【課題】密着誤差を最小限に抑制しつつ、密着面略中心の真空引きを効果的に行い密着不良を防止した、真空密着露光方法を提供すること。
【解決手段】ワークを載置したテーブルの端縁部に装備されたパッキンにより、前記パッキンを前記テーブルに配設したマスクに密着させる工程、初期設定圧力値まで真空引きを行い、前記マスクを凸状にたわませて前記マスクの略中心から前記ワークに密着させる工程、更に真空引きを行うと共に前記マスクの端縁部を保持するマスクホルダーを上昇させ、マスクのたわみを増大させつつ前記マスクの端縁部に向かって更に前記ワークに密着させる工程、及び前記マスクが前記ワークの略端縁部まで密着したことに応じて、マスクホルダーの上昇を停止させる工程を含む真空密着方法による。 （もっと読む）

【課題】観察対象の系から出力されたランダム信号をサンプリングして得られたランダム時系列データに基づいて求められたＡＲＭＡパラメータの誤差を高精度に評価する。
【解決手段】ＡＲＭＡパラメータの算出とは別にその系の伝達関数を求め、それよりゲインを算出し、


に基づいて誤差を求める。 （もっと読む）

【課題】効率的に信号波形を出力する。
【解決手段】１からｎまでの各ｉについて順次（ステップ２１０、２１４、２１８）、第（i-1）出力用データファイルの２ｐ個ずつのデータ区間から最大データと最小データを抽出して作成した第i出力用データファイルを記憶装置３に予め記憶する（a,b,c）。信号波形を表示するときには、表示エリアに同時に表示するデータの最適数をＭをもってエリアへ信号波形を描画するために必要充分な信号のサンプリングレート以上の最小のサンプリングレートのデータを格納した出力用データファイル用いて信号波形の描画を行う。この際、同一ｘ座標にプロットされる複数のデータについては、最大データと最小データのみをプロットする。 （もっと読む）

【課題】対象物の任意の位置を中心とする回転（揺動）を許容できるように対象物を拘束する。
【解決手段】
第１回転継手４１２、乃至、第５回転継手４５６の回転軸は、それぞれ、エンジン１の重心Ｇを通る軸となるように設定されているので、エンジン１の、これら５つの回転軸回りの回転を組み合わせた回転３自由度の回転（揺動）は一定範囲内において許容され、この回転（揺動）の中心は、常にエンジン１の重心Ｇとなる。また、第６回転継手４６７乃至第８回転継手４８９の回転軸は、その軸方向がエンジン１の出力軸方向（図中のｚ方向）となるように設定されている。したがって、エンジン１やその重心の平行移動は、第６回転継手４６７の回転軸回りの第７リンク４７の回転と、第８リンク４８の第７回転継手４７８の回転軸回りのリンクの回転を組みあわせて得られるエンジン１の出力軸と垂直な方向（図中のｘ、ｙ方向）の平行移動のみが許容される。 （もっと読む）

【課題】車輪の直径によらずに、作業者が簡易に車輪を適正に位置決めできるようにする。
【解決手段】ローラ２の左右に、ローラ２上の車輪の前後幅を検出するラインセンサ５を設ける。そして、各ラインセンサ５から、各光センサ装置４１の光検出パターンを取得し、取得した光検出パターンから、各車輪の直径を算定し、算定した車輪の直径に応じて、各位置決ユニット４の車輪位置決めのためのアーム４１の伸長量を算出し、算出した伸長量分アームを伸長する。伸長したアーム４１は、前後斜め下方から車輪を挟みこむように力を加え、車輪をローラ２上に位置決めする。各アーム伸長量は、算定した半径が基準直径よりも小さいほど伸長量が大きくなるように算定する。 （もっと読む）

【課題】検量作業を容易化するとともに、検量精度を有効に向上するシャシーダイナモメータの検量装置を提供する。
【解決手段】ローラ１１０の直径方向に延伸し水平配置される検量アーム１２０と、計測装置１３０に対して検量アーム１２０を介して検量負荷を付与するための検量錘３００と、検量錘３００を検量アーム１２０に沿って移動させる移動機構と、を有する。これにより検量錘３００の位置に応じて計測装置１３０に対する検量負荷が可変となる。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ安定的にタイヤを固定する。
【解決手段】タイヤ１００の前部が車止板１３３に当接するように車両とベルト固定装置１３を配置し、ベルトアンカー１２にベルト１４の後方端を固定した状態で、ベルト１４をタイヤ１００に掛け回し、巻取ローラ１３４４を回転させてベルト１４を巻き取っていくと、ベルト１４の張力が漸増し、移動ステージ１３４３は、コイルバネ１３４８が移動ステージ１３４３を押し下げる力とベルト１４の張力がバランスする高さまで上昇する。したがって、所望のベルト１４の張力に対応する高さに移動ステージ１３４３が上昇するまで、ベルト１４を巻き取ることにより、タイヤ径に関わらずに、タイヤ１００をベルト１４で所望の張力を持って固定することができる。ここで、ラチェット１３４５、１３４６は、巻取ローラ１３４４のベルト巻き取り方向の回転は許容し、巻取ローラ１３４４のベルト送り出し方向の回転を抑止する。 （もっと読む）

【課題】左右方向に関する車輪の位置決めを支援する。
【解決手段】左のガイド装置３Ｌのアーム３２をガイドローラ３１を左前車輪１００Ｌの左側部下部に接するまで伸長させ、右のガイド装置３Ｒのアーム３２をガイドローラ３１を右前車輪１００Ｒの右側部下部に接するまで伸長させる。また、車輪が左右に移動しても、当該移動に追従してアームが伸縮するように、アクチュエータ３３に、車輪方向への弱い力をアーム３２に与え続けさせる。以降は、各ガイド装置３のリニアエンコーダ３４から、アーム３２の伸長量を取得し、左右のアーム３２の伸長量の差を表示装置５に表示させる動作を、センタリング作業終了を指示されるまで繰り返す。一方、作業者は自動車を運転し、表示装置５の表示を参照しつつ、左右のガイド装置３Ｌ、３Ｒのアーム３２の伸長量の差がなくなるようにステアリングを操作して、自動車を左右に移動して、左右方向の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】左右方向に関して車輪をローラ上に適正に配置する。
【解決手段】左右のローラ２Ｌ、２Ｒのそれぞれについて、ローラ２の前後に各々設けた左右の押上装置６Ｌ、６Ｒによってガイドローラ６６１を斜め上方に移動し、斜め下方より車輪周面前後下部に力を加え、左右の車輪１００Ｌ、１００Ｒの前後方向中心の位置を、各々左右のローラ２Ｌ、２Ｒの頂上の上に位置決めする。左右の車輪１００Ｌ、１００Ｒを各々左右のローラ２Ｌ、２Ｒに僅かに接する位置まで持ち上げる。そして、各ローラ２を回転することにより各車輪１００を回転させと、左右の押上装置６Ｌ、６Ｒのガイドローラ６６６１は自動車の左右方向中心側に向かって高さが漸増するように構成されているため、自動車は、左右方向中心が左右のローラ２Ｌ、２Ｒの左右方向中心に一致するように、左右方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】露光パターン形成作業の生産性の低下を抑えた露光装置を提供する。
【解決手段】搬入された基板が載置される載置台と、原版を載置台の上方に保持し、原版を水平方向に移動させて原版を載置台上の基板に対して位置決めするとともに、原版を上下方向に移動させて原版を載置台上の基板に対し密着および離間させる原版移動部と、基板の位置と原版の位置を測定するセンサと、原版移動部を制御することにより、基板上に原版を密着させ、原版の基板に対する位置ずれが第１の閾値を超えていたときに原版を基板から一旦離間させ位置調整の上再度密着させる原版移動制御部と、基板に原版を一回目に密着させたときの基板の位置と原版を基板から一旦離間させて基板に原版を再度密着させたときの基板の位置との差分が第２の閾値を超えたときに警告を出力する警告部と、基板に原版を密着させた状態で基板に光を照射し基板を原版の透過光で露光する露光部とを備えた。 （もっと読む）