【課題】被測定媒体が感圧ダイアフラムに付着して堆積した場合でも感圧ダイアフラムの撓みを抑制して零点シフトを抑制するようにした静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】被測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出するダイアフラム構造の圧力センサチップを備えた静電容量型圧力センサにおいて、センサダイアフラム３２０の一面は被測定媒体を導入する圧力導入室側とし、他面はコンデンサ部を形成するコンデンサ室側とし、センサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁がセンサダイアフラムのコンデンサ室側の周縁よりも圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見て外側に位置し、かつセンサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁のコンデンサ室側の周縁に対する圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見た広がり幅が、センサダイアフラム３２０の半径の１％〜１５％となっている。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置が相互干渉することなく設定器で設定された正確な流量を得ることができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路の開閉を調節するソレノイドバルブ２０と、このバルブを駆動するバルブ駆動回路２１を有する流量制御装置であって、入力されるアナログ電圧値またはアナログ電流値を所定のデジタル値またはアナログ値に変換して伝達するアナログ入力回路２３と、この入力回路から伝達されたデジタル値またはアナログ値を、設定された流量に応じた指示信号を出力する制御部２２と、制御部とバルブ駆動回路を電気的に絶縁すると共に、制御部からの指示信号をバルブ駆動回路へ伝達する信号伝達部と、アナログ入力回路及び制御部とを電気的に絶縁すると共に、アナログ入力回路及び制御部へ電源供給する絶縁型電源回路と、バルブ駆動回路へ電源供給する非絶縁型電源回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】半田を供給する部位が半田の溶融温度に到達したか否かを確実に判定することができる溶融温度判定装置を提供する。
【解決手段】半田を供給する部位Ｙに予め形成された予備半田部Ｚの画像を得るカメラ２と、部位Ｙを加熱する半田鏝３と、カメラ２により逐次得られた画像から予備半田部Ｚが存在する領域Ｗを抽出する抽出手段１１と、抽出された領域Ｗの各画素の輝度値を算出する輝度値算出手段１２と、各画素の輝度値の変化に基づいて、半田鏝３で加熱された部位Ｙが半田の溶融温度に到達したか否かを判定する判定手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧力スイッチの耐久性及び検出性能を低下させずに、荷重調整板を小型・軽量化することを目的とする。
【解決手段】圧力スイッチに搭載されるスナップアクション機構は、外力伝達機構からの駆動力を受けて動作する可動部５０を有する主板５と、主板５に固定される荷重調整板９とを備える。荷重調整板９は、主板５の幅方向に当該主板５の幅よりは短く延出される。主板５の、荷重調整板９が固定される側の端部５ｃには折り曲げ部５ｅが形成されている。 （もっと読む）

【課題】上位コントローラに通信機器を介して接続された調節計の一部が故障し、一時的に代替え調節計を接続した場合でも、代替え調節計の機能を補填する通信機器を提供する。
【解決手段】ＰＬＣ２と調節計の間に通信可能に設けられ、交換の必要な調節計３ｂを代替え調節計４に交換し、通信アドレスの互換を補填するパラメータアドレス変換部６２と、交換後の調節計の機能を代行するパラメータ読出／書込代行機能部６３と、交換前の調節計と交換後の調節計が同様の機能を有するように交換後の調節計に加工したパラメータを提供する等価機能提供機能部６４を有し、交換が必要になった調節計が確保できるまで一時的に製造工程の調節を可能にする。 （もっと読む）

【課題】固定ベースに対してケースを片手で着脱操作することができかつケース内部の体積を大きくすることが可能な固定ベースとケースの着脱構造を提供する。
【解決手段】固定部材に固定される固定ベース１２と、固定ベースに着脱可能なケース１３からなり、ケース１３の一側に形成された係合部１３Ａが固定ベース１２の一側に対応して形成された係合部１２Ａに着脱可能に係合され、ケースの他側に形成された係合孔１３ｇが固定ベースの他側に形成された係止爪１２ｇに着脱可能に係合するように形成されたケース１２と固定ベース１３の着脱構造において、ケースの係合孔１３ｇ内に係合孔１３ｇと係止爪１２ｇとの係合を解除する係合解除手段１５を設けた。 （もっと読む）

【課題】簡易な計算により半導体ウェハ等の回転体の中心位置を高精度に求めることのできる中心位置検出方法を提供する。
【解決手段】円板体の周縁に沿って配置された少なくとも３個のラインセンサを用い、これらのラインセンサにより検出される前記円板体のエッジ位置と円の方程式から求められる中心直交座標位置（ａ,ｂ）を示す２次の有理多項式を、前記円板体の半径ｒに関与しない有理式に近似する。そしてこの近似式に基づいて、上記各ラインセンサによりそれぞれ検出される前記円板体の径方向のエッジ位置Ｓと、各ラインセンサの方位角θに基づいて予め求めた係数Ａ,Ｂとの積和演算によって前記円板体の中心直交座標位置（ａ,ｂ）を算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】システムの可用性を維持しつつ、複数のアプリケーションサーバ間のメンテナンスを容易とすること。
【解決手段】プロキシプロセス２１からプロキシプロセス１１へアプリケーション２２１に関する情報であるアプリケーション情報２３１を送信する。プロキシプロセス１１は、アプリケーション情報２３１を管理情報記憶部１３へ登録し、ＷＥＢサーバ３０からのサービス提供要求を代表して受信し、アプリケーション情報２３１に基づきアプリケーション２２１の実行の依頼をプロキシプロセス２１へ行う。プロキシプロセス２１は、アプリケーション情報２３１に基づきアプリケーション２２１を実行する。 （もっと読む）

【課題】口径が小さい測定管においても、測定管の流路を極端に狭くすることなく、信号電極の面積を大きくとり、測定管の全口径で信号電極を１種類に統一できるようにする。
【解決手段】測定管１の内周面５に対向して測定管１の内径φよりも外側に凹んだ平面状の底面を有する窪み部６，６を設ける。窪み部６，６の測定管１の内周面５との境界部をなす周囲の縁面はテーパやＲなでで滑らかに測定管１の内径φとつながっている。また、窪み部６，６の底面６ａ，６ａには貫通孔６ｂ，６ｂが設けられている。信号電極７，７を、その平板状の電極部７ａ，７ａの裏面と窪み部６，６の底面６ａ，６ａとの間にガスケット８，８を介在させて、測定管１の窪み部６，６に取り付ける。なお、ライニング３がテフロンの場合、ガスケット８は省略できる。 （もっと読む）

【課題】子機との親子関係を自動的に親機に設定する。
【解決手段】子機１から計測データを自己の識別情報を付加して定期的に送信する。親機２に子機データ記憶エリアを自己と親子関係を設定することが可能な子機の最大台数分設ける。親機２は、子機１からの計測データを受信すると、その計測データに付加されている識別情報を読み取り、この読み取った識別情報が子機データ記憶エリアに記録されているか否かをチェックする。子機データ記憶エリアに記録されておらず、子機データ記憶エリアに空エリアが残されていれば、その残されている空エリアの１つに子機１からの識別情報、計測データ、通信品質（電波強度）、受信時刻を記録する。 （もっと読む）