【課題】 光軸調整が不要で、振動の影響が軽減され、小型化が可能な光学素子及び干渉計を提供すること。
【解決手段】 光学素子２０は、第１〜第４の三角プリズム２１、２２、２３、２４のそれぞれの頂角をなす面同士を貼り合わせて構成され、第１及び第２の三角プリズムの両接合面２１ａ、２２ｂ、及び第２及び第３の三角プリズムの両接合面２２ａ、２３ｂ、及び第３及び第４の三角プリズムの両接合面２３ａ、２４ｂ、及び第４及び第１の三角プリズムの両接合面２４ａ、２１ｂのそれぞれが、光学薄膜を介して接合され、各光学薄膜は、入射光をその偏光状態に応じて透過又は反射する特性を有する。光学素子２０は、光学薄膜における第１の位置Ｐ１で光路を分割し、光学薄膜における第２の位置Ｐ２で光路を合成する。 （もっと読む）

【課題】二つの入力信号の位相差を０〜３６０度の範囲で連続して安定的に測定可能な位相差測定装置を提供する。
【解決手段】二つの入力信号Ｒ，ＭをＲ信号分周回路１０１及びＭ信号分周回路１０２で分周し、位相差出力回路１０３で二つの分周信号の排他的論理和をとることにより分周信号の位相差を算出する。位相差算出部１２２は位相差出力回路１０３から出力された分周信号の位相差に基づいて、入力信号Ｒ，Ｍの位相差を算出する。位相差矛盾解決回路１１０は、位相差が０〜３６０度の周期範囲を超えたときに、Ｒ信号分周回路１０１をリセットする。二つの位相差測定回路１００，２００は測定範囲が異なり、セレクタ１６は位相差信号のデューティが５０％に近い位相差測定回路から出力される位相差を選択する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で測定対象の吸収係数と散乱係数を同時に計測することが可能な計測方法及び計測装置を提供すること。
【解決手段】 光源１０と、試料３０を透過した光をアパーチャ２２を介して受光する受光部４２とを含む。受光部４２は、アパーチャ２２の径を第１の径ｄ１としたときに受光した透過直進光の強度Ｉ_ｏを検出し、また、アパーチャ２２の径を第２の径ｄ２としたときに受光した透過直進光と前方散乱光を合わせた光の強度Ｉ_ｏ＋Ｉ_ｓを検出する。試料３０に入射する光の強度Ｉ_ｉと透過直進光の強度Ｉ_ｏと透過直進光と前方散乱光を合わせた光の強度Ｉ_ｏ＋Ｉ_ｓとに基づいて、試料３０の吸収係数及び散乱係数を算出する演算処理を行う。 （もっと読む）

【課題】被検体としての光学部品に対するレーザ耐力を非破壊で定量的に測定することができ、損傷メカニズムについても高精度に分析する。
【解決手段】光源１１により発生された光パルスをポンプ光とプローブ光に分離するビームスプリッタ１３と、分離したポンプ光とプローブ光との遅延時間を調整する遅延時間調整部１５と、ポンプ光に対するプローブ光の偏光方向を互いに直交する方向に制御する第１の偏光素子３６と、ポンプ光及びプローブ光を被検体２に照射する照射光学系と、プローブ光が被検体２から反射したプローブ信号を検出する受光素子３１と、受光素子３１により検出されたプローブ信号に基づいて被検体２からの反射率を解析するＰＣ３３とを備え、反射率から電子励起とその緩和による反射率ピークの高さ及び／又は幅を同定し、予め入力されている損傷度合と反射率ピークの高さ及び／又は幅の相関情報を照合して、当該被検体の損傷度合を判別する。 （もっと読む）

【課題】光学システムにおけるミラーホルダの調整や直動ステージの可動テーブルの位置決めの自動操作に適し、全長が短く、小形で高精度な位置・角度調整、位置決めが可能な圧電アクチュエータ機構を提供する。
【解決手段】この圧電アクチュエータ機構は、送りネジ１１と送りネジナット１４によるネジ送り機構と、この送りネジナット１４の後端面に取り付けられた円盤形ロータ１７と、ロータ１７の周面に接当する圧電振動子２１を有する超音波モータ１８と、ばね力で送りネジ１１の先端に押圧され、かつ該送りネジの送り動作で変位、位置出しされる被動マウント部とを有している。被動マウント部は、例えば光学システムで用いられるミラーホルダ１や直動ステージ１０の可動テーブル２１とすることができる。 （もっと読む）

【課題】反射ミラー基体を固定するための光学マウントを必要とせず、しかも調整可能な反射面の向きが1軸を中心とする回転方向に限定されず調整することが可能である。
【解決手段】反射ミラー基体10を保持する構造体である光学ステージ12に対して、この反射ミラー基体がその位置及び姿勢を調整可能な状態で直接固定された反射ミラー装置である。光学ステージには、第1繰り出し機構部20及び第2繰り出し機構部22が形成されており、これらの機構によって、反射ミラー基体の光学ステージに対する位置及び姿勢を調整することが可能な形態に構成されている。第1及び第2繰り出し機構部を具えていることによって、反射ミラー基体の反射面の向きが1軸を中心とする回転方向に限定されず調整することが可能とされている。 （もっと読む）

【課題】振動子の損失を小さくし（振動効率を大きくし）、振動子の耐久性、信頼性の向上を図った超音波モータ用振動子を提供する。
【解決手段】矩形板状の圧電振動素子１の固有振動モードの歪みが大きい領域に、外形形状に曲線部を含む電極７，８，９を配置する。特に、屈曲振動を励振する電極７，８を屈曲固有振動モードの歪みが所定の値以上となる領域に配置し、かつ電極７，８の外形曲線部を歪みの等高線３，４に沿った形状とし、伸縮振動を励振する電極９を伸縮固有振動モードの歪みが所定の値以上となる領域に配置する。 （もっと読む）

【課題】振動子先端の摩擦接触部の形状により初期動作が持続して安定な速度、推力、安定な共振周波数が保たれ、安定した動作特性が長期にわたって得られる超音波モータ用振動子を提供する。
【解決手段】被駆動体２を摩擦接触で駆動する超音波モータ用振動子１の摩擦接触部材において、振動子先端の接触子を前記被駆動体との摩擦接触で摩耗する際に軸方向に沿って横断面の外形と横断面積が同一の状態を保つピン形部材で構成したことを特徴とする超音波モータ用振動子摩擦接触部材、およびその超音波モータ用振動子摩擦接触部材を備えた超音波モータ用振動子。 （もっと読む）

【課題】近接場光エッチングを実行しつつ、リアルタイムで表面粗さを計測する。
【解決手段】原料ガス雰囲気中に光学素子２を配置し、原料ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を光学素子２に照射することにより、当該光学素子２表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて上記角部をエッチングし、更にエッチング中に光学素子２表面に対して表面粗さ計測用のレーザ光を照射し、そのレーザ光が光学素子２表面で散乱された散乱光の強度を測定し、測定した散乱光強度に基づいて角部へのエッチングによる表面粗さを計測する。 （もっと読む）

【課題】 駆動用ネジを固定する際に生じる固定位置のずれを排除し、駆動用ネジを正確に固定することが可能な固定機構を提供すること。
【解決手段】 駆動用ネジ１０に螺合する雌ネジブッシュ２０と、雌ネジブッシュ２０と一部が繋がって形成され、内径部と外径部とにネジ部を有する締付け部３０と、締付け部３０に螺合する雌ネジナット４０とを備え、雌ネジナット４０を回転させることにより、締付け部３０が、駆動用ネジ１０の進行方向と垂直な方向に変形して駆動用ネジ１０を締め付けるように構成する。 （もっと読む）