【課題】光学フィルムを搬送して処理部で所定の処理を行うために、搬送用ベルトとロールが、広いニップ面積で光学フィルムと接触してこれを良好に搬送することができる光学フィルムの搬送方法を提供する。
【解決手段】処理部３で光学フィルム２に所定の処理を行うために光学フィルムを搬送する方法は、無端帯状の搬送用ベルト５の外周面をロール６に押し付け、搬送用ベルト外周面とロールとの間に光学フィルムを挟んだ状態で搬送用ベルトとロールを回転させて光学フィルムを搬送する。 （もっと読む）

【課題】シャッタに長手方向の熱変形を生じた場合でも、ガイド孔内を摺動する複数のシャフトを介してシャッタを円滑に昇降させることができるようにする。
【解決手段】ウェハ用真空加熱装置１０は、シャッタ３にシャフト４，５を介して駆動機構７から昇降動作の移動力を供給する。シャフト５を上側の第１部材５１と下側の第２部材５２との２分割に構成し、上側の第１部材５１に形成した係合片５１３がシャッタ３の長手方向（矢印Ｘ方向）に摺動する係合溝５２１を下側の第２部材に形成した。シャフト４の上端部及び第１部材５１をシャッタ３に固定した。シャッタ３に矢印Ｘ方向の熱膨張を生じた場合には、第１部材５１が第２部材５２に対して矢印Ｘ方向に変位し、シャフト４及び第２部材５２に変形を生じることがない。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により、自動搬送障害の早期原因究明を可能にする通信記録装置およびこれを備えた障害解析装置を提供する。
【解決手段】通信記録装置２０は、Ｄ−ｓｕｂ２５インタフェースを介して、半導体製造装置１６およびＡＭＨＳコントローラ１２にそれぞれ接続される。通信記録装置２０は、タイムスタンプの基になる時間情報を計測するように構成されたシステムクロック４２を備える。さらに、通信記録装置２０は、半導体製造装置１６およびＡＭＨＳコントローラ１２との間で通信される信号の変化内容を、変化内容ごとにタイムスタンプを付加した上で、第１の通信情報としてＲＡＭ４４に記録するように構成されたマイコン３０を備える。 （もっと読む）

【課題】反りのあるウェハに対しても適切な位置合わせを行うことが可能なアライナ装置を提供する。
【解決手段】アライナ装置１０は、エッジセンサ２２、変位センサ２４、および制御部２０を備える。エッジセンサ２２は、ウェハ１００のエッジ位置を検出する。変位センサ２４は、真空チャック１２とエッジセンサ２２との間に配置され、ウェハ１００までの距離を測定するように構成される。制御部２０は、変位センサ２４の検出結果に基づいて、ウェハ１００の断面形状を表す近似式を算出し、算出した近似式の長さに基づいてウェハ１００のエッジ位置を算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】フィルムが貼付されたウエハに搬送位置の誤差や反りを生じている場合にも、ウエハの外周端の位置を撮像範囲の比較的小さいリニアスキャンカメラで正確に検出する。
【解決手段】アライナ装置１０に、リニアスキャンカメラ２、変位センサ６、面振追従機構３、偏心追従機構４を設けた。ウエハＷが１回転する間に、変位センサ６の検出結果に基づいてウエハＷの外周端がリニアスキャンカメラ２の被写界深度内に位置するように面振追従機構３を動作させ、リニアスキャンカメラ２の撮像データに基づいてウエハＷの外周端がリニアスキャンカメラ２の撮像範囲内に位置するように偏心追従機構４を動作させる。ウエハＷが回転している間におけるウエハＷの外周端の垂直方向及び水平方向の位置に追従して、リニアスキャンカメラ２を、ウエハＷに対して相対的に、垂直方向及び水平方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 この発明の目的は、延伸されるべき光学フィルムを安定的に保持することを可能にする光学フィルム加圧装置を提供する。
【解決手段】 光学フィルム加圧装置３０は、フレーム部３４およびベルトユニット３６を少なくとも備える。フレーム部３４は、延伸部１８に取り付け可能に構成される。ベルトユニットは、加圧ローラ１８３に圧接するようにフレーム部３４に支持される。ベルトユニット３６は、光学フィルム１１を介して加圧ローラに圧接するように配置される無端ベルト３８と、この無端ベルト３８を張架する複数のガイドローラ（４０、４２、４４、４６、４８、５０、５２）とを備える。この結果、ニップロール方式のように加圧ローラ同士が圧接するのではなく、無端ベルト３８が光学フィルム１１を介して加圧ローラ１８３に圧接するようになる。 （もっと読む）

【課題】被塗布材に供回りする容器を備え、容器内の気密性を良好に維持できる塗布装置の提供を図る。
【解決手段】塗布装置１は、スピンナー４とインナーカップ３とを備える。インナーカップ３は、Ｏリング３３と蓋部材３２と底部材３１とを備え、内部に収容するワーク９９とともにスピンナー４に供回りする。Ｏリング３３は、弾性体材料により構成された無端状のものである。蓋部材３２は、周壁部３２２を周縁に備える円盤状のものである。周壁部３２２は、Ｏリング３３の外周側に当接する。底部材３１は、周壁部３１２を周縁に備える円盤状のものである。周壁部３１２は、Ｏリング３３の内周側に当接する。底部材３１の回転時に、遠心力により周壁部３１２が蓋部材３２の周壁部３２２よりも大きく外周側に歪む。 （もっと読む）

【課題】可動爪の往復移動をガイドする際に発生する粉塵を回収し易くすることが可能なウェハ搬送用ハンドおよびウェハ搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ウェハ搬送用ハンド２０は、表面がアルマイト処理されたアルミニウムからなるハンド本体２１を備える。ハンド本体２１の内部には、駆動部２５と、この駆動部２５により往復移動を行うように構成された連結プレート２４Ａ〜２４Ｄが設けられる。ウェハ搬送用ハンド２０は、さらにガイド部材２６Ａ、２６Ｂ、２８Ｃ、および２８Ｄを備える。ガイド部材２６Ａ、２６Ｂは、ハンド本体２１のハンド表面における可動爪２２Ａ、２２Ｂと接触しない位置に埋め込まれるように配置される。ガイド部材２６Ａ、２６Ｂは、ハンド本体２１の内部において連結プレート２４Ａ、２４Ｂの往復移動をガイドするように構成される。 （もっと読む）

【課題】異物が付着していない状態での基板の上面の全面に対する光学センサの受光量の変化に基づいて異物の有無を判別する際の閾値情報を作成し、基板に起伏を生じている場合でも基板上における異物の有無を正確に検出できるようにする。
【解決手段】この発明は、定盤１、塗布ヘッド３、センサ４，５及び制御部８を備えている。制御部８は、塗布ヘッド３が処理液を吐出していない状態で移動方向Ｙ１に沿って移動する間におけるセンサ４，５の検出信号を時系列的に記憶し、この記憶内容に基づいて移動方向Ｙ１に沿って連続した検出データの閾値データを作成する。制御部８は、塗布ヘッド３が処理液を吐出している状態で同じ基板１００の上面の全面に対して移動する間に、検出データと閾値データとを比較した結果に基づいて基板１００の上面における異物の有無を判別し、この判別結果に基づいて塗布ヘッド３の移動を制御する。 （もっと読む）

【課題】ウェハが破損するのを防止しつつウェハをクランプすることが可能なウェハクランプ装置を提供する。
【解決手段】ウェハ位置合わせ装置１は、シリンダ４４と、アーム機構４１〜４３と、を備えている。シリンダ４４は上下方向に延びている。アーム機構４１〜４３は、第１アーム４１ａ，４２ａ，４３ａと、第２アーム４１ｂ，４２ｂ，４３ｂと、ばね４１ｃ，４２ｃ，４３ｃと、を備えている。第１アーム４１ａ，４２ａ，４３ａは、シリンダ４４の上方に載置されたウェハの半径方向に沿って往復移動自在にシリンダ４４に支持される。第２アーム４１ｂ，４２ｂ，４３ｂは、第１アーム４１ａ，４２ａ，４３ａに半径方向に沿って移動自在に嵌合しウェハの周縁に当接する。ばね４１ｃ，４２ｃ，４３ｃは、第１アーム４１ａ，４２ａ，４３ａと第２アーム４１ｂ，４２ｂ，４３ｂとを弾性的に接続する。 （もっと読む）