【課題】ノズルを昇降させるボールナットに複数のサーボモータから回転力を供給することにより、ノズルの昇降動作の起動及び停止の応答性を向上させ、ノズルの昇降位置の制御におけるオーバシュートを軽減する。
【解決手段】ボールネジ６の上方に、上から順に、位置制御型モータ１、カップリング３、プーリ８、減速機４及びカップリング５を同軸上に配置し、位置制御型モータ１の側方にトルク制御型モータ２を配置した。位置制御型モータ１の回転軸１Ａ及びトルク制御型モータ２の回転軸２Ａを単一のボールネジ６に連結し、位置制御型モータ１の回転を、カップリング３、減速機４及びカップリング５を介してボールネジ６に伝達する。トルク制御型モータ２の回転を、プーリ８，９及びベルト１０、減速機４、並びにカップリング５を介してボールネジ６に伝達する。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の飛散を有効に防止し得る回転カップ式塗布装置を提供する。
【解決手段】 インナーカップ３上にはトレイ７を固定し、このトレイ７の各隅部からはドレイン誘導管１０が導出されている。ドレイン誘導管１０は先部１１が前記ドレイン回収通路３ａの底部に向かうように外側に向かって斜め下方に傾斜している。そして、先部１１の下端１１ａはインナーカップ３の底面３ｂよりも低くなっている。このためインナーカップ３とトレイ７を一体的に回転することで、板状被処理物Ｗの表面に供給された塗布液は遠心力で、庇状壁部９に形成した穴、ドレイン誘導管１０内の流路およびドレイン誘導管１０の先部１１を通って排出される際に、インナーカップ３の内周壁に直接衝突することがない。 （もっと読む）