【課題】この発明は超音波振動するホーンの電子部品を保持するツール部の振幅を、ツール部以外の箇所で検出する実装装置を提供することにある。
【解決手段】ホーン２２の一端に設けられホーンを所定方向に振動させる振動子２３と、ホーンの振動の振幅が最大となる部分の下面に設けられた半導体チップを保持するツール部２５と、ホーンを下降方向に駆動してツール部に保持された半導体チップを基板に押圧するシリンダ１２と、反射面を有し、ホーンの振幅が最大となる部分の側面にホーンの振動方向に対して反射面を交差させて設けられた検出光の反射部となる凸部３４と、ホーンの振動方向と同方向に配置され凸部の反射面３４ａに検出光を照射してホーンの振動の振幅を検出する測定器３６を具備する。 （もっと読む）

【課題】この発明は電子部品を吸着保持するための吸引孔を超音波振動するホーンに腹の部分に容易に形成できるようにした超音波実装ツールを提供することにある。
【解決手段】ホーン２２の一端に設けられホーンを所定方向に振動させる振動子２３と、ホーンの振動の振幅が最大となる部分に設けられ下面に半導体チップＣを吸着保持する吸引孔３１の先端部が開口したツール部２５を具備し、吸引孔は、ホーンの振動方向と交差する上下方向に沿って真直ぐに貫通して形成されている。 （もっと読む）

【課題】半田ボールの表面酸化と損傷を発生させないで半田ボールを計量して供給する半田ボールの計量装置と、半田ボールの表面酸化と損傷が少ない半田ボール配置装置を提供する。
【解決手段】半田ボールの計量装置は、半田ボールを貯留する貯留部１と計量する計量部２と気体供給装置からなる。貯留部は、不活性ガス雰囲気中に大量の半田ボールを貯留し且つ計量部と連通部を有し、計量部は、貯留部から上部流路を通り重力で落下した半田ボールを一時貯留する計量キャビティ１０に連通した気体供給流路へ気体供給装置から加圧気体を吐出して、計量キャビティに一時貯留された半田ボールを吹き飛ばして下部流路１１を通り計量部出口１３から排出する。ボール配置装置は、この計量装置を用いて振込まれた半田ボールを間欠的にヘッドに供給し、マスクに配設された開口を通して半田ボールを基板電極に配列させる。 （もっと読む）

【課題】気体を吐出することによりマスク上にボールを囲い込みながら水平に移動して、マスクに配設された開口にボールを損傷せず、正確に振込むボール誘導装置を提供する。
【解決手段】ボール誘導は、ボール誘導ヘッド１２と、ボール供給装置３１と、気体供給装置３２と、駆動機構とを有する。ボール誘導ヘッド１２には、気体導入口２３と気体吐出口が設けられ、ボール誘導ヘッド１２の下面には、下面開口４３の接線方向に気体を導く溝２７が設けられている。溝２７に吐出された気体は、中空部２２に吹出されて、ボール誘導ヘッドの移動にともない下面開口に接近したボールをボール囲込領域４３の接線方向から内側に移動させ、ボール囲込領域にあるボールが、ボール誘導ヘッドの底部を通過して、ボール誘導ヘッド外へ流れ出することを防止し、ボール誘導ヘッド１２を移動させることによりボールをマスク上で移動させ、マスクに形成された開口へボールを振込む。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いた処理のタクトタイムを短縮できる装置を提供する。
【解決手段】フラックス印刷装置２は、基板に同一の処理を行うための実質的に同一の第１の開口群１４ａおよび第２の開口群１４ｂを含むマスク１０を保持するためのフレーム２１と、基板を搭載し、基板の位置決めをするための移動ステージ３０とを有する。移動ステージ３０は、基板をそれぞれ搭載支持するための第１の保持台３１ａおよび第２の保持台３１ｂを含み、第１の位置Ｐ１と第２の位置とを移動する。第１の位置Ｐ１では、第１の保持台３１ａを第１の開口群１４ａに合わせるとともに、第２の保持台３１ｂをマスク１０の中間領域１９に対応する入出力位置１１９に合わせる。第２の位置では、第２の保持台３１ｂを第２の開口群１４ｂに合わせるとともに、第１の保持台３１ａを入出力位置１１９に合わせる。 （もっと読む）

【課題】微細な半田ボールを大型の基板に工業的レベルで実装できるボール搭載装置を提供する。
【解決手段】半田ボールを搭載する基板６を載置する基板載置装置１と、基板６に位置合せされたマスク上に供給された半田ボールをマスクの開口に落とし込むボール落とし込み装置４と、開口に落とし込まれた半田ボールを基板６に押圧するボール押圧ヘッドを有するボール押圧装置３からなるボール搭載装置であって、ボール押圧ヘッドに水平度超越デバイスを設けるとともに、基板の位置を計測するために複数個の固定カメラ１９ａ、１９ｂ、１９ｃを配設する。 （もっと読む）

【課題】導電性ボールを基板に配置するための複数の開口を備えたマスクと前記基板とを位置合わせした状態で、前記複数の開口に前記導電性ボールを充填する装置を提供する。
【解決手段】充填装置は、マスク１１の表面の一部の２次元的な限られた広がりを備えた区域２６であって、マスク１１の表面の移動先の区域に、２次元的な広がりを備えた導電性ボールの集団１６を形成するヘッド２０と、ヘッド２０を移動する手段と、ヘッド２０とともに移動されるボール供給装置６０であって、移動先において、２次元的な広がりを備えた導電性ボールの集団１６に導電性ボールを補充するボール供給装置６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】マスクと基板との位置合わせの時間を短縮できる装置を提供する。
【解決手段】ボール搭載装置２は、マスク１０に設けられたマスク側の基準マーク１５ａと基板１００に設けられた基板側の基準マーク１０５ａを観察するための観察用カメラ５０ａと、マスク１０に設けられたマスク側の基準マーク１５ｂと基板１００に設けられた基板側の基準マーク１０５ｂを観察するための観察用カメラ５０ｂとを有する。観察用カメラ５０ａは、マスク１０の複数の開口１２から離れた位置に設けられた観察用窓１７ａを介して基板側の基準マーク１０５ａを観察する。観察用カメラ５０ｂは、マスク１０の複数の開口１２から離れた位置に設けられた観察用窓１７ｂを介して基板側の基準マーク１０５ｂを観察する。 （もっと読む）

【課題】矯正力を解除する際にボールの移動を抑えることができる基板矯正装置を提供すること。
【解決手段】ボールが搭載される基板の反りを矯正する基板矯正装置９は、基板Ｐ１を支持部としての外枠支持部３２、内枠支持部３３、島状支持部３４に対して当接するように吸引することで、基板Ｐ１に対して反りを矯正する矯正力を作用させる複数の吸引保持部３０を有し、基板Ｐ１を複数の吸引保持部３０により複数の部分において矯正することとする。 （もっと読む）

【課題】調整対象物の角度調整の調整方向や調整量を把握し易い角度調整装置を提供すること。
【解決手段】角度調整装置１は、固定部１９と、調整対象物保持部２０と、この調整対象物保持部２０を固定部１９に対して遥動可能に支持する球面軸受け部２１と、この記球面軸受け部２１を支点にして、調整対象物保持部２０を固定部１９に対して接離する方向に変位させる調整手段としての調整ねじ２２とを有し、調整ねじ２２、球面軸受け部２１の回転中心を通る直線上において互いに直交する２方向の各方向ごとに、直交点が中点となる２箇所に配置されていることとする。 （もっと読む）