【課題】確実にデータを取り込んで試験する。
【解決手段】データ信号とデータ信号をサンプルするタイミングを示すクロック信号とを出力する被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスが出力するデータ信号をクロック信号に応じたタイミングで取得する取得部と、複数のエントリを有し、クロック信号に応じたタイミングにおいて取得部により取得されたデータ信号を順次各エントリにバッファリングし、当該試験装置の試験周期に応じて発生されるタイミング信号のタイミングで各エントリにバッファリングしたデータ信号を出力するバッファ部と、バッファ部から出力されたデータ信号を期待値と比較する判定部とを備える試験装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】精度良く被試験デバイスを試験する。
【解決手段】データ信号とクロック信号とを授受する被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスにデータ信号およびクロック信号を試験信号として供給する試験信号供給部と、被試験デバイスが出力するデータ信号を、被試験デバイスが出力するクロック信号に応じたタイミングで取得するデータ取得部と、データ取得部が取得したデータ信号を期待値と比較した比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と、調整時において、データ信号を取得するタイミングを生成するためのクロック信号の遅延量を調整する調整部とを備える試験装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】被試験デバイスから出力されるクロック信号を取得して試験する。
【解決手段】被試験デバイスが出力するデータ信号を被試験デバイスが出力するクロック信号に応じたサンプリングクロックに応じたタイミングまたは当該試験装置の試験周期に応じたタイミング信号のタイミングで取得するデータ取得部と、データ取得部が取得したデータ信号を期待値と比較した比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と、データ取得部がサンプリングクロックに応じたタイミングまたはタイミング信号に応じたタイミングの何れによりデータ信号を取得するかを指定する指定部と、を備える試験装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生器内のセンサの電源の具体的な構成を提供する。
【解決手段】プラズマ発生器は、容器１０と、容器１０に取り付けられ互いに対向するアンテナ（第一電極）２２および下部ステージ（第二電極）３２とを有し、アンテナ２２に所定の周波数の電圧が印加されて下部ステージ３２に交流バイアス電圧が印加されることにより、容器１０内にプラズマ１が発生する。プラズマ発生器内の下部ステージ（第二電極）３２にウェハ２が載せられており、測定装置４がウェハ２に載せられている。測定装置４は、電源装置４１、センサ４２、マイクロコンピュータ（測定結果処理器）４４を有する。センサ４２は、プラズマ発生器の内部の状態を測定する。電源装置４１は、センサ４２の電源となり、プラズマ１の発生に伴って生ずる光を受けて、電力に変換する太陽電池４１ａを備える。センサ４２は太陽電池４１ａから電力を受けて作動する。 （もっと読む）

【課題】コネクタの適切な嵌合を維持することが可能な電子部品試験装置を提供する。
【解決手段】電子部品試験装置１は、第１のコネクタ１５を有するテストヘッド１０と、第１のコネクタ１５に嵌合する第２のコネクタ２３を有し、テストヘッド１０の内部に収容されるピンエレクトロニクスカード２０と、テストヘッド１０にピンエレクトロニクスカード２０を固定する固定装置３０と、を備えており、固定装置３０は、テストヘッド１０のフレーム１６の溝１６１に係合するラッチ３５と、ピンエレクトロニクスカード２０とラッチ３５との間に介在して第１のコネクタ１５と第２のコネクタ２３の嵌合方向に沿ってピンエレクトロニクスカード２０を付勢するコイルばね３３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】剛性を高めつつ、物理的な破壊を防いだアクチュエータを提供する。
【解決手段】スイッチ装置は、第１接点１２２が設けられた基体１１０と、第２接点１３４を移動させて第１接点１２２と接触または離間させるアクチュエータと、を備え、アクチュエータは、支持層１５０と、支持層１５０上に形成され、第１駆動電圧に応じて伸縮する第１圧電膜１３６と、第１圧電膜１３６上に絶縁材料で形成され、第１圧電膜１３６の端部の少なくとも一部において支持層１５０と接して端部を覆う第１保護膜１５２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電膜の変位を大きくして動作させるスイッチ装置を提供する。
【解決手段】スイッチ装置１００は、第１接点１２２が設けられた接点部１２０と、第２接点１３４を有し、第２接点１３４を移動させて第１接点１２２と接触または離間させるアクチュエータと、第１駆動電圧を制御する制御部２００と、を備え、アクチュエータは、第１駆動電圧に応じて伸縮する第１圧電膜１３６と、第１圧電膜１３６上に設けられる支持層と１５０、を有し、制御部２００は、第１圧電膜１３６に第１の抗電界以下の電界を印加する電圧から、第１圧電膜１３６に第１の抗電界以上の電界を印加する電圧まで変化させて第１圧電膜１３６を縮ませ、第１圧電膜１３６に第２の抗電界未満の電界を印加する電圧を出力して第１圧電膜１３６を伸ばす。 （もっと読む）

【課題】非破壊試験により、層構造を有する試料を試験する。
【解決手段】電磁波測定装置は、二つ以上の層１ａ、１ｂを有する被測定物１に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器２と、二つ以上の層１ａ、１ｂの各々によって反射された電磁波である反射電磁波を検出する電磁波検出器４と、反射電磁波の各々の電場の極値I₁、I₂および反射電磁波の各々の電場が極値をとるタイミングt₀、t₁の時間差Δt₁のいずれか一方または双方に基づき、被測定物１を測定する層解析装置１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】剛性を高めつつ、割れ、欠け、またはヒビ等の物理的な破壊を防ぐアクチュエータの製造方法、およびアクチュエータを備えるスイッチ装置、スイッチ装置を備える試験装置を提供する。
【解決手段】基板上に絶縁材料で第１絶縁層を成膜する第１絶縁層成膜段階と、第１絶縁層をアニールする第１アニール段階と、第１絶縁層上に導電性材料で第１電極層を成膜する第１電極層成膜段階と、第１電極層上にゾルゲル材料を塗布してアニールすることにより、第１電極層上に第１圧電膜を成膜する第１圧電膜成膜段階と、第１圧電膜上に導電性材料で第２電極層を成膜する第２電極層成膜段階と、第２電極層上に絶縁材料で第２絶縁層を成膜する第２絶縁層成膜段階と、第２絶縁層をアニールする第２アニール段階と、を備える製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】被試験電子部品の品種切替時における作業性の向上を図ることが可能な電子部品試験装置を提供する。
【解決手段】電子部品試験装置１は、ＤＵＴ９０が電気的に接続されるＤＳＡ１０と、ＤＳＡ１０が着脱可能に装着されるハイフィックス３０と、ハイフィックス３０が着脱可能に装着されるテストヘッド６０と、を備えており、ハイフィックス３０は、ＤＳＡ１０に係合するフック４３１を有し、ＤＳＡ１０は、フック４３１が係合するフック受け部２２２と、ハイフィックス３０に向かって進退可能なプッシュピン２４と、を有し、フック４３１には、プッシュピン２４が当接するピン受け部４３３が形成されており、プッシュピン２４がピン受け部４３３を押圧することで、フック４３１の係合が解除される。 （もっと読む）