【課題】光透過窓が帯電することがなく、電子線が半導体発光素子の一面に確実に入射されて高い発光効率が得られる電子線励起型光源装置を提供する。
【解決手段】光透過窓を有するケーシング内に、電子線源およびこの電子線源からの電子線によって光を放射する半導体発光素子が配置されてなり、前記半導体発光素子の一面に前記電子線源からの電子線が入射されることによって、当該半導体発光素子の一面から光が放射されて前記光透過窓から出射される電子線励起型光源装置において、前記光透過窓に、または前記光透過窓と前記半導体発光素子との間に、負の電位に維持される、光透過部を有する電子線遮蔽電極が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フラッシュランプを冷却しつつ、発光管の破損を防ぐことができる閃光照射装置を提供すること
【解決手段】、発光管が石英ガラスより構成されたフラッシュランプと、フラッシュランプの冷却機構とを備えた閃光放射装置において、前記閃光放射装置は、前記発光管の表面に設けられた温度測定手段と、冷却機構を制御する制御部とを備え、発光管の表面の温度を３００〜５００℃に制御すること （もっと読む）

【課題】 イムノクロマトグラフィ法を用い、人為的なミスが介入するおそれがなく、被検物質の検出またはその定量を高い信頼性をもって行うことのできる分析装置を提供すること。
【解決手段】 この分析装置は、被検物質によって呈色反応を生ずる反応領域および前記呈色反応に関連する情報を表すコード領域を同一表面上に有する試験片における当該反応領域および当該コード領域を含む分析領域を視野領域に含む撮影装置を具えており、前記反応領域における呈色の程度によって前記被検物質を検出するものにおいて、撮影装置によって第１の撮影条件で撮影された分析領域の画像をコード読み取り用画像データとして取得すると共に、第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件で撮影された分析領域の画像を被検物質検出用画像データとして取得する構成とされている。 （もっと読む）

【課題】樹脂と樹脂もしくは樹脂とガラス基板からなる２枚のワークを、接合の一様性を確保しつつ、アライメントずれや破損といった不具合が生じないように貼り合わせること。
【解決手段】第１のワークＷ１を反転ステージユニット３０の反転ステージ３１に載置し、第２のワークＷ２を加圧ステージユニット２０のワークステージ２１上に載置し、光照射ユニット１０からＵＶ光を照射する。次いで、反転ステージ３１を１８０°反転させて、ワークステージ２１上でワークＷ１，Ｗ２を重ね合わせ、ワークＷ１，Ｗ２を加圧して仮接合する。そして仮接合状態のワークを、搬送手段により加熱ステージに搬送し、加熱機構で加熱してワーク温度を所定温度まで昇温させて、接合が完了するまでをこの温度を維持する。 （もっと読む）

【課題】複数の棒状ヒータランプが並列配置されるとともに、該ヒータランプを点灯制御する制御部を備えた熱処理装置において、余計な部材を使うことなく、簡単な制御によって、ワーク表面を均一加熱できるようにすることである。
【解決手段】前記ヒータランプは、中央ランプ群と、その両側に配置された端部ランプ群とに区分けされ、前記制御部は、前記端部ランプ群を構成するヒータランプを点灯した後に、前記中央ランプ群を構成するヒータランプを点灯するよう制御して、ワークの中央部領域と端部領域とが熱反応温度以上の温度領域にいる反応時間帯をほぼ一致させたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一な照度分布を有し、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができるランプユニットおよび光照射装置を提供すること。
【解決手段】ショートアーク型の放電ランプとリフレクタよりなる複数の光源素子１２を、一方向に並べて配置し、複数列の光源素子列１１ａ，１１ｂからなるランプユニット１０を構成する。光源素子列１１ａと光源素子列１１ｂにおける光源素子１２はＸ方向（光源素子列の並び方向）に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置され、ランプユニット１０の全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の光量分布の均一度を向上させる。また、光源素子列１１ａ，１１ｂの光出射側には、光量補正板２５ａ，２５ｂを設け、各光源素子１２から出射した光の光量分布におけるトップ近傍における光量を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する。 （もっと読む）

【課題】ワークに伸縮変形が生じても、投影露光によりワークに形成するパターンの位置を、それ以前の露光処理により形成されているパターンの位置と、次の工程で行うスクリーン印刷等のマスクパターンの位置との間に大きなずれを生じさせないようにすること。
【解決手段】投影露光装置における位置合わせの際、マスクＭのマスクマークＭＡＭ１〜４とワークマークＷＡＭ１〜４のずれ量ｄＲの総和に、マスクＭのマスクマークＭＡＭ１〜４の位置と、次の工程で使用するスクリーンマスクのマスクマークＳＡＭ１〜４の基準位置のずれ量ｄＭの総和を加えたものが最小になるように、上記マスクＭのパターンを拡大または縮小投影する倍率を調整するとともに、マスクＭまたはワークＷを移動させて、マスクＭとワークＷの位置合せを行う。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率が高く、高い色再現性が得られるプロジェクタ用光源装置の提供。
【解決手段】それぞれ色光Ｘ、色光Ｙまたは色光Ｚを時間的に２分割して第１分割色光および第２分割色光を形成する３つの色光光源部１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚと、第１分割色光の各々を合成する第１の色合成光学部材２０および第２分割色光の各々を合成する第２の色合成光学部材２５と、第１の色合成光学部材よりの合成光が入射されて第１の光画像が出射される第１の空間変調素子３０並びに第２の色合成光学部材よりの合成光が入射されて第２の光画像が出射される第２の空間変調素子３５と、第１の光画像および第２の光画像を合成する光画像合成機構４０と、合成光画像を投射する合成光画像投射機構５０とを有し、表示すべき画像のフレームの各々における時間的に連続する区分の各々において、色光Ｘ、色光Ｙおよび色光Ｚのうちの２つ以上の色光が同時に投射可能である。 （もっと読む）

【課題】複数のヒータランプが並列配置されるとともに、各ヒータランプは、発光管の内部に軸方向に分割された複数のフィラメントを有するとともに、この複数のフィラメントに対してそれぞれ独立して給電できる給電装置を有する熱処理装置において、余計な部材を使うことなく、簡単な制御によって、ワーク表面を均一加熱できるようにすることである。
【解決手段】前記各ヒータランプの複数のフィラメントのうち、端部フィラメントに給電して当該フィラメントを発光させた後に、中央フィラメントに給電して当該フィラメントを発光させるように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 長手方向および幅方向の全体にわたって照度の均一性の高い帯状の光を放射することができる照明装置の提供。
【解決手段】 照明装置は、光源と、当該光源からの光がその端面において軸方向に入射され、当該軸方向に伸びる帯状の光を放射する棒状の導光体とを有するものであって、光源からの光は、光制御手段を介して導光体に入射され、光制御手段は、入射光を導光体の軸方向に係る放射方向と交わる方向に光を拡散するプリズム素子を有してなることを特徴とする。光制御手段を構成するプリズム素子は、三角錐状プリズムであり、当該プリズム素子の一の稜線が導光体の軸方向に係る放射方向に伸びると共に、導光体の軸中心から離間するに従ってその幅が大きくなるよう配置されてなる構成とすることができる。 （もっと読む）