【課題】レジスト液を濾過するフィルタ１４の前後の圧力変動を小さくする。
【解決手段】レジスト液が貯留された充填液タンク２と、供給ポンプ１０によってこの充填液タンク２から送り出されたレジスト液を充填ノズル８に送る充填液通路４と、充填液通路４の途中の分岐部１８から分岐して充填液タンク２に連通された回収通路１６と、充填液通路４の分岐部１８よりも下流側（充填液通路４の下流部４Ｂ）に設けられた充填バルブ１２と、回収通路１６に設けられた回収バルブ２０と、前記ポンプ１０と分岐部１８との間に設けられたフィルタ１４と、充填バルブ１２および回収バルブ２０をそれぞれ駆動するサーボモータと、サーボモータを制御して充填バルブ１２と回収バルブ２０の開度を調整する制御装置２４とを備えており、フィルタ１４の上流側と下流側の圧力が変動しないように回収バルブ２０の開度を制御する。 （もっと読む）

【課題】除染済みの収容物（樹脂容器）７８を収容したバッグ２を、簡単な構成で効率よく除染し、そのまま無菌環境で開封する。
【解決手段】除染前の物品（バッグ）２を加熱する加熱室８と、室内に過酸化水素蒸気を吹き出す吹き出し口５６が設けられ、加熱室８で加熱されたバッグ２を過酸化水素蒸気で除染する除染室１０と、除染後のバッグ２をエアレーションするエアレーション室１２とが連続して設けられ、これら各室８、１０、１２内に配置された搬送手段４によってバッグ２を搬送しつつ前記各処理を行うものであり、さらに、過酸化水素蒸気が広い範囲に拡散しないように、前記除染室１０を狭いトンネル状の空間とし、この除染室１０の内壁面を、ヒータ６０によって加熱するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】ロールラベル２を多量にストックすることを可能にする。
【解決手段】ロールラベル供給手段４は、ロールラベル２を載置した台座８（実台座１０）を複数段ストック可能な実台座ストッカ２４と、空になった台座８（空台座１２）をストック可能な空台座ストッカ３０と、昇降可能であり、かつ、回転することによりロールラベル２を繰り出してラベラに供給する繰り出し用のリフタ２２と、これら各ストッカ２４、３０およびリフタ２２が設けられている繰り出しポジションＡの間で台座８を搬送する搬送コンベヤ１４を備えている。このロールラベル供給手段４を２列平行に配置して、交互にロールラベル２を繰り出し、各ロールラベル供給手段４に空台座１２の排出および実台座１０の補充を行う。 （もっと読む）

【解決手段】 基板に半田ボールを載置した対象物１に縞パターンを投影するとともに該縞パターンを位相シフトさせながら複数回撮影し、撮影した複数の縞パターン画像から各位置における位相を算出して、該位相に基づく位相復元画像を作成する。
ここで、撮影手段によって対象物を撮影すると、半田ボールの裏側に位置して撮影されない部分が発生するため、上記位相復元画像には周囲の部分に対して位相が不連続となる不連続位相部分１２が発生する。
そこで、該不連続位相部分１２が領域１１の前側半分に位置する場合、当該不連続位相部分１２を該領域１１の前方に隣接する領域に属するとみなし、その後さらに位相接続を行うことで位相接続画像を作成する。
【効果】 表面に突起の形成された対象物であっても、正確にその形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】ボンディングツールが電子部品を吸着保持していない状態でレーザ光が発振された場合や、電子部品を透過したレーザ光によりステージや基板などが照射された場合でも、ステージや基板などに損傷や加熱膨張を起こさせる危険のないボンディング装置を提供する。
【解決手段】電子部品１を吸着保持するボンディングツール３を有するボンディングヘッド４と、ボンディングツール３に保持された電子部品１にボンディングヘッド４の内側からレーザ光２０を照射して加熱するレーザ加熱手段とを備えたボンディング装置であり、レーザ加熱手段は、光源からのレーザ光を集束する集光手段を有するとともに、集光手段によるレーザ光２０の集光点１２をボンディングヘッド４内部に設けた。 （もっと読む）

【課題】両側面１２ｃ、１２ｄの前方側と後方側とが非対称の形状をしているキャップ１２のセンタリングを行う。
【解決手段】キャップ１２の天面１２ｅを吸着するバキュームカップ２６とキャップの両側面１２ｃ、１２ｄに係合可能な一対の係合部を有するキャップ保持手段と、一対の係合部を接近離隔させる駆動手段３２と、バキュームカップ２６に吸着されたキャップの前後にそれぞれ配置された一対のストッパ５２、５６とを備え、さらに、係合部は、直立した支点３８に中央部が支持されたＶ字状のレバー４０と、このレバーの両端に設けられたローラ４４、４５と、両ローラをそれぞれ後方へ引き付けるスプリング５０を有しており、バキュームカップによってキャップを吸着した状態で、キャップの両側面に係合部を押し付けると、キャップが本来の中心Ｏ２からずれていた場合にはセンタリングされる。 （もっと読む）

【解決手段】 電子部品ピックアップ装置は、複数の電子部品１の周囲を囲って搬送する搬送手段２と、この搬送手段による電子部品の搬送方向前方に設けられたピックアップ位置Ａと、このピックアップ位置に供給された電子部品を保持して該ピックアップ位置から取り出すピックアップノズル７とを備えている。
上記ピックアップノズルは、上記電子部品がピックアップ位置Ａに供給される際に、電子部品がピックアップ位置に供給されるのをガイドするガイド位置Ｂに位置されるようになっている。
【効果】 電子部品１がピックアップ位置Ａに供給される際に、ガイド位置に位置させたピックアップノズルによって電子部品が飛び出したり傾斜したりすることを防止することができ、したがって電子部品の飛び出しや傾斜を防止するために、別途ストッパー手段やシャッターを追加して設ける必要がない。 （もっと読む）

【課題】
配列マスク上面と被搭載物上面との間隔を適正距離に制御することにより、ダブルボールの発生や半田ボールの切断若しくは損傷などの生じない導電性ボール搭載装置とする。

【解決手段】
導電性ボール搭載装置に次の手段を採用する。
第１に、被搭載物を吸着支持する載置面を上面に有するステージと、被搭載物の供給位置と導電性ボールの搭載位置との間のステージ移動手段と、配列マスクを介して導電性ボールを被搭載物に搭載する手段と、配列マスクと上記ステージの載置面との距離を変更可能な昇降手段とを備える。
第２に、上記供給位置に、載置面に載置された被搭載物の厚さ測定手段を設け、該供給位置で被搭載物の厚さを測定する。
第３に、上記測定した厚さに応じて搭載位置での被搭載物上面と配列マスク上面との距離が所定距離になるよう昇降手段を制御して導電性ボールを搭載する。 （もっと読む）

【課題】
逸脱ボールを確実に配列マスク上より除去できる逸脱ボール除去手段を備えた導電性ボールの搭載装置を提供すること。

【解決手段】
配列マスクと、ボール溜まりと、両者の相対移動手段と、逸脱ボール除去手段とを備えた導電性ボールを搭載する搭載装置に次の手段を採用する。
逸脱ボール除去手段を、配列マスク上面に沿って移動して導電性ボールを外周面に付着可能な回転ローラと、該回転ローラの付着力より強力な力で前記回転ローラに付着した導電性ボールを前記回転ローラから除去するローラ付着ボール除去手段とを有するものとしたこと。 （もっと読む）

【課題】充填バルブをガス詰め充填とノンガス充填に兼用可能にする。
【解決手段】バルブハウジング２の内部に、充填液供給配管６に連通する充填液通路４が形成されるとともに、下端に充填ノズル３１が設けられている。充填液通路４は液バルブ８によって開閉される。さらに、容器Ｂの口部をシールするパッキン３８と、パッキン３８を昇降させるシリンダ４２と、容器Ｂ内に充填される充填液量を検出するフローメータ３３と、前記バルブハウジング２に形成された排気通路４４とを備えている。排気通路４４の容器側開口部を、前記充填ノズル３１の開口部の外側に位置させるとともに、前記充填ノズル３１の開口部を容器Ｂ内の充填液の入味高さよりも上方に位置させた状態で充填を行う。ガス詰め充填時には、容器Ｂ内を前記パッキン３８で密封し、ノンガス充填時には、密封しないで充填を行う。 （もっと読む）