【課題】真空チャンバ２のような減圧容器と、真空ポンプ３のように加振源となる機器との間の配管経路４に介設される防振継手１において、簡単な構造で低コストでありながら減圧時でも振動の伝達を十分に抑制可能なものとする。
【解決手段】一対のベース板１０，１１の間に金属ベローズ１３と空気ばね１４とを内外同心状に配設する。ベース板１０，１１の間隔が設定値になるよう、レベリングバルブ１８によって空気ばね１４に高圧空気を供給又は排出する。防振継手１は真空チャンバ２の床部２０の下側に取り付け、この防振継手１と一体的に構成した吊設具によって真空ポンプ３を吊り下げる。 （もっと読む）

【課題】ブラケットのエンジン側取付部の耐久性を向上させるとともに、エンジンの取付強度を維持し、かつ、ゴム層のストッパ特性を安定させる。
【解決手段】連結金具１の上側に軸部１２を形成する。軸部１２の上端にブラケット９を取り付ける。ゴム層８０を、ストッパ金具８上端のフランジ８ｂの上面におけるパワープラントＰ側の略半周部分に配置する。 （もっと読む）

【課題】液体封入式防振装置に前後方向、左右方向の振動が入力したときに、かしめ部分が摺れて異音が発生するのを抑制する。
【解決手段】支持金具３は内筒３２と外筒３３とを有する。内筒３２の上端に径方向外向きにフランジ３２ｂを全周に亘って形成する。ストッパ金具８の下端に径方向外向きにフランジ８ａを全周に亘って形成する。内筒３２上端のフランジ３２ｂとストッパ金具８下端のフランジ８ａとを、外筒３３の上端に径方向外向きに全周に亘って形成されて先端が上向きに折り曲げられたＬ字状部３３ａと、それぞれ、Ｌ字状部３３ａの周壁３３ｃの上端に上向きに形成されて先端が径方向内向きに折り曲げられた複数の爪部３３ｄ，３３ｄ，…とによってかしめる。 （もっと読む）

【課題】エアダイヤフラム式の液体封入式防振装置において、ゴム弾性体の形状設計の自由度を高めつつ、主流体室に入り込んだ気体を確実に副流体室に導けるようにする。
【解決手段】液体Ｌが封入される主流体室５及び副流体室６を、内筒体１と一体成型されたゴム弾性体３で外筒体２内を上下に区画した液体封入式防振装置である。主流体室５は、ゴム弾性体３の下部に形成された上向きに凹む凹部３ｅで構成されている。主流体室５と副流体室６とに連通するオリフィス７とは別に、主流体室５の上端から横向きに延びる横排気通路８ａと、これに連なって上向きに延びて副流体室６に連通する周排気通路８ｂとが形成されている。 （もっと読む）

【課題】各ストッパーが各内筒体から互いに異なる筒径方向の外側に延びる複数種類の防振装置において、各ストッパーを各内筒体に位置決めした状態で取り付けるとともに、部品を共通化する。
【解決手段】各内筒体１０のストッパー配置部分は、外周形状が円形状であり、その外周には、筒径方向の外側に突起する突条部１２ａがその突起する方向Ｄ３，Ｄ４の互いになす角度θ２が各ストッパー１４の延びる方向Ｄ１，Ｄ２の互いになす角度θ１と略同じになるように設けられている。各ストッパー１４は同じものである。ストッパー１４には、内筒体１０が挿通される挿通孔１４ａが形成され、この内周には、筒径方向の外側に窪んで突条部１２ａが嵌合される凹部１４ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】搭載盤３２に対する半導体ウエハＷの搬送位置の精度を向上させることである。
【解決手段】基台２と、半導体ウエハＷが載置されるウエハステージ３１を搭載する搭載盤３２と、前記基台２上に設けられ、前記搭載盤３２を支持して、前記搭載盤３２の除振を行う複数のばね要素４と、前記ウエハステージ３１に前記半導体ウエハＷを載置する際に、前記ばね要素４の除振機能を無効にして、前記搭載盤３２を前記基台２に対して、所定位置に位置決めする位置決め機構５と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液封マウントの製造時における液体封入精度の向上、液体封入処理の安定化、液体封入作業の効率化を図る。
【解決手段】ワークＷの液室１０４内に液体を封入する液封入装置である。ワークＷを収容して減圧する減圧チャンバー２の内部には、ワークＷの液室１０４に連通する封入孔１１０に密着することなく挿入されるノズル１０が突出しており、減圧下でこのノズル１０を介して、計量シリンダ４で計量された液体をワークＷの液室内に供給するとともに、閉塞装置５で封入孔１１０に鋼球Ｂを供給して液室１０４を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】筒状部材やブラケットの厚みを大きくしたりその形状を大幅変更したりすることなく、筒状部材の信頼性や固有振動数を向上させる。
【解決手段】筒状金具２は、筒部２０と、この筒部２０の筒軸方向一方側の端部を筒径方向内側に折り曲げて形成された第１フランジ部２１と、筒部２０の筒軸方向他方側の端部を筒径方向外側に折り曲げて形成された第２フランジ部２２とを備える。筒部２０の外周にブラケット３を筒径方向外側に延びるように設ける。このブラケット３は、基端部３１ａが第１フランジ部２１の外面２１ａに溶接された第１側板部３１と、この第１側板部３１と筒軸方向に対向し、基端部３２ａが第２フランジ部２２に溶接された第２側板部３２と、両側板部３１，３２の間に筒軸方向に延びるように設けられて両側板部を互いに連結し、基端部が筒部２０の外周に配置されたブラケット本体３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】成形用金型内での連結金具の回転を防止しながらストッパゴムの設計の自由度を向上させることができる、ゴム成形体の製造方法を提供する。
【解決手段】つば部３ｂを有する連結金具３と、連結金具３をゴム弾性体５を介して支持する支持金具４と、つば部３ｂの支持金具４とは反対側の面及び外周面に設けられたストッパゴム５１，５２とを備えたゴム成形体２０の製造方法である。連結金具３として、支持金具３とは反対側の面に複数の挿入孔１４，…が形成されたものを用意し、各挿入孔１４にそれぞれ対応する部分に突起部１０を有する成形用金型１６を用意する。各挿入孔１４に各突起部１０を挿入した状態で連結金具３を成形用金型１６にセットし、支持金具４を成形用金型１６にセットし、成形用金型１６のキャビティ２１内にゴムを充填して、ゴム弾性体５及びストッパゴム５１，５２を両金具３，４と一体に加硫成形する。 （もっと読む）

【課題】防振装置用筒状部材の、ストッパーが当接する受け面の面積を大きくするとともに、筒状部材の剛性を高める。
【解決手段】筒状金具２は、筒部２０と、この筒部２０の筒軸方向一方側の端部を筒径方向内側に折り曲げて形成されたフランジ部２１とを備える。フランジ部２１の外面２１ａの平面部分２１ｂに、ストッパー１４と筒軸方向に対向するように、筒周方向に延びる補強板５を取り付ける。 （もっと読む）