【課題】正確なタイミングでサンプリングしたデータ値を期待値と比較する。
【解決手段】データ信号とデータ信号をサンプルするタイミングを示すクロック信号とを出力する被試験デバイスを試験する試験装置であって、データ信号をバッファリングするバッファ部と、当該試験装置の試験周期毎に、制御信号およびデータ信号の期待値を発生するパターン発生部と、試験周期毎に、制御信号がバッファ部からのデータの読出しを指示することを条件として、バッファ部からデータ信号を読み出す読出制御部と、読出制御部により読み出されたデータ信号とパターン発生部から発生された期待値とを比較する判定部とを備える試験装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】低い半波長電圧で、かつ、高い周波数で入力光を変調する光変調器を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に形成され、並走する第１光導波路および第２光導波路を有する誘電体膜と、誘電体膜上に形成された絶縁膜と、絶縁膜上に形成され、第１光導波路および第２光導波路の間に配置された信号線と、第１光導波路に対する第２光導波路とは反対側の第１領域に配置された第１グランド線と、第２光導波路に対する第１光導波路とは反対側の第２領域に配置された第２グランド線とを有するコプレーナ線路と、第１領域および第２領域において誘電体膜と接してまたは絶縁膜の内部に設けられ、第１光導波路および第２光導波路に対するバイアス電圧を印加する補助電極と、を備える光デバイスを提供する。 （もっと読む）

【課題】複数のチャンネルを有するスペクトラムアナライザにおける各チャンネルのローカル信号のレベルおよび位相の不一致に対処する。
【解決手段】信号測定装置１は、二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する複数のミキサ１４、２４と、複数のミキサ１４、２４に共通のローカル信号入力を与える単一のローカル信号源１２と、複数のミキサ１４、２４に共通の補正信号入力を与えたときの、複数のミキサ１４、２４の出力間のレベル差および位相差を測定する差分測定部５４と、複数のミキサ１４、２４に共通の被測定信号入力を与えたときに、複数のミキサ１４、２４の出力のレベルおよび位相を測定するレベル・位相測定部１８、２８と、差分測定部５４の測定結果に基づき、複数のミキサ１４、２４に共通の被測定信号入力を与えたときの第二レベル・位相測定部２８の測定結果を補正する差分補正部５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】パターンのエッジの幅及び傾斜角を高精度に測定できるパターン測定装置及びパターン測定方法を提供する。
【解決手段】電子ビームを試料表面の観察領域で走査させ、電子ビームの照射によって試料の表面から放出された二次電子を、電子ビームの光軸の周りに配置された複数の電子検出器で検出するパターン測定装置において、パターン６１の延在方向に直交し、かつ光軸を挟んで対向する２方向からの画像を取得する。そして、それらの画像から、エッジと直交するライン上のプロファイルＬ６，Ｌ７を抽出し、それらの差分を取った差分プロファイルＬ８を求める。その差分プロファイルＬ８の立下り部分Ｒ２，Ｒ３に基づいてエッジ６１ａ、６１ｂの上端を検出し、ラインプロファイルＬ６、Ｌ７の立ち上がり部分Ｒ１又は立下り部分Ｒ４に基づいてエッジ６１ａ、６１ｂの下端の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】高速多値信号を試験可能な試験装置を提供する。
【解決手段】パターン発生器ＰＧは、Ｉ／Ｏ端子Ｐ_ＩＯに入力される被試験信号Ｓ１と比較すべきしきい値電圧Ｖｔｈを指定する制御データＳ１１を発生するとともに、被試験信号Ｓ１としきい値電圧Ｖｔｈの比較結果の期待値を示す期待値データＥＸＰ２を発生する。しきい値電圧発生器１０は、制御データＳ１１に応じた電圧レベルを有するしきい値電圧Ｖｔｈを、第１タイミング信号Ｓｔ１が指定する設定タイミングｔ_Ｖごとに生成する。レベルコンパレータＣｐは、被試験信号Ｓ１の電圧レベルをそれと対応するしきい値電圧Ｖｔｈと比較する。タイミングコンパレータＴＣは、レベルコンパレータＣｐの出力Ｓ３を、第２タイミング信号Ｓｔ２が指定するストローブタイミングでラッチし、比較信号Ｓ４を生成する。タイミング調節部５０は第１タイミング信号Ｓｔ１の位相を調節する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の信号の特性値の表示を見やすくする。
【解決手段】信号表示装置１が、被測定信号の特性値（周波数、位相およびレベル）のいずれか一つ（周波数）を測定する第一特性値測定部１２と、第一特性値測定部１２により測定された特性値（周波数）を時間に対応付けて表示する表示部１８と、被測定信号の特性値（レベル）のいずれか一つを測定する第二特性値測定部１４と、第二特性値測定部１４により測定された特性値（レベル）に応じて表示部１８における表示態様を変化させる表示態様変化部１６とを備える。例えば、表示態様変化部１６は、被測定信号のうち、特性値（レベル）が所定値を超えるものを表示部１８に表示させ、特性値（レベル）が所定値未満のものを表示部１８に表示させない。 （もっと読む）

【課題】電子部品試験装置の小型化を図ることが可能な基板組立体を提供する。
【解決手段】試験モジュール２０は、第１のピンエレクトロニクスカード２１と、第２のピンエレクトロニクスカード２２と、第１のピンエレクトロニクスカード２１と第２のピンエレクトロニクスカード２２の間に挟まれた一つの中央ウォータジャケット２３と、を備えており、中央ウォータジャケット２３は、第１のピンエレクトロニクスカード２１において第２のピンエレクトロニクスカード２２に対向する第１の内側主面２１２に密着していると共に、第２のピンエレクトロニクスカード２２において第１のピンエレクトロニクスカード２１に対向する第２の内側主面２２２に密着している。 （もっと読む）

【課題】各コラムセルの露光データを迅速に作成できる電子ビーム露光装置及び電子ビーム露光方法を提供する。
【解決手段】コラムセルの位置が設計値通りであるとして主偏向領域を配置し、隣接する主偏向領域同士を結合して結合主偏向領域６１ｅ、６１ｆを生成する。次に、コラムセルの実際の位置に基づいて主偏向領域の位置を修正した修正主偏向領域５１ａを配置する。その後、結合主偏向領域６１ｅ、６１ｆに含まれる副偏向領域４２が修正主偏向領域５１ａと重なるか否かを、所定の順番で調べてゆく。そして、修正主偏向領域５１ａと重なる副偏向領域４２を、検出した順に並べて副偏向領域データを得る。 （もっと読む）

【課題】送信コイルと受信コイルの結合度が変化しても、高効率な電力伝送を行う。
【解決手段】ワイヤレス給電装置４は、共振回路１０およびマルチトーン電源２０を備え、電界、磁界、電磁界のいずれかを含む電力信号Ｓ１を送信する。共振回路１０は、直列に接続された送信コイルＬ_ＴＸおよび共振用キャパシタＣ_ＴＸを含む。マルチトーン電源２０は、複数の周波数の正弦波信号を重ね合わせたマルチトーン信号Ｓ２を、共振回路１０に出力する。 （もっと読む）

【課題】精度良く試験をする。
【解決手段】データ信号とデータ信号をサンプルするタイミングを示すクロック信号とを出力する被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスが出力するデータ信号を、被試験デバイスが出力するクロック信号に応じたタイミングで取得するデータ取得部と、被試験デバイスがクロック信号を出力しない期間において、データ取得部によるデータ取得をマスクするマスク部と、データ取得部が取得したデータ信号を期待値と比較した結果に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部と、を備える試験装置を提供する。 （もっと読む）