【課題】簡易な構成で内部から外部へのエアリークを低減することにより、金属コンタミネーション等が作業空間内に飛散することを防止できる支持装置を提供する。
【解決手段】支持装置１は、ヒータープレート２とシャフト３とこれらを接合させた状態で機械的に固定する固定部材２２とを備える。ヒータープレート２は、ウエハ４を載置する面と、発熱抵抗体６とを有する。シャフト３は、ウエハ４を載置する面と対向する面において、ヒータープレート２と接合する。ヒータープレート２の接合面とシャフト３の接合面との間隙からのエアリークが０．０５ｓｃｃｍ以下となるように、ヒータープレート２の接合面とシャフト３の接合面とが表面処理されている。 （もっと読む）

【課題】未焼結のセラミックス成形体の接合体を焼結一体化する方法において、接合部に隙間を有しないセラミックス焼結体を得る。
【解決手段】セラミックス粉末とバインダとを含むセラミックス成形体を用意する工程と、前記セラミックス成形体の接合面に、水分を含ませてセラミックス粉末及びバインダを分散させて分散層を形成する工程と、前記分散層が形成された接合面同士を突合せて未焼結の接合体を得る工程と、前記未焼結の接合体を焼結して一体化する工程と、を含むセラミックス焼結体の製造方法。前記セラミックス成形体の接合面には、凹凸が形成されており、凹凸の高さＨが５〜１００μｍであって、凹凸の間隔Ｌが０．０５〜１．０ｍｍである。 （もっと読む）

【課題】接合界面およびその近傍における焼結体の特性の変化が無く、変形の少ないセラミックス接合体を提供する。
【解決手段】第１のセラミックス焼結体と第２のセラミックス焼結体とが接合材を介さずに接合されたセラミックス接合体であって、第１及び第２のセラミックス焼結体は、互いに共通する成分を主成分とし、第１及び第２のいずれか一方又は両方のセラミックス焼結体が副成分を含んでおり、一方のセラミックス焼結体の前記副成分が、他方のセラミックス焼結体に拡散していないことを特徴とするセラミックス接合体。 （もっと読む）

【課題】 耐水性や耐紫外光などを向上させることにより、長寿命化を図ることができる蛍光体材料および発光装置を提供する。
【解決手段】 蛍光体粒子１１と、この蛍光体粒子１１の表面全体を被覆した被覆層１２とを有し、被覆層１２は、希土類酸化物，酸化アルミニウム，イットリウムとアルミニウムの複合酸化物，酸化マグネシウムおよびアルミニウムとマグネシウムの複合酸化物からなる群のうちの少なくとも１種の金属酸化物を含んでいる。これにより、耐水性や耐紫外光などが改善され、長寿命化を図ることができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】厚膜であり、長寿命を実現する冷陰極蛍光ランプ用電極を提供する。
【解決手段】カップ形状電極内面に酸化物セラミックス膜を形成するために、プラズマ溶射法を用いたこと、さらに施工時の溶射ガンの角度を任意で設定することを特徴とし、前記カップ形状電極の内側面部への成膜が可能となる。 （もっと読む）

【課題】軽量でフレキシビリティーを有しするとともに、耐衝撃性に優れる耐衝撃部材、人体防護服および耐衝撃部材の製造方法を提供する。
【解決手段】高速飛来物の衝撃に対する防護に用いられる耐衝撃部材５であって、鱗状に配列された小板１０を備え、配列された小板１０のうち隣り合う小板１０同士が接触する方向の小板列について、互いに隔列の位置関係にある小板列が、隙間なく防護対象を覆っている。耐衝撃部材５は、互いに隔列の位置関係にある小板列が隙間なく防護対象の表面を覆っているため、点衝撃を想定した場合、耐衝撃部材の防護対象の表面上の任意の１点において、点衝撃の方向の直線は必ず小板の２枚と交わることになる。 （もっと読む）

【課題】耐プラズマ性に優れ、安定した酸化物膜を提供する。
【解決手段】大気開放型ＣＶＤ法により、加熱した基材１０の表面に金属酸化物原料５を吹き付けて酸化物膜を成膜する。その際、ＸＲＲ法によって測定した膜密度が理論密度（ＴＤ）の７５．０〜９８．０％未満の範囲となるように成膜条件を設定する。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の特性に鑑みて、対象物の載置面における温度均一化を図りうるセラミックヒータを提供する。
【解決手段】セラミックヒータ１によれば、抵抗発熱体４の電流経路の緯線方向についての折り返し箇所が角張っているので、当該折り返し箇所が丸みを帯びている場合と比較して、抵抗発熱体４の面積の増加が図られる。さらに、電流経路の折り返し箇所が、抵抗発熱体４の中央部分４０からみて第１方位および第２方位とは異なる方位、特に中間方位に配置されるように当該電流経路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】組織の均質性に優れ、局所的な磨耗が起こり難いキャプスタンを提供する。
【解決手段】Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｗより選ばれる一つ以上の元素を、酸化物換算で０．５体積％以上、８体積％以下含み、明度Ｌ＊が４５以下、明度差ΔＬ＊が１０以下であり、気孔率が１％以下、結晶粒径が２μｍ以下のセラミックス焼結体からなることを特徴とするキャプスタン。前記セラミックス焼結体がジルコニアを主成分とし、アルミナを０．５体積％以上含む。また、非酸化物セラミックスを０．１〜２体積％含む。 （もっと読む）

【課題】膜抵抗のバラツキが小さく、膜特性の均一性に優れた透明導電膜作製用のＺｎＯ焼結体を提供する。
【解決手段】Ｂの含有割合がＢ_２Ｏ_３換算で０．０１〜３．０ｍｏｌ％であるＺｎＯ焼結体。焼結体を構成するＺｎＯ粒子の平均結晶粒径が２〜１０μｍであって、Ｂ源がＺｎ_４Ｂ_６Ｏ_１３である。前記ＺｎＯ焼結体は、ＺｎＯ粉末とＢ_２Ｏ_３粉末とを混合、焼成及び粉砕してＺｎ_４Ｂ_６Ｏ_１３粉末を得る工程と、平均粒径が０．５〜１μｍのＺｎＯ粉末と平均粒径が０．２〜０．５μｍのＺｎ_４Ｂ_６Ｏ_１３粉末とを混合、成形、焼成してＺｎＯ焼結体を得る工程とを含む方法により製造される。 （もっと読む）