【課題】照射すべき平面にエキシマ光を効率よく均一に、かつ継続的に安定して照射できるようにする。
【解決手段】エキシマ照射装置１に、放電容器２、窓側電極層３、背面側電極層４、電源装置５、電極側窓部材６、被照射体側窓部材７及びガス供給装置９を設けた。放電容器２は、紫外線を透過させる材料で構成され、放電用ガスを封入した薄箱形状を呈し、厚さ方向に直交する互いに平行な２平面の一方を被照射体に対向する窓面２Ａとしている。窓側電極層３は、窓面２Ａの外側面に貼付され、紫外線を透過させる。電極側窓部材６は、窓側電極層３の外側面に密着して配置され、紫外線を透過させる。被照射体側窓部材７は、電極側窓部材６の外側に電極側窓部材６との間に間隙１２を設けて配置され、紫外線を透過させる。ガス供給装置９は、間隙１２に不活性ガスを流通させる。 （もっと読む）

【課題】最外周誘導壁によって容器の開口部を開閉することにより、占有面積の小型化、及び処理の短時間化を実現する。
【解決手段】回転式処理装置１に、容器１Ａ、回転保持機構７、処理液吐出アーム３０、誘導壁１６，１７、及びエアシリンダ２２，２３を設けた。回転保持機構７は、容器１Ａの開口部３７から搬入された被処理基板３を水平に保持して回転させる。誘導壁１６，１７は、回転保持機構７の外周側に同心状に配置され、処理液吐出アーム３０から吐出された処理液の廃液を分別して排液する。エアシリンダ２２，２３は、誘導壁１６，１７のそれぞれを上端部が回転保持機構に保持された被処理基板３よりも上方に位置する回収位置と下方に位置する退避位置との間で昇降させる。誘導壁１６，１７のうち最外周誘導壁１７は、回収位置で開口部３７を閉鎖し、退避位置で開口部３７を開放する。 （もっと読む）

【課題】塗布不良を防止することができ、基板搬送部上を清浄に保持することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。また、装置の構成部材の破損、故障などの不具合を回避することが可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】基板Ｓを保持する保持部２３ｂを有し基板を保持した状態で搬送する搬送機構２３が基板搬送部に設けられており、当該基板を保持部に押圧する補助機構２４を備えることとしたので、搬送機構の保持部に加えて補助機構によっても基板を保持することができる。このため、基板がより強く保持されることになり、その分基板のズレが抑制されることになる。これにより、基板のズレに伴う塗布不良を防止することができ、基板搬送部上を清浄に保持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】適切な応答性および定量性を実現しつつ、空気の混入および作動流体の漏れを防止することが可能な定量吐出ポンプを提供する。
【解決手段】チューブフラムポンプ１０は、チューブフラム１２、作動流体室１４２、シリンダ部１４４、ピストン２０、およびシール部４０を備える。作動流体室１４２は、チューブフラム１２を膨張または収縮させるための作動流体１８が充填される。シリンダ部１４４は、作動流体１８が充填されるとともに作動流体室１４２に連通するように構成される。ピストン２０は、シリンダ部１４４内において作動流体室１４２に向けて突出および後退可能に構成される。シール部４０は、ピストン２０とシリンダ部１４４の内壁との隙間を外側から覆うように構成される。また、シール部４０は、ピストンの移動に追従して変形可能な隔壁を備え、内部に作動流体が充填されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 この発明の目的は、シートを突合せ継ぎ法によって接続する際のシート搬送停止時間の短縮化が可能なシート接続装置を提供する。
【解決手段】フィルム接続装置１０は、吸着保持器１２および１４、テープ貼着ローラ１６および１８、押さえローラ２０および２２、案内ローラ２４、２６、２８、切断器３０、フレーム３２を備える。テープ貼着ローラ１８は、吸着保持器１２に対して旧シートおよび新シートを押圧しつつ吸着保持器１２のガイド面に沿ってシート切断位置の方に回転することによって旧シートおよび新シートに第１の接続テープ３６を貼り付けるように構成される。テープ貼着ローラ１６は、接続されたシートを搬送しつつ第２の接続テープ３４を貼り付けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】延伸されるべき光学フィルムを安定的に保持することを可能にする光学フィルム加圧装置を提供する。
【解決手段】光学フィルム加圧装置４０は、ベルトユニット５２およびユニット支持部５１を備える。ベルトユニット５２は、中心軸８０、複数のガイドローラ４３〜５０、無端ベルト３８、および端部固定部材７０を備える。中心軸８０は、延伸部１８において光学フィルム１１の進行方向と直交するように水平に配置される。複数のガイドローラ４３〜５０は、中心軸８０に平行に、かつ、中心軸８０の周りに配置される。無端ベルト３８は、複数のガイドローラ４３〜５０に張架されるように配置される。端部固定部材７０は、無端ベルト４０の端部を取り付け可能に構成されるとともに、無端ベルト４０の移動に伴って中心軸８０を中心に回転可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】旋回動作を伴わずにワークカセットとワークステージとの間におけるワークの搬送を効率的に行うことが可能な搬送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送ロボット１０は、本体１２、第１のアーム１８、第２のアーム１６を備える。第１のアーム１８は、ウェハカセットと本体１２の上方位置との間で往復移動可能に構成される。第１のアーム１８は、ウェハを把持するように構成された複数の把持部を有する第１のハンド１８２を備える。第２のアーム１６は、本体１２の上方位置とウェハステージとの間で往復移動可能に構成される。第２のアーム１６は、第１のハンド１８２とは異なる角度からウェハを把持するように構成された複数の把持部を有する第２のハンド１６２を備える。第１のハンド１８２における把持部と第２のハンド１６２における把持部とは、互いに同じ高さに配置されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により搬送ロボットに対して搬送対象ポイントまでのハンドの移動経路を自動的に教示することが可能な自動教示システムを提供する。
【解決手段】 自動教示システムは、第１の光学センサ７２、第２の光学センサ７４、記録手段および算出手段を実現するＣＰＵ５０を備える。第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４は、搬送対象ポイントに対する相対位置が予め定められるように配置される。第１の光学センサ７２は、ハンド２０の水平方向の一端部を検出可能に構成される。第２の光学センサ７４は、ハンド２０の水平方向の他端部を検出可能に構成される。ＣＰＵ５０は、第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４によってハンド２０の端部が検出された時におけるロボット座標系における座標値を記録するとともに、その座標値に基づいてロボット座標系における搬送対象ポイントの座標値を算出する。 （もっと読む）

【課題】ウェハを変位させることなくウェハの持ち替え処理を行うことができるようにし、ウェハの回転角度制御の短時間化、及び構造の簡略化を図る。
【解決手段】アライナ装置１０は、３本の第１アーム１Ａ〜１Ｃ、３本の第２アーム２Ａ〜２Ｃ、３個のセンサ７Ａ〜７Ｃ、第１モータ５、第２モータ６を備えている。第１アーム１Ａ〜１Ｃ及び第２アーム２Ａ〜２Ｃは、搬入位置にあるウェハ１００の表面に平行な２平面のそれぞれに配置されている。第１アーム１Ａ〜１Ｃは、ウェハ１００の周縁部に当接する爪部１１Ａ〜１１Ｃを備えている。第２アーム２Ａ〜２Ｃは、ウェハ１００の周縁部に当接する爪部１１Ａ〜１１Ｃを備えている。爪部１１Ａ〜１１Ｃ又は爪部２１Ａ〜２１Ｃでウェハ１００を挟持し、第１モータ５又は第２モータ６を選択的に駆動して第１アーム１Ａ〜１Ｃ又は第２アーム２Ａ２Ｃを回転させる。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムを搬送して処理部で所定の処理を行うために、搬送用ベルトとロールが、広いニップ面積で光学フィルムと接触してこれを良好に搬送することができる光学フィルムの搬送方法を提供する。
【解決手段】処理部３で光学フィルム２に所定の処理を行うために光学フィルムを搬送する方法は、無端帯状の搬送用ベルト５の外周面をロール６に押し付け、搬送用ベルト外周面とロールとの間に光学フィルムを挟んだ状態で搬送用ベルトとロールを回転させて光学フィルムを搬送する。 （もっと読む）