【課題】ラインワイズラフネスを低減させることができるとともに、無機系反射防止膜が形成された基板を用いた際に生じやすいフッティングの抑制効果に優れたポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】樹脂成分（Ａ）と酸発生剤成分（Ｂ）とを含有するポジ型レジスト組成物であって、（Ａ）成分は、脂肪族単環式基を含有する第３級アルキルエステル型酸解離性溶解抑制基および／または脂肪族分岐鎖状第３級アルキルエステル型酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ１）を有し、かつ（Ｂ）成分は、下記式（ｂ’−１）で表されるカチオン部を有する酸発生剤（Ｂ１）を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。
［化１］


［式中、Ｒ^１およびＲ^２はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいナフチル基を表し、Ｒ^３はアルキル基またはアリール基（ただし、ナフチル基を除く。）を表す。］ （もっと読む）

【課題】一定の形状および体積を有する精密微細空間の形成方法および一定の形状および体積を有する精密微細空間を有する部材の製造方法等を提供すること。
【解決手段】精密微細凹部を有する基材上に、フィルムを布設する工程を有する精密微細空間の形成方法において、第一ステージ上に基材を載置し、第一ステージの外周を覆う第二ステージの最上面を第一ステージの最上面よりも高くなるように設定する工程と、基材上にフィルムを布設する工程とによって、一定の形状および体積を有する精密微細空間を形成する。 （もっと読む）

【課題】現像後において、基板に形成された電極上における残渣の発生を抑制するための感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物から形成された液晶配向制御用バンプ、および液晶配向制御用バンプ形成方法を提供する。
【解決手段】複数分割垂直配向方式の液晶セル内に設けられ、電極上に当該液晶の配向を制御するためのバンプを形成する感光性樹脂組成物であって、顔料（Ｃ）と、ポリエステル結合を有する顔料分散剤（Ｄ）と、を含有する感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】新規なシルセスキオキサン系組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）ＨＳｉＯ_３／２単位及びＲＳｉＯ_３／２単位を有するシルセスキオキサン樹脂（式中、Ｒは酸解離性基を示す。）と、（ｂ）７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリンと、を含有するシルセスキオキサン系組成物。このシルセスキオキサン系組成物は、基板上にパターン形状を形成する際のポジ型レジスト組成物として有用であり、特に１９３ｎｍ及び１５７ｎｍの多層（すなわち２層）フォトリソグラフィ用途において有用である。 （もっと読む）

【課題】経時的な増粘を防止し、保存安定性が高い金属膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】金属化合物と、樹脂成分とを含有する金属膜形成用組成物において、樹脂成分としてカルボキシル基を含有していない水溶性ポリマー、又は５０ｍｇ／ｇ以下の酸価を有する水溶性ポリマーの少なくともどちらか一種の水溶性ポリマーを用いた。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式カラーフィルタにおいて、インキの流出を抑制することが可能な隔壁及びこの隔壁を備えるカラーフィルタを提供する。
【解決手段】インクジェット方式カラーフィルタ隔壁の表面粗度を８ｎｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】 初期オーバーシュート量を削減し、基板大量処理時の現像液をリサイクルしながら基板を大量処理する際にも安定したディスペンス特性が確保できる処理液供給装置を提供する。
【解決手段】 本発明の処理液供給装置は、ノズルの近傍に積算機能を持つ流量計を設けることにより、流量計の変化に対応して、サーボモータを制御してポンプ回転数の制御にフィードバックさせるので、フィルターの目詰まり度合いに関係なく常時一定量を吐出することが可能となり、現像液をレジストコーティングされた膜上に必要最低限（膜厚１ｍｍ）から表面張力最大値（３ｍｍ）までの塗布可能領域において安定したディスペンスが可能となる。 （もっと読む）

【課題】汚染した洗浄液が基板上に滞留せず、洗浄効果が一層改善された洗浄ブラシを提供する。
【解決手段】本発明による洗浄ローラは、ローラ本体（１０）を有し、ローラ本体の外周面にブラシ毛（１５）を植設する。ローラ本体は、洗浄液の流路を構成する内部空間を有し、当該内部空間は、カップリング（１２ｂ）を介して洗浄液供給導管（１４）に接続する。ローラ本体（１０）には、前記内部空間と連通し洗浄液を噴射させる複数の噴射孔（１６）をローラ本体の軸線に沿って螺旋状に形成する。 （もっと読む）

【課題】膜表面の疎水性が高く、かつリソグラフィー特性も良好なレジスト膜を形成でき、液浸露光用として好適な液浸露光用ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する樹脂成分（Ａ）および露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を含む液浸露光用ポジ型レジスト組成物であって、前記樹脂成分（Ａ）が、フッ素原子を含有し、かつ酸解離性基を有さない主鎖環状型の樹脂（Ａ１）と、アクリル酸から誘導される構成単位（ａ）を有し、かつフッ素原子を含有しない樹脂（Ａ２）とを含有することを特徴とする液浸露光用ポジ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】インキの溢出を抑制することが可能な隔壁を形成することができる黒色組成物を提供する。
【解決手段】樹脂成分と、黒色顔料と、を含有するインクジェット方式カラーフィルタ隔壁形成用黒色組成物に含有される黒色顔料の分散粒子径を、１２０ｎｍ以下とする。 （もっと読む）