【課題】複数の棒状ヒータランプが並列配置されるとともに、該ヒータランプを点灯制御する制御部を備えた熱処理装置において、余計な部材を使うことなく、簡単な制御によって、ワーク表面を均一加熱できるようにすることである。
【解決手段】前記ヒータランプは、中央ランプ群と、その両側に配置された端部ランプ群とに区分けされ、前記制御部は、前記端部ランプ群を構成するヒータランプを点灯した後に、前記中央ランプ群を構成するヒータランプを点灯するよう制御して、ワークの中央部領域と端部領域とが熱反応温度以上の温度領域にいる反応時間帯をほぼ一致させたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一な照度分布を有し、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができるランプユニットおよび光照射装置を提供すること。
【解決手段】ショートアーク型の放電ランプとリフレクタよりなる複数の光源素子１２を、一方向に並べて配置し、複数列の光源素子列１１ａ，１１ｂからなるランプユニット１０を構成する。光源素子列１１ａと光源素子列１１ｂにおける光源素子１２はＸ方向（光源素子列の並び方向）に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置され、ランプユニット１０の全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の光量分布の均一度を向上させる。また、光源素子列１１ａ，１１ｂの光出射側には、光量補正板２５ａ，２５ｂを設け、各光源素子１２から出射した光の光量分布におけるトップ近傍における光量を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する。 （もっと読む）

【課題】ワークに伸縮変形が生じても、投影露光によりワークに形成するパターンの位置を、それ以前の露光処理により形成されているパターンの位置と、次の工程で行うスクリーン印刷等のマスクパターンの位置との間に大きなずれを生じさせないようにすること。
【解決手段】投影露光装置における位置合わせの際、マスクＭのマスクマークＭＡＭ１〜４とワークマークＷＡＭ１〜４のずれ量ｄＲの総和に、マスクＭのマスクマークＭＡＭ１〜４の位置と、次の工程で使用するスクリーンマスクのマスクマークＳＡＭ１〜４の基準位置のずれ量ｄＭの総和を加えたものが最小になるように、上記マスクＭのパターンを拡大または縮小投影する倍率を調整するとともに、マスクＭまたはワークＷを移動させて、マスクＭとワークＷの位置合せを行う。 （もっと読む）

【課題】 複数の希ガス放電ランプの各々の発光効率のバラツキが抑制されると共に太陽電池パネルが温度ムラを生ずることなく規定された温度条件に維持される、新規な構造の太陽電池パネル用耐候試験装置を提供すること。
【解決手段】 この太陽電池パネル用耐候試験装置は、太陽電池パネルの光照射面に対して離間して対向するよう配置された、各々ランプ中心軸が互いに平行に延びる複数の棒状の希ガス放電ランプと、隣接する希ガス放電ランプ間の隙間を通過させて前記太陽電池パネルの光照射面に向かって冷却風を送風する送風機構と、当該送風機構によって送風される冷却風の温度を調整する温度調整機構とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 基板とシリコン層との間に電極形成用金属膜が設けられてなるボトムゲート型のシリコン複合体を、短時間で、クラックや反りの発生を小さく抑制しながら、アモルファスシリコンを結晶化させてシリコン層を結晶シリコンよりなるものに変質させることができるアモルファスシリコンの結晶化方法の提供。
【解決手段】 アモルファスシリコンの結晶化方法は、基板上にアモルファスシリコンによるシリコン層が形成され、当該基板とシリコン層との間に電極形成用金属膜が形成されてなるシリコン複合体を雰囲気加熱してシリコン層を結晶化度が３０〜７５％である結晶シリコンからなるものに変質させる予備加熱工程と、予備加熱工程を経たシリコン複合体のシリコン層に対してフラッシュランプからの光を照射して当該シリコン層を結晶化度が８０％以上である結晶シリコンからなるものに変質させる光照射加熱工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、蛍光体や反射膜を内部に備えたエキシマランプにおいて、エキシマランプが冷却される状態においてもゲッターの吸着性能を高めることのできる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 内面に蛍光物質が設けられた放電容器の外面に一対の電極を配置した長尺状のエキシマランプと、該エキシマランプを内部に挿通した状態で設けられた光透過性材料よりなる外管と、該エキシマランプの一方の端部から他方の端部に向けて冷却風を送風させる冷却装置と、よりなる光照射装置において、該エキシマランプは、放電容器の内部であって他方の端部にゲッターが設けられたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、発光管の封止部のクラックの発生や金属箔の破断の発生を防止することができる放電ランプ点灯装置を提供する。
【解決手段】発光部の両端に箔シール構造の封止部が形成されてなる発光管を有するロングアーク型の放電ランプ１０と、この放電ランプに給電する給電装置２０とを備えてなり、前記放電ランプが、前記給電装置によって、フル点灯モードと、このフル点灯モードによる供給電力より小さい電力を供給するスタンバイ点灯モードとを切り替えて点灯されると共に、前記フル点灯モードによる供給電力が定照度制御される放電ランプ点灯装置であって、前記フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、これに応じて前記スタンバイ点灯モードによる供給電力が大きくなるよう制御される。 （もっと読む）

【課題】 電子線を均一に安定して放射することのできる電子線源装置および高い発光効率の得られる電子線励起型光源装置を提供すること。
【解決手段】 この電子線源装置は、各々カーボンナノチューブにより構成された、同一平面に沿って離間して並ぶ複数の面状の電子線放出部を有するカソード電極と、電子線放出部と離間して対向するよう配置された、電子線放出部の各々に対応する位置に電子線通過用開口を有する電子引き出し電極とを備えており、電子線放出部から放出される電子線を電子引き出し電極における電子線通過用開口に向かって指向させる電子線レギュレータ部が、各々の電子線放出部の周囲を囲むよう、形成されている。電子線励起型光源装置は、上記の電子線源装置と、この電子線源装置から放射された電子線によって励起される半導体発光素子とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 過冷却状態におかれた場合でも寿命を伸ばすことができ、かつ、始動性が良好なメタルハライドランプ、更にはメタルハライドランプを備えた光照射装置を提供すること。
【解決手段】 ハロゲンが封入されたメタルハライドランプにおいて、ハロゲンは発光管の内容積に対して０．３μｍｏｌ／ｃｃ以上封入され、発光管の外表面上にその管軸に沿うように導電性物質からなる膜が一方と他方の電極間に亘り設けられている。また、前記膜の上にシリカ粒子及び／又はアルミナ粒子よりなる保護層が具備される。光照射装置においては、前記メタルハライドランプと、略樋状の反射ミラーと、冷却機構を具備し、前記反射ミラーは冷却風用の開口を有し、前記メタルハライドランプは前記導電性物質からなる膜が前記反射ミラーの開口に向かって配置されている。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光光源装置の光出射口から露光機側に汚染物質が流出するのを防ぐこと。
【解決手段】高温プラズマＰから放射されたＥＵＶ光は、ＥＵＶ集光鏡６により集光点ｆに集められ、ＥＵＶ光出射口７から出射し、露光機３０に入射する。集光鏡６と光出射口７の間に、モータ９によりＥＵＶ光の光軸と交差するように回転する回転翼（プロペラ）８が配置され、その回転軸９ａは極端紫外光の光路外に配置される。極端紫外光が発光していないとき、回転翼８を集光鏡６と光出射口７の間を通過させる。極端紫外光が発光していないとき光出射口７が回転翼によって実質的に遮蔽され、また、光出射口に向かって進んできた汚染物質が回転翼と衝突し、その進行方向が曲げられることによって汚染物質の流出が抑制される。 （もっと読む）