【課題】スプロケット孔が変形や破損しないように、テープを送るテープ送り方法を提供する。
【解決手段】トルクキーパを介してモータに連結するＢＴ歯車とＵＬ歯車が、モータに直結したピッチ送りスプロケット歯車の上流と下流に設けられている。テープ送りは、張力付与工程と張力保持工程とピッチ送り工程からなる。張力付与工程において、ＢＴモータの回転速度をピッチ送り工程における回転速度より遅くなるように設定する。同様に、張力付与工程において、ＵＬモータの回転速度をピッチ送り工程における回転速度より遅くなるように設定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体ウエハや電子回路基板の半田バンプを形成するボールのボール供給方法とボール供給装置ならびにそれらを用いたボール振込装置を提供することになる。
【構成】ボール供給方法は、ボール供給装置を１８０°回転した後、ボール供給装置を逆転させ元の状態に戻すことにより、ボールを計量し、排出する方法である。ボール供給装置は、ボール貯留部とボール計量部とそれらを回転させるモータからなる。ボール計量部は、ボール計量キャビティとボール分離貯留キャビティと出口からなり、ボール貯留部から出口まで中空管で連通している。 （もっと読む）

【課題】 マスクのパターンに半田ボールなどの微小粒子を確実に充填できる共に、マスクに残存する微小粒子の影響もない方法を提供する。
【解決手段】 ボールマウンタ１は、充填用ヘッドにより大量の半田ボールを移動させるステップＳ８と、除去用ヘッドにより、マスクに残った半田ボールを除去するステップＳ９とを行なう。ステップＳ８においては、残ボールが発生しても良いので、十分な量の半田ボールを移動できる。また、ステップＳ９においては、残ボールを除去すると共に、マスクの開口パターンに充填された半田ボールをフラックスに押し付けて密着させることができる。 （もっと読む）

【課題】ボール搭載装置で、ボール搭載ヘッドのボール整列面に付着した余剰ボールを確実に検出できるボール検出方法とボール搭載ヘッドを提供する。
【解決手段】ボール搭載ヘッドは、ボール整列部４と、遮光部と、発光部１と受光部２からなる遮光型の光センサーからなる。遮光部は、ボール整列面５に整列された正規ボール６を遮光する遮光板１２と、遮光板を上下に駆動する駆動装置９からなる。この遮光板により光センサー出力の背景ノイズを大幅に低減できる。ボール検出方法は、受光部の出力を所定回数サンプリングし、それらの平均値を背景ノイズとし、サンプリングした受光部からの出力と差分する。この差分値と閾値を比較してボールの有無の判断を行う。 （もっと読む）

【課題】 マスクのパターンに半田ボールなどの微小粒子を振込み易い装置を提供する。
【解決手段】 半田ボールなどの微小粒子をワークの所定の位置に配置するためのパターンを備えたマスク１１の上で、ヘッド２０をマスク１１に対し垂直な軸まわりに回転させながらマスク１１の表面を移動させる装置を提供する。ヘッド２０は、回転中心の内円２６の周りに配置された複数のスキージ２２を備えており、各々のスキージ２２は、ヘッド２０が回転するとボールを内円２６の方向に移動させる。このため、ヘッド２０の移動方向にかかわらず、常に内円２６のボールの密度を高く維持することができる。 （もっと読む）

【課題】 樹脂封止装置において、ＴＣＰテープの搬入に伴ってキュア炉内に侵入してくるコンタミや微細なゴミ等を入口付近で直ちに排出し、キュア炉内部への侵入を防止出来るよにした排気機構を提供する。
【構成】 ＴＣＰテープにボンディングされた半導体チップの表面に樹脂を滴下して保護膜を形成する樹脂封止装置において、この樹脂封止装置に配設されるキュア炉内の排気を行うダクトが、キュア炉の入口近傍に形成されていてキュア炉内部へのコンタミ等の侵入を防止する。 （もっと読む）