【課題】複数のチップが連続して配置されていない場合であっても対象となるチップに到達した際に当該チップの認識を可能とする。
【解決手段】ウェハシートを設定距離分移動し（Ｓ１）、認識領域内でのチップの有無を判断する（Ｓ２）。チップ無しの場合、照明を明るくして（Ｓ４）、認識領域７１内の画像を取得した後（Ｓ５）、照明装置５１を通常の明るさに変更するとともに（Ｓ６）、取得した取得画像を画像解析する。このとき、認識領域に残存した突き上げ針の針穴を、登録された痕跡画像とパターンマッチングすることで、痕跡画像の中心から当該部位に配置されていたチップの中心位置を求め（Ｓ７）、この中心位置がピックアップ位置の中心と一致するようにウェハシートを移動して位置補正を行い（Ｓ８）、この位置を次動作の基準位置とする。 （もっと読む）

【課題】側面の凹凸を判別することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】対象物２の下端側に配置された照明１１を図外の移動機構で上下移動自在に支持し、照明１１を対象物２に近づけた際に当該照明１１からの光を対象物２の側面２３に対して深い角度で照射可能とする。また、照明１１を対象物２から遠ざけた際に当該照明１１からの光を対象物２の側面２３に対して浅い角度で照射可能とする。対象物２の上端側に光学体３１を介してカメラ３２を設け、対象物２の側面２３で反射した反射光３３を光学体３１でカメラ３２に集め、当該カメラ３２で撮像可能とする。カメラ３２を画像処理装置１２に接続して撮像画像を処理可能とする。 （もっと読む）

【課題】測定時間を短縮することができる共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】光源２２の光からライン状の輝線を取り出し、輝線から放射された白色光を、色収差発生レンズ３４で連続した波長成分に色分散した後、対物レンズ３６を介してステージ３７上の試料２１に照射する。色分散されたライン状の輝線は、光軸４１上に波長ごとに連続して高さ方向に結像し、試料２１の表面のある１つの点に１つの波長の光が焦点を結ぶ。試料２１表面に焦点を結んだ波長の光の反射光を、対物レンズ３６を介して色収差発生レンズ３４で集光した後、スリット５２で焦点を結ぶように構成する。スリット５２を通過した光を、分光素子６２で分光して２次元アレイ光検出器８２に結像する。 （もっと読む）

【課題】スプールバルブが離脱することなく小径化を図る。
【解決手段】入力ポート７３からの油圧をスプールバルブ１３の先端側弁部６２で受けることで、小径コイルスプリング５１による付勢力と均衡する位置までスプールバルブ１３を先端側にスライドして調圧状態８１を形成する。出力ポート７２の出力圧をアキュムレータ１５先端側に供給し、出力圧の上昇に応じてアキュムレータ１５を基端側へ移動することで、小径コイルスプリング５１によるスプールバルブ１３の付勢力を徐々に高め、出力圧を緩やかに上昇する。スプールバルブ１３の軸部６１に形成された長穴１２１に、抜け止めピン１２４を遊嵌した状態で貫通し、スプールバルブ１３の軸方向への移動範囲を規制するストローク量規制手段１４１を構成する。 （もっと読む）

【課題】周波数の移行を滑らかに行うことができるステッピングモータ駆動装置を提供する。
【解決手段】タイマー割り込みが発生すると、フラグが「０」であるか否かを判断した後（ＳＢ１）、カウンタをカウントアップして（ＳＢ２）、所定値「４」−「１」に達したか否かを判断し（ＳＢ３）、出力を反転する（ＳＢ４）。また、割り込み発生時にカウンタが「３」の場合、フラグを「１」にして（ＳＢ３）、出力を反転する（ＳＢ４）。そして、割り込み発生時にフラグが「１」の場合、第２周波数５２を形成する為の第２設定値をタイマーレジスタ２３に書き込むことでタイマー周波数を設定変更して（ＳＢ６）、出力を反転する（ＳＢ４）。 （もっと読む）

【課題】大径化を招くことなく、通流路の拡大を図ることができる電磁弁を提供する。
【解決手段】プランジャ３２の内部空間５１にゴムバルブ５２を移動自在に収容し、ゴムバルブ５２に先端突出部６１を形成する。プランジャ３２の開口部４５より突出した先端突出部６１の先端に弁部材７１を取り付け、弁部材７１先端の弁部７２を先端突出部６１の端面より大径に形成する。この弁部７２を弁室８３の入力部９１の端面に離着座して、入力部９１に開口した入力ポート９２を開閉する。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ、品質を維持を図ることができる組立方法を提供する。
【解決手段】始めにボルトを締め付ける締結箇所の開口部を示すランプを点灯し（ＳＢ１）、作業者は点灯したランプの開口部にナットランナーのヘッドを挿入する。このとき、シーケンサーは、受光部からの受光信号を検出して開口部へのヘッドの挿入を確認し（ＳＢ２）、ナットランナーを通電する（ＳＢ３）。ナットランナーからトルクアップ信号が出力された締め付け完了時には、次に締め付けるボルトの有無を判断し（ＳＢ５）、総てのボルトの締め付けが完了した際にメインルーチンへ戻る。 （もっと読む）

【課題】調整の煩雑化を招くことなく、ボンディング位置のバラツキを抑えることができるボンディング装置を提供する。
【解決手段】第１ツールの画像を第１カメラ７２で取得し、第２ツール５２の画像を第１カメラ７２で取得して第１ツールと第２ツール５２のズレ量をオフセット値として記憶する。第２ボンディングヘッド４２でボンディングする際に、第２カメラ９２で取得した第２ツール５２へのチップ３の吸着位置に基づいて第２ツール５２による移送先とチップ３がボンディングされるボンディング位置との関係を補正する。このとき、第１ツールへのチップ３の吸着位置に基づいて定められた補正値を用いて補正するが、その補正量を、第１ツール５１と第２ツール５２のズレ量を示すオフセット値を利用して補完する。 （もっと読む）

【課題】入力圧に起因した脱落等の不具合を防止しつつ、低コスト化を図ることができる電磁弁構造を提供する。
【解決手段】ボール弁６３をボール弁室６２に保持したホルダ７１を、ノズル１５の側面５２に開口した入力ポート６４から当該入力ポート６４に沿って横方向に挿入して、ボール弁室６２からのボール弁６３の離脱を防止する。ホルダ７１の先端から基端側へスリット８１を設けて可倒片８２を形成し、可倒片８２の先端部に係止爪８３を設ける。この係止爪８３が位置する入力ポート６４の内側面に、係止爪８３と係合する係合凹部８４を凹設する。これにより、ホルダ７１を入力ポート６４に挿入した状態でノズル１５に固定するスナップフィット９１を形成する。 （もっと読む）

【課題】小型化を可能としつつ、作動耐久性を確保することができる電磁弁構造を提供する。
【解決手段】コア１６のコア本体７１をソレノイド１５の先端より挿入し、吸引面８２をソレノイド１５の長さ方向中央付近に配置する。プランジャ１２の胴部５１を、ソレノイド１５の基端より挿入し、被吸引面５３が吸引面８２に対向するように当該被吸引面５３を、ソレノイド１５内に配置する。プランジャ１２への固定位置より基端側に延出した作動軸６１の基端部を、基端側軸受け２４を介してカバー１１に支持し、プランジャ１２への固定位置より先端側に延出した作動軸６１の部位を、先端側軸受け９２を介してコア１６に支持する。 （もっと読む）