【課題】吐出ヘッドから吐出したフラックスの到達位置精度を高くすることができるボール搭載装置を提供すること。
【解決手段】ワークとして基板Ｗの表面に設けられた複数の電極Ｔの上に導電性ボールＢを搭載するボール搭載装置１００は、基板Ｗを移動するワーク移動手段としての搬送ステージ２と、電極Ｔに対し液状のフラックスを吐出するフラックス吐出手段としてのフラックス吐出装置１０とを有し、フラックス吐出装置１０は、ボール搭載装置１００に対して固定位置とされ、搬送ステージ２は、基板Ｗを、電極Ｔがフラックス吐出装置１０のフラックスの到達位置に位置するように移動することとしている。 （もっと読む）

【課題】導電性ボールの搭載時間を短縮できる装置を提供する。
【解決手段】マスク１１０の表面１１０ａの一部分に複数の動区域Ａ１〜Ａ４をそれぞれ形成するための複数のヘッド４０ａ〜４０ｄを有する充填装置１０を提供する。ヘッド４０ａ〜４０ｄは、マスク１１０の表面１１０ａを第１の方向Ｙに沿って第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２との間を往復移動する。充填装置１０は、動区域Ａ１〜Ａ４の第１の位置Ｐ１の側を追尾して動き、複数の動区域の第１の位置の側の全長にわたり導電性ボールを回収する第１のボール回収手段２１と、複数の動区域Ａ１〜Ａ４の第２の位置Ｐ２の側の全長にわたり導電性ボールを回収する第２のボール回収手段２２と、複数のヘッド４０ａ〜４０ｄ、第１および第２のボール回収手段２１および２２を同期して往復移動させる移動手段８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ピン数の多いボール吸着ヘッドにおいて、ボール吸着ヘッドの空気吸引量を増大させても、ボール吸着ヘッド中央側と周辺側でボールの存在密度を均一にでき、ボール吸着ヘッドへの吸着時間を短縮できるボール搭載装置を提供する。
【解決手段】ボール２を収容するボール収容部１４と、ボール２をボール収容部１４のボール跳躍面（振動板）から跳躍させる跳躍機構（跳躍ユニット４）と、跳躍機構により跳躍するボール２を吸引して吸着するボール吸着ヘッド５を有し、ボール吸着ヘッド５に吸着されたボール２を、ボール２が搭載される被搭載物へ搭載されるボール搭載装置１において、跳躍機構は、ボール跳躍面（振動板）の中央側よりも周縁側にボール２の存在密度が高くなるようにボール２を跳躍させる。 （もっと読む）

【課題】マスクの複数の開口に導電性ボールを充填する装置によって基板に導電性ボールを搭載する方法であって、導電性ボールの搭載時間を短縮できる方法を提供する。
【解決手段】当該方法は、移動装置によって複数の動区域Ａ１〜Ａ４の相互の間隔を所定の値に保った状態でボール保持装置を往復移動させることにより、複数のヘッドを、往路および復路のそれぞれにおいて、それぞれの動区域Ａ１〜Ａ４の中心が、往復移動の方向に一連に並べられたいくつかの開口グループＭを含み、動区域Ａ１〜Ａ４が未通過の第１の開口グループ列１２１、および第１の開口グループ列１２１に隣接し、動区域Ａ１〜Ａ４が未通過の第２の開口グループ列１２２を通過するように移動させることを含む。 （もっと読む）

【課題】ボール供給部から吸着ヘッドへのボールの供給工程を簡単なものとすることができるボール振込装置を提供する。
【解決手段】ボール２０を搭載する基板２３の所定位置に対応する位置に開口が設けられたマスク２１と、開口にボール２０を振込むヘッド５と、ヘッド５にボール２０を供給するボール供給装置１０とを有するボール振込装置１において、マスク２１に対して、ヘッド５およびボール供給装置１０は一体に移動し、ボール供給装置１０は、ボール２０が貯留されているボール容器１１と、ボール容器１１から供給されるボール２０を計量するボール計量器１２とを有し、ボール供給装置１０は、ボール計量器１２により計量されたボール２０をヘッド５に供給する。 （もっと読む）

【課題】線状部材を束ねた結束線状部材を捩じってヘッドに取り付けることで、ボールが線状部材の間に入り込むことと、線状部材がボールを乗り越えることを防止した結束線状部材を提供する。
【解決手段】基板に形成された電極パターンとマスクに形成された開口パターンとを位置合せし、マスク上に供給されたボール３４を結束線状部材４５で押して、マスクに形成された開口を介してボールを電極上に振り込む方法に用いられる装置であって、結束線状部材は、複数本の線状部材からなり、それらの両端部を固定部材で固定され、更に線状部材同士で相互に干渉するように捩られた状態で固定部材を介して振込ヘッドに取付けられ、且つ捩じられた線状部材３９が、振込ヘッドの下端部に浮いた状態で配設されるように振込ヘッドに固定される。 （もっと読む）

【課題】計量器内の流路に傾きを持たせて、計量器を９０度往復回転させて粒状物質の計量を可能とする。
【解決手段】計量器１は、粒状物質を貯留する貯留部２と計量する計量部３からなる。計量部は、粒状物質を計量する計量キャビティ１８と計量された粒状物質を一時貯留する一時貯留キャビティ２０とそれらをつなぐ流路を有する。計量キャビティと一時貯留キャビティとの角度差を９０度に設定する。先ず計量器を９０度右回転させて、待機状態で計量キャビティに充填している粒状物質を一時貯留キャビティに移動する。一時貯留キャビティ内の粒状物質が計量された量である。次に計量器を９０度左回転させて、一時貯留キャビティ内の粒状物質の排出と計量キャビティへの粒状物質の充填を行なう。計量操作はこの操作の繰り返しである。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスあるいは光学デバイスの実装において使用される、半田ボール、金ボール、または銅ボールなどの微小粒子をウェハなどのワークに対して所望のパターンに従って精度良く、そして、高い信頼性で配列された導電性ボールを備えたワークを歩留まり良く製造できる方法を提供する。
【解決手段】マスク４５は、導電性ボール４８をウェハ１０の所定の位置に配置するための開口パターン４６を含む。当該方法は、マスク４５とウェハ１０とを位置合わせし、マスク４５の開口パターン４６に導電性ボール４８を充填し、マスク４５とウェハ１０とを外した後に、マスク４５の裏面側から、マスク４５の開口パターン４６に詰まった状態の導電性ボール４８ｄおよび／またはマスク４５の裏面４５ｂに着いた導電性ボール４８ｃを除去する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】基板を搭載して移送可能なステージであって、基板の上に良好にマスクを重ねることができるステージを提供する。
【解決手段】基板を支持する基板支持面４１を備えた基板支持台４２と、基板支持台４２を上下に移動させる第１の駆動機構４４と、基板支持面４１の周囲に位置する上端面５１を備えた、外形が矩形状のフレーム５２と、フレーム５２を上下に移動させる第２の駆動機構５４とを有する。ステージ１０の移動先上方に固定された薄板状のマスクの下で第２の駆動機構５４によりフレーム５２を上方に動かし上端面５１がマスクに接したときにマスクを吸引吸着するための複数の第１の吸引孔５８が、フレーム５２の上端面５１の相対する一対の辺に沿って設けられている。 （もっと読む）

【課題】吸着ヘッドに形成される吸着孔の数が膨大であっても、吸着ヘッドでの余剰ボール現象の発生を抑制できるボール搭載方法を提供すること。
【解決手段】ボール２を吸着する複数の吸着孔が形成される吸着ヘッド８と、複数の吸着孔に吸着される前の複数のボール２が収納される収納容器１５とを備えるボール搭載装置１を用いて、複数の吸着孔に吸着された複数のボール２を基板３上に搭載するボール搭載方法は、収納容器１５内のボール２の数が吸着ヘッド８の吸着孔の数よりも少なくなるように、収納容器１５内のボール２の数を設定する初期ボール量設定工程と、初期ボール量設定工程後、収納容器１５にボール２を供給しながら、吸着孔にボール２を吸着させるボール吸着工程と、ボール吸着工程後、複数の吸着孔に吸着された複数のボール２を基板３上に搭載するボール搭載工程とを備えている。 （もっと読む）