【課題】ＵＶチューブの性能の劣化に応じてアノード電極とカソード電極の間に印加する電圧の大きさを調節することができる火炎センサを提供する。
【解決手段】向かい合う面電極を備えたＵＶチューブを用いた火炎センサにおいて、向かい合う面電極のうち一方が少なくとも１枚のアノード電極であり、もう一方が第１カソード電極及び第２カソード電極の２枚のカソード電極であるようにしたので、炎検出に使用するアノード電極を放電が開始される電圧の測定にも兼用して使用することができるので、部品点数も少なくて済み、簡単な構成で火炎センサの小型化を実現しつつ、性能の劣化や故障まで検出し、適当な電圧に調整することができる。 （もっと読む）

【課題】ＵＶチューブのガラス管内の放電によって発生する熱の影響を抑え、感度良く紫外線を検出することが可能な火炎センサを提供する。
【解決手段】一対の電極（１１，１２）を有するガラス管１０を備えたＵＶチューブを用いた火炎センサにおいて、ガラス管の外側の表面にペルチェ素子１５を備えるようにしたので、火炎センサ自身が温調機能を備えるようになるため、ガラス管内のガス圧の大幅な上昇を防ぐことができ、放電開始電圧も設計通りの範囲の値とすることができるので、感度良く紫外線を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】局所排気系統の故障を検出して局所排気風量を適切な量に制御する。
【解決手段】室圧制御システムは、部屋１００内に設置されたヒュームフード１０１−１，１０１−２と、局所排気ダクト１０２−１，１０２−２と、給気ダクト１０３と、一般排気ダクト１０４と、局所排気バルブＥＸＶ１，ＥＸＶ２と、給気バルブＭＡＶと、一般排気バルブＧＥＸと、コントローラ１０５−１，１０５−２，１０６，１０７とを有する。コントローラ１０７は、複数の局所排気系統のうち少なくとも１つの局所排気系統が故障と判断した場合に、当該局所排気系統の局所排気バルブを最大開度にして強制排気を行う。 （もっと読む）

【課題】室圧バルブの寿命を延ばす。
【解決手段】室圧制御システムは、部屋１００内に設置されたヒュームフード１０１−１，１０１−２、局所排気ダクト１０２−１，１０２−２、給気ダクト１０３、一般排気ダクト１０４、局所排気バルブＥＸＶ１，ＥＸＶ２、給気バルブＭＡＶ−Ｍ，ＭＡＶ−Ｂ、一般排気バルブＧＥＸ−Ｍ，ＧＥＸ−Ｂ、コントローラ１０５−１，１０５−２，１０６，１０７、差圧センサ１０９を有する。コントローラ１０６は、給気バルブＭＡＶ−Ｍ，ＭＡＶ−Ｂと一般排気バルブＧＥＸ−Ｍ，ＧＥＸ−Ｂのうち何れか１つを室圧バルブとして決定し、差圧センサ１０９によって計測された圧力差が設定値に一致するように室圧バルブを制御する。コントローラ１０６は、所定の規則に従って室圧バルブとして機能させるバルブを切り替える。 （もっと読む）

【課題】火炎検出回路のコストを低減させる。
【解決手段】火炎によって整流作用を発揮する火炎センサ（３）と、この火炎センサと直列に接続されたコンデンサ（２）と、火炎センサおよびコンデンサに接続された交流電源（１）と、火炎センサの外部端子に接続される入力端子を備え、コンデンサおよび交流電源から電力の供給を受けて火炎が発生していることを検出する信号処理回路（５）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】差圧測定器を効率的に校正可能な差圧測定器の校正システムを提供する。
【解決手段】差圧測定器３の校正システム４０であって、圧力発生装置４によって複数の設定値の圧力を加えられた第１の圧力測定器１が検出した圧力の複数の検出値、及び圧力発生装置４によって複数の設定値の圧力を加えられた第２の圧力測定器２が検出した圧力の複数の検出値を収集する収集回路４１と、複数の設定値と、第１の圧力測定器１が検出した複数の検出値と、の差に基づき、第１の圧力測定器１が検出する圧力の検出値の第１の補正式を決定する第１の補正式決定部４５ａと、複数の設定値と、第２の圧力測定器２が検出した複数の検出値と、の差に基づき、第２の圧力測定器２が検出する圧力の検出値の第２の補正式を決定する第２の補正式決定部４５ｂと、を備える、差圧測定器の校正システム。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構成でフィールド機器とインターロックとの監視を行う。
【解決手段】スイッチ３１〜３４を直列に接続してインターロック３を構成し、このインターロック３を、電源１、圧力計（フィールド機器）２、シャント抵抗５と直列に接続する。これによって、フィールド機器の伝送路を流れる直流電流を利用してインターロック３の状態（スイッチ３１〜３４の接続状態）の監視を行うことができる。したがって、インターロックを監視するための電源を別途設ける必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】ＨＡＲＴ通信対応機器を採用する場合であっても、比較的安価なコストでシステムを再構築する。
【解決手段】ＨＡＲＴ通信信号を送受信するＨＡＲＴ通信対応機器１０と、ＨＡＲＴ通信対応機器１０から受信したＨＡＲＴ通信信号に含まれる直流信号とデジタル信号とをそれぞれ別の系統に送信するＨＡＲＴ−ＩＯユニット１１と、ＨＡＲＴ−ＩＯユニット１１から送信された直流信号を通信バス１８を介して受信する制御系統と、ＨＡＲＴ−ＩＯユニット１１から送信されたデジタル信号を通信ケーブル１６を介して受信する監視系統と、ＨＡＲＴ−ＩＯユニット１１に接続可能な現場端末２１と、を備え、制御系統および監視系統は同一のネットワーク上に形成され、現場端末２１は、制御系統および監視系統から通信ケーブル１６を介してＨＡＲＴ−ＩＯユニットの情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】空調空間を目的の空調環境へ制御するための操作量を分布系流動解析手法で算出する場合でも良好な応答性を得る。
【解決手段】正規操作量算出部１５Ｂで、空調空間５０内の空調環境を分布系流動解析することにより、空調空間５０を目的空調環境へ制御するための正規操作量を空調機器ごとに算出し、仮操作量算出部１５Ｃで、空調空間５０を目的空調環境へ近づけるための仮操作量を、正規操作量の算出処理と並行して、正規操作量の算出所要時間より短い処理時間で空調機器ごとに算出し、空調指示部１５Ｄで、仮操作量を用いた仮空調制御を開始し、この後に正規操作量が算出された時点で、正規操作量を用いた正規空調制御を開始する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップを高い精度で製造可能な半導体チップの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の機能素子が設けられた半導体ウェハの上面に第１の保護テープを貼ることと、第１の保護テープの上面から半導体ウェハを切削し、それぞれ機能素子が設けられた複数の半導体チップを得ることと、複数の半導体チップのそれぞれの上面に貼り付いている第１の保護テープ上に粘着テープを貼ることと、粘着テープと共に、第１の保護テープを複数の半導体チップの上面から剥離することと、複数の半導体チップの上面に第２の保護テープを貼ることと、第２の保護テープを複数の半導体チップの上面から剥離することと、を含む、半導体チップの製造方法。 （もっと読む）