予め劣化度の推移を求め、メンテナンス検討対象とする機器とその累積使用時間とから、予め求めた劣化度の推移に基づいて、メンテナンス検討対象機器に対して、その累積使用時間における劣化度を求める。 （もっと読む）

【課題】
搬送台車の走行輪からの発塵や、発生した塵埃の乱流による巻き上げを効果的に防止するクリーンルーム内搬送装置の走行輪発塵防止装置及び走行輪発塵防止方法を提供する。
【解決手段】
クリーンルーム１１の床板１５に形成されたスリット１７と、床板１５よりも下方に設けられた走行レール１８、１８にスリット１７を通して接触する走行輪２０を備えた搬送台車１０の走行輪２０を床板１５近傍まで覆うように設けられた走行輪カバー２１と、スリット１７を密閉するように両側を床板１５に密着させるとともに、走行輪２０近傍となる走行輪カバー２１直下のスリット１７を密閉しないシールベルト２５と、を備えることにより、清浄エアが走行レール１８、１８近傍で床板１５下に向って流れる気流を走行輪２０近傍に限定して発生させる。 （もっと読む）

【課題】既設の立軸ポンプを先行待機運転に対応できるポンプに変更しても、長時間ドライ運転可能にする。
【解決手段】立軸ポンプ用軸受装置３は、揚水を潤滑液として立軸ポンプの主軸１を回転支持する。主軸の外周面に対向して摺動部材７を配置する。摺動部材を軸受ケース８が保管する。摺動部材は樹脂を炭素繊維で補強した複合樹脂製であるとともに、軸受ケースに圧入により固定されている。摺動部材の反摺動面側または軸方向側部に摺動部材と主軸との摺動により発生する熱を放熱する機構を設ける。具体的には、軸受ケースと摺動部材とを半径方向に串刺しにする熱伝導率が摺動部材よりも大きい複数のピン９を設ける。 （もっと読む）

【課題】
ガラス基板の洗浄で用いた洗浄液がガラス基板表面に付着残留して生成される液滴を、狭い空間内で乾燥除去する
【解決手段】
ガラス基板の乾燥装置１０では、ガラス基板１を保持具２ａ、２ｂが垂直に保持する。保持具２ａはガラス基板の上端部に、保持具２ｂは下端部に配置され、搬送と保持を兼用する。ガラス基板の周囲部には、乾燥手段１２が配置されており、少なくとも上下動及び水平動のいずれかがが可能である。乾燥手段はノズル３を有し、親水性の有機溶剤であるイソプロピルアルコールを含むガス流を噴射可能である。 （もっと読む）

【課題】
汚泥から水分を取り除く遠心脱水装置において、装置の運転に要するエネルギーを低減する。
【解決手段】
遠心脱水装置１００は、汚泥が流通可能な空洞部およびこの空洞部から汚泥を放出する排出口７ｃが形成された中空軸２と、この中空軸を回転自在に支持する支持手段３、５と、中空軸の外周部に設けられ軸方向に汚泥を搬送可能な排出手段７ａと、この排出手段よりも半径方向外方に前記中空軸とほぼ同軸に配置され、中空軸とは異なる回転速度で回転可能なドラム１０とを有する。ドラムはフィルタ９ａとこのフィルタの外径側であって円周方向に間隔をおいて多数配置した羽根１０ａとを有する。 （もっと読む）