【目的】 ２次元の補正が可能なレチクル検査装置を提供することを目的とする。
【構成】 レチクル１０１上のＸ座標位置を測定するＸ軸レーザ干渉計２０１とＸ軸レーザスケール２０２と、前記レチクル１０１上のＹ座標位置を測定するＹ軸レーザ干渉計２１１とＹ軸レーザスケール２１２と、前記レチクル１０１上の光学画像を取得する光学画像取得部となるレーザ光学装置１０３、及び透過光検出部１０５等と、前記レチクル１０１上の複数の所定の位置における設計上のＸＹ座標と前記Ｘ軸レーザ干渉計２０１とＸ軸レーザスケール２０２と前記Ｙ軸レーザ干渉計２１１とＹ軸レーザスケール２１２とにより測定される前記複数の所定の位置のＸＹ座標とに基づいて、前記光学画像取得部により取得された前記光学画像の位置を補正する光学画像補正部１４０と、補正された位置で前記光学画像と所定の参照画像とを比較する画像比較部１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 物理モデルに関わりなく、精度の高い参照画像を作成する方法及び装置を提供することを目的とする。
【構成】 良品レチクルパターンの光学画像から、パターンを構成する複数の要素部分に対応する良品レチクルパターンの複数の要素スキャン画像を記憶してデータベースを作成するデータベース作成工程（Ｓ１０６）と、検査対象レチクルパターンの設計データ画像を構成する複数の要素部分に対応する検査対象レチクルパターンの複数の要素設計データ画像に対応する良品レチクルパターンの複数の要素スキャン画像を組み合わせて、検査対象レチクルパターンの設計データ画像に対応する検査対象レチクルパターンの参照画像を作成する検査対象レチクルパターン参照画像作成工程（Ｓ１１２）と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レチクル検査装置などにおいて、画像を行列として扱ったときに同じ階調値が続いてランク落ちするような場合に効果的な画像補正方法を提供する。
【解決手段】パターン画像に微少階調のランダムノイズ画像を重畳させることによって、行列をフルランクにする画像補正方法。 （もっと読む）

【目的】 アライメントに要する時間を短縮し、全体の検査時間を短縮する方法および検査装置を提供することを目的とする。
【構成】 Ｙ方向に仮想分割されたフォトマスク１０１の複数の検査ストライプの各検査ストライプごとに、前記Ｙ方向と直行するＸ方向に向かって複数のエリアを設定するエリア切り出し回路２１５と、各検査ストライプごとにＸ方向に移動しながらフォトマスク１０１の光学画像を取得するセンサ回路１０６等と、エリアごとに、光学画像と、比較対象となる参照画像との位置合わせを行なう位置合わせ回路２１６と、位置合わせされた前記光学画像と参照画像との比較を行なう比較判定処理回路２１８と、を備え、前記エリア切り出し回路２１５において、既に以前に位置合わせされた検査ストライプでの各エリアにおける光学画像と参照画像との位置ずれ量に基づいて、次回の検査ストライプにおける各エリアを設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 基板パターン面への傷或いは基板の破損を防止する基板検査装置を提供することを目的とする。
【構成】 本発明の基板検査装置は、被検査基板を検査する基板検査装置において、基板１０１を保持する保持具１０２と、前記保持具１０２上に前記基板１０１と非接触に配置され、前記基板１０１が前記保持具１０２の保持位置より移動した場合に、前記基板１０１と当接し、前記当接に基づく衝撃力を吸収する衝撃吸収部１０３と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）