【課題】マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システムにおいて複数の２次光源を生成するための光結合器、更に、このような照明システムで使用される細長マイクロレンズのアレイを製造する方法を提供する。
【解決手段】マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システムにおいて複数の２次光源を生成するための光結合器は、第１の平面に並んで配置されて第１の頂点線（Ｖ）を有する細長い凸状に湾曲した第１のマイクロレンズの第１のアレイ（１１２Ｘ）を含む。光結合器は、更に、第２の平面に並んで配置されて第２の頂点線（Ｖ₁からＶ₄）を有する細長い凸状に湾曲した第２のマイクロレンズの第２のアレイ（１１４Ｘ、２１４Ｘ）を含む。少なくとも１つの第２の頂点線又はその一部分は、光結合器の光軸に沿った投影において、第１の頂点線（Ｖ）又はその一部分のいずれの１つとも一致しない。 （もっと読む）

【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】投影システムの素子間の機械的絶縁を改良する。
【解決手段】投影システムの第１の素子と投影システムの第２の素子の間の振動伝搬の範囲を低減する手段を備えるリソグラフィ装置、及びデバイス製造方法が開示される。開示される方法は、振動絶縁システムの一部として直列の複数の弾性部材と、第１及び第２の投影システムフレームを別個に支持する複数の絶縁フレームと、第１及び第２の投影システムフレームと（１つ又は複数の）絶縁フレームの間の相互作用のために修正された連結位置とを使用することを含む。 （もっと読む）

【課題】互いの光学素子に対する光学素子の配置の安定性、また、結像の精度が向上された光学装置を提供する。
【解決手段】本発明によるマイクロリソグラフィ投影露光システムは、少なくとも１つの光学素子、具体的には、レンズ、ミラー、絞りを有するオブジェクティブ、又は露光システムにおける光学システムあるいはアセンブリを備え、少なくとも１つの素子がマニピュレータによって影響を受けることができ、マニピュレータが精密な調整、又は光学素子又は複数の光学素子の微細な調整のための機構を含む。 （もっと読む）

【課題】紫外線放射に対して高い耐放射線性を有するフッ化物結晶、特にフッ化カルシウム結晶を製造する方法を提供する。
【解決手段】アルカリ金属フッ化物又はアルカリ土類金属フッ化物を含有する結晶粉末６を供給して結晶原料塊を形成するステップと、結晶原料塊を結晶成長ユニット内で溶融するステップと、溶融した結晶原料塊を冷却により凝固させるステップと、を含む方法。複合フルオロ酸のアンモニウム塩７及び脂肪族アルコール８を前記結晶粉末６又は前記結晶原料塊に添加して、酸化物系不純物を減らす。この方法により製造したフッ化物結晶、及び該フッ化物結晶から形成した光学コンポーネント。 （もっと読む）

【課題】開口数ＮＡ＞１で液浸リソグラフィを可能にする値に達し得る非常に高い像側開口数の可能性を有する、真空紫外領域での使用に適したカタディオプトリック投影対物系を提供する。
【解決手段】投影対物レンズの物体平面に設けられたパターンを投影対物系の像平面上に結像するためのカタディオプトリック投影対物レンズが、物体平面に設けられたパターンを第１中間像に結像するための第１屈折対物レンズ部分と、第１中間像を第２中間像に結像するための少なくとも１つの凹面鏡を有する第２対物レンズ部分と、第２中間像を像平面上に結像するための第３屈折対物レンズ部分を有し、投影対物レンズが最大レンズ直径Ｄ_max、最大像視野高さＹ’、及び像側開口数ＮＡを有し、ＣＯＭＰ１＝Ｄ_max／（Ｙ’・ＮＡ²）であり、条件ＣＯＭＰ１＜１０が当てはまる、カタディオプトリック投影対物系。 （もっと読む）

【課題】光学素子の位置決め及び配置を、簡単に可能にするマルチミラーアレイを備えるマイクロリソグラフィ用の投影露光装置を提供する。
【解決手段】互いに並べて配置した複数の光ビーム（４）を含む光ビーム配列に影響を及ぼす装置であって、光ビームに対して横方向に可動であり、光ビームを通過させる場合に光ビームに影響を及ぼすことができ、少なくとも１つの光吸収領域（９、１９、２９）を有する、少なくとも１つの光学素子（５、１５、２５）を設け、光学素子用の駆動デバイスと、光ビームの光を検出する測定デバイスと、光吸収領域の位置に応じて駆動デバイスを制御する制御ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロリソグラフィ露光装置用の照明システムのための向上した集光装置を提供すること。
【解決手段】マイクロリソグラフィ露光装置の照明システムは瞳平面５４を視野平面６２に変換するための集光装置６０１を有する。集光装置６０１は、薄い平面状プレートＬ１１として形成される第１のレンズ、非球面凹面の後面を有する負のメニスカス・レンズとして形成される第２のレンズＬ１２、第３のレンズＬ１３は非球面凸面の後面を有する正のメニスカス・レンズ、、第４のレンズＬ１４はやはり非球面凸面の後面を有する両凸面レンズ、第５のレンズＬ１５は凹面の後面を備えた正のメニスカス・レンズ、第６のレンズＬ１６は平凹面レンズ、最終段レンズである第７のレンズＬ１７はわずかに凹面の前面を備えた正のメニスカス・レンズで構成される。 （もっと読む）

【課題】光学アセンブリにおけるビーム経路に交換可能な光学部品を十分な精度と再現性を持って配置すること。交換機構及び交換可能な光学部品から妨害的な振動が光学アセンブリに伝わるのを防ぐこと。交換機構によって生成される粒子によって、光学アセンブリ又はそれに備わるそれぞれの光学部品の汚染を防止すること。
【解決手段】複数の光学部品（２）を有する光学アセンブリ（１）に関し、少なくとも１つの光学部品（２’，２”）は光学アセンブリ（１）から可動的に分離された構造体（５）に接続され、これによって上記光学部品（２’、２”）はその他の光学部品（２）及び光学アセンブリ（１）からも十分に可動的に分離される。 （もっと読む）