【課題】製造作業の煩雑化や構造の複雑化によるコストの上昇を招くことなく、移動体の絶対位置を正確に検出する。
【解決手段】移動体２０の移動方向Ｘに沿ってスケール１を配置し、移動体２０に取付２１を介して受光素子２を設けた。スケール１には、移動方向Ｘに沿って複数の孔部１１を形成し、各孔部１１に発光素子３を配置した。受光素子２は、スケール１の上面に対向し、各孔部１１の間隔よりも長い検出範囲で発光素子３の光を受光する。孔部１１の絶対位置を予め記憶しておき、発光素子３をスケール１の一端側から順次駆動することで、受光素子２が光を受光した時に駆動中の発光素子３の絶対位置と、受光素子２の検出範囲におけるピーク値の位置と、から移動体２０の絶対位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】ワークストック等の搬送元、搬送先の装置の出し入れが狭い環境であっても、迅速、確実にワークを搬送する半導体製造用搬送装置を提供する。
【解決手段】駆動部を格納する本体部２と、回動中心３０、４０、５０を中心として水平方向に回動自在に取り付けられた第１アーム３、第２アーム４、第３アーム５と、ワークを吸引する吸引口６４，６５を設けた爪６２、６３を有するハンド部６と、開口部５１内にハンド部後端６１を支持するスライド部とを備え、ワークストックの棚に差し込んだワークを出し入れする。また、ワーク検出センサ５２を備え、ハンド部６が第３アーム５へ後進したときにワークの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】ノッチやオリフラの位置合わせをして、次の工程にウェハを受け渡す準備をするウェハ位置合わせ装置、およびこの装置と搬送装置を含めたウェハ位置合わせシステムにおいて、搬送装置による搬送を含めた位置合わせ工程全体を簡易な構成で迅速化する。
【解決手段】
ウェハ位置合わせ装置１は、ウェハ１００を近接隔離して保持する保持具３と、クランパ４１〜４３と、クランパ支持部４１１、４２１、４３１と、これらクランパ支持部を半径方向に開閉するチャック４４と、スピンドル４５と、スピンドル回転機構５と、センサ部６を備える。搬送装置のハンドがウェハ１００をその上面から懸垂保持してベルヌーイ円盤３０をウェハ位置合わせ装置１に受け渡すと、このベルヌーイ円盤３０はウェハ１００を近接隔離して保持し、かつクランパ４１〜４３でウェハ１００に当接した状態でスピンドル４５を回転させ、センサ部６でノッチやオリフラを検出する。 （もっと読む）

【課題】 基板が真空吸着されているか否かを確実に且つ短時間で検出することができる真空吸着装置を提供する。
【解決手段】 一部に真空吸着されていない箇所があると、当該箇所において基板Ｗが基板載置テーブル５の上面から若干浮き上がることになる。そして、基板Ｗが浮き上がると当該箇所または個々に近接する箇所に開口する真空検知穴８で検出する圧力も外部から空気が入り込むため高くなる。したがって、複数設けた圧力センサ１１の全てが真空を感知した時点で、基板Ｗは確実に基板載置テーブル５の上面に吸着されたと判断できる。 （もっと読む）

【課題】 外部振動による影響が低減された塗布装置、特に外部振動による共振が有効に防止された塗布装置を提供する。
【解決手段】
ステージ２及びスリットノズル移動機構を支持する角パイプ２０，２１ａ〜２１ｃの凹所３０に共振防止部材３１を装填する。角パイプに共振防止部材が装填されると、架台１の固有振動数が変わるため、外部振動により共振状態とならない。 （もっと読む）

【課題】 スリットノズルが塗布の際に走行するときにピッチングが抑制される構成の塗布装置を提供する。
【解決手段】 ステージ２上に載置したガラス基板Ｗに塗布液を塗布するためにスリットノズル１０から基板Ｗ表面に塗布液を吐出しつつリニアモータによって走行体３を走行せしめるときに、駆動装置１１の重心Ｇ１はスリットノズル１０の重心Ｇ２よりも低い位置にあるので、走行体３がレール４，４に沿って水平方向に走行する際に生じるピッチング動（上下動）が抑制され、安定した塗布が行われる。 （もっと読む）

【課題】撓ませても正極、負極間が短絡しないよう保持でき、かつ生産性が良く、かつ光電変換効率がよい色素増感型太陽電池を提供することを目的とする。
【解決手段】平面状に形成された正極側基板２、正極２１、電解液４、金属酸化物３４、透明電極３３、補助電極３２、負極３１、隔壁３０、負極側基板３をこの順に層状に構成する。隔壁３０は、正極側基板２と負極側基板３との間を所定間隔を隔てて接続し、前記電解液４を複数のセルに仕切る。隔壁３０は、色素増感型太陽電池１の平面と平行な方向に複数本並べて配置され、前記隔壁は、その互いの間隔の幅が広い部分である幅広部３５と、幅が狭い部分である幅狭部３７とが交互に繰り返し形成されている。電解液４の注入は、色素増感型太陽電池１の端部の正極側基板２の端部に、隔壁３０で形成される領域毎に開けた孔から行う。 （もっと読む）

【課題】被膜液剤に遠心力等の外力を作用させる必要をなくし、簡単な構成及び制御によってディスク基板の上面に均一な膜厚の被膜を生成できるようにする。
【解決手段】被膜生成装置１０は、スリット塗工装置２１、予備硬化装置２２、本硬化装置２３、レーザカット装置２４、吸引回収装置２５を、搬送経路に沿って、この順に配置している。スリット塗工装置２１は、搬送中の基板収納トレイ１の上面の全域に被膜液剤である紫外線硬化樹脂を均一に塗布する。予備硬化装置２２及び本硬化装置２３は、搬送中の基板収納トレイ１の上面の全域に紫外線硬化樹脂を硬化させる光を照射する。レーザカット装置２４は、搬送中の基板収納トレイ１の上面における複数の収納部２の周縁部に沿って紫外線硬化樹脂を切断する。吸引回収装置２５は、複数のディスク基板１００が取り出された後の搬送中の基板収納トレイ１を清掃する。 （もっと読む）

【課題】 回転部材自体の重量増加を招くことなく、軽量化を実現し、しかも高弾性質材料にて構成することによって、回転部材の撓み変形を最少限に抑えて、基板の平坦度を確保し、そのことによって、例えばレジスト液塗布精度を向上させるのに有効に用いられる基板処理装置用回転部材を提供する。
【解決手段】 基板処理装置用回転部材が、基板を保持する部材本体が、中空構造からなり、かつ炭素繊維複合プラスチック材料にて構成されていること。 （もっと読む）

【課題】低電圧電源によって駆動されるステッピングモータを、十分に高速回転させることができるようにする。
【解決手段】ステッピングモータ６が高速回転するときには、指令パルス入力信号７の周波数に応じた指令値の電圧指令を制御回路５が生成し、その指令値に基づいてステップアップコンバータ２が電源電圧１を昇圧する。ステップアップコンバータ２が昇圧した電圧をステップダウンコンバータ３とＰＷＭインバータ４とに印加することで、ステッピングモータ６が高速回転する。ステッピングモータ６の停止時や低速回転時には、制御回路５の指令に基づいてステップアップコンバータ２のスイッチング素子のスイッチングを停止し、電源電圧を昇圧せずにステップダウンコンバータ３とＰＷＭインバータ４とに印加することで、スイッチング素子のスイッチングロスが低減される。 （もっと読む）