【課題】異なる寸法の開口を、素早く、高い位置精度で光学系のビーム経路に移動させることができる光学系のための開口装置を提案する。
【解決手段】光学系は、光学系を通過する光線束（ＲＢ）の横断面を可変に規定する複数の開口素子を設けた開口装置（ＡＰＤ）を備える。開口装置は、光学系のビーム経路における係合位置とビーム経路外のニュートラル位置との間で第１の回転軸線（ＲＡ１）を中心として旋回可能であり、第１開口エッジ（ＡＲ１）により規定された第１開口を有する第１開口素子（ＡＥ１）と、ビーム経路における係合位置とビーム経路外のニュートラル位置との間で第２の回転軸線（ＲＡ２）を中心として旋回可能であり、第２開口エッジ（ＡＲ２）により規定された、第１開口よりも小さい第２開口を有する第２開口素子（ＡＥ２）とを備え、開口素子（ＡＲ１，ＡＲ２）は有効開口を形成し、旋回位置で開口素子の開口エッジが共通の面に位置しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】偏光照明モードをより柔軟に生成可能なように構成された照明システム及びリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】偏光モディファイアが放射ビームの少なくとも一部に修正された偏光を加えるように、それぞれの偏光モディファイアを放射ビームとの少なくとも部分的な交差部内に移動させるように構成されたアクチュエータに各々が接続された第１及び第２の偏光モディファイアを備える偏光部材と、該偏光部材を通過した後の放射ビームを受光する位置にある個別に制御可能な反射素子のアレイとを備える照明システムであって、第１及び第２の偏光モディファイアが放射ビームの異なる部分と交差するようにアクチュエータを制御することができるコントローラをさらに備える照明システム。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡装置の所望の結像解像度を維持しながら、一度に形成される一次電子ビームスポットの数や、密度を高める。
【解決手段】荷電粒子源と、ビーム経路中に配置された多孔プレートとを備えた粒子光学装置である。前記多孔プレートは、所定の第１のアレイパターン状に形成された複数の開孔を有し、下流側で前記荷電粒子ビームから複数の荷電粒子小ビームが形成され、前記複数の小ビームにより、第２のアレイパターン状に配置された複数のビームスポットが前記粒子光学装置の像平面に形成される。前記粒子光学装置は、前記荷電粒子ビーム及び／又は前記複数の小ビームを操作するための粒子光学素子をさらに備える。前記第１のアレイパターンは、第１の方向に第１のパターン規則性を有し、前記第２のアレイパターンは、前記第１の方向に電子光学的に対応する第２の方向に第２のパターン規則性を有し、前記第１のパターン規則性よりも高い。 （もっと読む）

【課題】光線の偏光に影響を与える偏光変調光素子を提供する。
【解決手段】偏光変調光学素子３０１であって、当該偏光変調光学素子は旋光性材料から成り、厚さプロファイルを有し、当該厚さは光軸の方向において測定され、光学素子の領域にわたって変化する。この偏光変調光学素子３０１は、次のような効果を有している。すなわち、第１の直線偏光光線の振動面および第２の直線偏光光線の振動面がそれぞれ、第１の回転角度および第２の回転角度で回転されるという効果を有している。ここで第１の回転角度と第２の回転角度は相互に異なっている。 （もっと読む）

【課題】液浸露光プロセスに用いられる光学素子ユニットの内部で光学系のメンテナンスをすることなく光学素子の内部部分の中に汚染物質が侵入するのを防止して、光学系の優れた長期にわたる信頼性の高い画像形成特性を提供する。
【解決手段】光学素子群と、光学素子群を収容しハウジング内部部分及び出口端部３．２を有するハウジング３．１と、内部ハウジングに連結されハウジング内部部分に対してパージ媒体１５．２を供給するパージユニットとを具備する。光学素子群は極限光学素子９を有する。極限光学素子９はハウジングの出口端部に配置され、ハウジング内部部分をハウジングの外部の環境から分離している。極限光学素子及びハウジングは、シーリングギャップ１２を調整可能に形成する。パージユニットは、ハウジング内部部分の中への汚染物質の侵入を防止するためシーリングギャップにパージ媒体を供給する。 （もっと読む）

【課題】光線の偏光に影響を与える偏光変調光素子を提供する。
【解決手段】偏光変調光学素子（１）であって、当該偏光変調光学素子は旋光性材料から成り、厚さプロファイルを有し、当該厚さは光軸の方向において測定され、光学素子の領域にわたって変化する。この偏光変調光学素子（１）は、次のような効果を有している。すなわち、第１の直線偏光光線の振動面および第２の直線偏光光線の振動面がそれぞれ、第１の回転角度および第２の回転角度で回転されるという効果を有している。ここで第１の回転角度と第２の回転角度は相互に異なっている。 （もっと読む）

【課題】光線の偏光に影響を与える偏光変調光素子を提供する。
【解決手段】偏光変調光学素子（１）であって、当該偏光変調光学素子は旋光性材料から成り、厚さプロファイルを有し、当該厚さは光軸の方向において測定され、光学素子の領域にわたって変化する。この偏光変調光学素子（１）は、次のような効果を有している。すなわち、第１の直線偏光光線の振動面および第２の直線偏光光線の振動面がそれぞれ、第１の回転角度および第２の回転角度で回転されるという効果を有している。ここで第１の回転角度と第２の回転角度は相互に異なっている。 （もっと読む）

本発明は、マスク検査装置の照明系及び投影対物系に関する。本発明の態様により、マスク検査装置の作動中の照明系（６１０）は、重心光線を有する照明光線束（６１５）を用いてマスク（６３０）を照明し、この重心光線は、マスク（６３０）上の照明光線束（６１５）の入射場所に依存する方向を有する。 （もっと読む）