【課題】検査対象試料のパターン画像内の検査不要領域の影響を排除し、検査実行領域周辺について高精度な画像補正をすること。
【解決手段】検査基準パターン画像と被検査パターン画像内のパターンとその周辺を含む補正領域を指定する補正領域指定部と、補正領域の検査基準パターン画像と補正領域の被検査パターン画像に対して、線形予測モデルにより連立方程式を生成する連立方程式生成部と、連立方程式を解いてモデルパラメータを求めるパラメータ生成部と、モデルパラメータを用いて線形予測モデルを検査基準パターン画像に適用して補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成部と、を備えている、パターン検査装置。
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【課題】波長１９８．３〜１９８．８ｎｍの波長域のレーザー光を発生することができるとともに、照明用の光源として各種装置に搭載可能であり、かつ、実用的で装置の全体構成を小型化したロバスト性の高い深紫外レーザー装置を提供する。
【解決手段】第１の光源よりパルス出力される波長１０６４〜１０６５ｎｍのレーザー光を第１の基本波とし、第１の波長変換手段により上記第１の基本波を波長変換して得た第４高調波を第２の基本波とし、第２の光源よりパルス出力される波長１５６０〜１５７０ｎｍのレーザー光を第３の基本波とし、第２の波長変換手段により上記第３の基本波を波長変換して得た第２高調波を第４の基本波とし、和周波発生手段により上記第２の基本波と上記第４の基本波との和周波光である波長１９８．３〜１９８．８ｎｍのレーザー光を発生させる。 （もっと読む）

【目的】 より振動に強い信頼性の高いパタン検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【構成】 本発明のパタン検査装置２００は、１０６４ｎｍの波長を有する基本波（１）を発生する基本波光源（１）３１０と、１５６２ｎｍの波長を有する基本波（２）を発生する基本波光源（２）３２０と、基本波（１）と基本波（２）とに基づいて、波長が１９８ｎｍの深紫外光を発生させる波長変化部３３０と、基本波（１）用の光ファイバー３４２と、基本波（２）用の光ファイバー３４４と、波長変化部３３０を搭載し、波長変化部３３０により発生した深紫外光を照明光として被検査試料のパタンを検査するパタン検査部１００と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検査対象試料のパターン画像の疎密に自動的に適応した効果的な画像補正を提供すること。
【解決手段】 パターン画像から２次元線形モデルを同定し、この同定パラメータの和の値を利用して、２次元線形予測モデルによる補正パターン画像と双３次補間による補間補正画像とを切り換える画像補正装置、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】 検査対象試料のパターン画像の疎密に自動的に適応した効果的な画像補正を提供すること。
【解決手段】 パターン画像から２次元線形モデルを同定し、このモデルの重心位置の偏心量を利用して、２次元線形予測モデルによる補正パターン画像と双３次補間による補間補正画像とを切り換える画像補正装置、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象試料のパターンの検査処理時間を軽減すると同時に高い検査感度を確保すること。
【解決手段】 検査対象試料２に形成された複数のダイ２２のパターンを検査するパターン検査装置において、検査対象試料２のストリーム画像を記憶するストリーム画像用メモリ装置３６と、ストリーム画像内の各ダイ２２のパターンを相互にＤＤ比較するＤＤ比較部５１と、を備える、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】レチクル検査装置などのパターン検査装置において、パターン画像が非常に疎な場合であっても、密なパターン画像の場合と同様に効果的な画像補正とパターン検査を提供すること。
【解決手段】検査基準パターン画像と被検査パターン画像のパターンの存在する領域からパターンを貼付パターンとして切り出すパターン切出部と、検査基準パターン画像と被検査パターン画像のパターンの存在しない空白領域に貼付パターンを貼り付けて貼付検査基準パターン画像と貼付被検査パターン画像とを生成するパターン貼付部と、貼付検査基準パターン画像と貼付被検査パターン画像に対して線形予測モデルにより連立方程式を生成する連立方程式生成部と、連立方程式を解いてモデルパラメータを求めるパラメータ生成部と、モデルパラメータを用いて線形予測モデルをパターン画像に適用して補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成部と、を備える、画像補正装置。
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【課題】深紫外域の波長の深紫外レーザー光を効率よく発生させ、高出力化する。
【解決手段】波長が１０６４．０〜１０６５．０ｎｍの半導体レーザー光を光ファイバー増幅器によって増幅したレーザー光の第４高調波と、波長が１５５７．０〜１５７１．０ｎｍの半導体レーザー光を光ファイバー増幅器によって増幅したレーザ光との和周波混合により波長約２２７ｎｍのレーザー光を得て、さらにこのレーザー光と上記した波長１５５７．０〜１５７１．０ｎｍのレーザー光との和周波混合により波長１９８．４〜１９８．７ｎｍのレーザー光を得る。 （もっと読む）

【目的】 適正な精度で試料検査を行う装置、方法およびプログラムを提供することを目的とする。
【構成】 パターン形成された同一被検査試料の、複数の部分光学画像データ同士を比較する試料検査装置において、前記被検査試料の、光学画像データを取得する光学画像データ取得部１５０と、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう比較回路１０８とを備え、比較回路１０８において、所定の領域を示す領域パターンの情報に基づいて生成される領域画像データを入力し、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう場合に、前記領域画像データを参照して判定条件を変更し、試料上の欠陥の有無を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 設計データから高速に必要となる領域の参照画像を生成する装置や参照画像を生成させるための装置やそれらの方法を提供することを目的とする。
【構成】 本発明の一態様のインデックス情報作成装置２００は、フォトマスク１０１を複数の領域に仮想分割する領域分割部２２２と、複数の図形データが含まれるフォトマスク１０１用のＣＡＤデータファイルを入力し、複数の領域のうち、複数の図形データの各図形が所属する領域を抽出する領域抽出部２２４と、抽出された領域を示す領域番号に抽出された領域に所属する図形データのＣＡＤデータファイル中におけるファイルオフセットを関連させて書き込んでインデックス情報２０を作成する書き込み部２２８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）