【課題】種々の厚さを有するカバーガラスを用いた場合であっても、カバーガラスの存在によって生ずる収差を十分に補正することができると共に、波長を異ならしめて観察するような場合であっても、波長の相違によって生ずる収差を容易にかつ十分に補正することができる対物レンズ光学系を提供する。
【解決手段】対象物光透過体の厚さと調整用光透過体の厚さとの和が、一定の範囲に含まれるようにする。また、レンズ系に入射する光束の波長に基づいて、可動レンズの位置を固定レンズに対して光軸に沿って調整する。 （もっと読む）

【課題】各光成分の偏向調整作業が簡単で、出力されるレーザ光の各光成分の平行度を向上させることができ、ロール方向の位置偏差の測定精度を向上させる。
【解決手段】２枚の平面鏡４，５を有する反射鏡２と、互いに直交する２つの直線偏光を入力して分光する偏光ビームスプリッタ８及び分光した各光成分を平面鏡４，５に対して垂直に入反射するように屈折させるバイプリズム６を有し、各光成分をバイプリズム６と反射鏡２との間で２往復させてから出力するレーザ干渉部３とを備えたレーザ干渉計１において、レーザ干渉部３は、各光成分が最初に往復する際に一方の光成分が通過し、各光成分が次に往復する際に他方の光成分が通過するよう、偏光ビームスプリッタ８とバイプリズム６との間に配置され、通過する光成分の偏向方向を調整自在とする一対のウェッジプリズム１５ａ，１５ｂを有する偏向部１５を備えた。 （もっと読む）

【課題】光学素子の表面粗さを更に低減可能となり、光学素子の表面形状に依存することなくその表面を平坦化させるのに好適な表面平坦化方法を提供する。
【解決手段】光学素子構造体３表面に形成された凸部５１を平坦化する表面平坦化方法において、塩素系ガスが導入されてなるチャンバ１１内に上記光学素子構造体３を配置し、上記塩素系ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を上記光学素子構造体３に照射することによって、当該光学素子構造体３表面の凸部５１の局所領域に近接場光を発生させ、上記凸部５１の局所領域に発生した近接場光に基づき、上記塩素系ガスを解離させて活性種を生成させ、当該生成された活性種と上記凸部とを化学反応させて反応生成物を生成させることによって、上記凸部５１をエッチングすること。 （もっと読む）

【課題】 精密かつ迅速にコリメーションを行うことを可能にするコリメーション検査装置を提供する。
【解決手段】 シェアプレートによって、被検査ビーム光の波面を、光路差を有する二つの波面に分割するとともに、その２つの波面を重ね合わせて投射することにより、干渉パターン観察部において両波面の干渉パターン像を映出させるコリメーション検査装置であって、シェアプレートへのビーム入射角度を検出するためのビーム入射角度検出部が、上記コリメーション検査装置と一体に設けられる。 （もっと読む）

【課題】 光量の損失や波面の劣化を抑え、単純な構造で光軸の自動調節を行う。
【解決手段】 ＸＹＺ三次元座標系に入射した光ビームＬ１の光軸を調節するために、反射面Ｍ１を有する鏡１０と、反射面Ｍ２を有する鏡２０と、を本体部１００に取り付け、鏡２０を反射した光ビームＬ３を、出力部２００内の鏡３０の反射面Ｍ３および鏡４０の反射面Ｍ４で反射して光ビームＬ５として射出する。鏡３０の透過光Ｌ３０をモニタした結果に基づき、鏡１０の角度αおよび鏡２０の角度βを調節する角度制御を行う。鏡４０の透過光Ｌ４０をモニタした結果に基づき、本体部１００全体をＸＹ平面に沿って平行移動させる位置制御を行う。各制御手段３１０，３３０によって、各記憶手段３２０，３４０に記憶された位置および角度の設定値に向けてのフィードバック制御が行われ、射出光Ｌ５の光軸は設定した位置・角度に維持される。 （もっと読む）

【課題】 光量の損失を必要最小限に抑えつつ、単純な構造で、効率的に光軸調節を行う。
【解決手段】 ビーム状入射光Ｌ１を、可動鏡１０，ジンバル機構を用いた可動鏡２０，固定鏡３０の順に導き、射出光Ｌ４を得る。可動鏡２０の反射面Ｍ２上の基準点Ｐは、ジンバル機構の固定点である。検出器２２により、反射光Ｌ２の実際の入射位置が検出され、制御手段２４により、当該入射位置が基準点Ｐに一致するように、可動鏡１０の調節機構１１に対する制御が行われる。検出器３２により、反射光Ｌ３の実際の入射位置が検出され、制御手段３４により、当該入射位置が基準点Ｑに一致するように、可動鏡２０の調節機構２１に対する制御が行われる。入射した光ビームＬ１は、必ず２つの固定点Ｐ，Ｑを通るように制御され、固定鏡３０から射出される射出光Ｌ４は、予め設定された基準光路ＬＬを通る。 （もっと読む）

【課題】高精度化とコストダウンを図ることのできる円弧スライド装置を提供する。
【解決手段】下板と上板２０を円弧軌道を介してスライド自在に組み合わせると共に、下板と上板のガイドレール部２５の互いに対向する対向平面２５ａに、円弧軌道を構成する円弧断面状のガイド溝３１をそれぞれ形成して、両ガイド溝の間に複数のボールを転動自在に嵌め込んだスライド装置の前記ガイド溝の加工方法において、前記対向平面２５ａに垂直な軸Ｔに対して工具回転軸１１０Ｊを斜めに保持した状態で、エンドミル１１０を回転させながらガイド溝３１の延在方向に相対的に送り移動することにより、当該エンドミルの先端半球状刃部の切削有効外周部でガイド溝を加工する。 （もっと読む）

【課題】加工形状を高精度に制御した加工が可能となる極めて実用性に秀れた有機デバイス加工装置の提供。
【解決手段】基板上に第一電極膜層、有機膜層、第二電極膜層及び保護層のうち少なくとも有機膜層を含む２層以上を積層して成る有機デバイスに対してレーザを照射して配線パターン加工若しくは開口加工を行う有機デバイス加工装置において、前記有機デバイスに照射される加工用レーザを出力する加工用レーザ発振機構と、前記有機デバイスの被加工部位へ照射した測定用レーザの反射光を検出し、前記有機デバイスの被加工部位の反射率を測定する反射率測定機構と、前記有機デバイスの被加工部位の反射率に基づき、前記加工用レーザの出力を調整する出力調整機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガイド溝の曲率によらず、汎用的に使用することができて、部品管理の面倒を軽減することのできるスライド装置用の転動体ユニットを提供する。
【解決手段】直線運動または曲線運動を案内するためのスライド装置のガイド溝に転動体として嵌め込まれる複数のボール３５と、これら複数のボールを保持する樹脂製のリテーナ４０と、からなるスライド装置用の転動体ユニット４０Ｍであって、リテーナが、縦長の略長方形断面の帯板４１と、該帯板の長さ方向に間隔的に設けられた複数のボール収納部４４と、隣接するボール収納部の中間に位置して帯板の縦方向の両辺縁部に形成されることで帯板の縦方向の屈曲性を増加させる凹部４５と、を有し、ボール収納部に、ボール収納部の両側面に開口した窓部から一部表面を露出させた状態でボール３５が収納されている。 （もっと読む）

【課題】高精度化とコストダウンを図ることのできる円弧スライド装置を提供する。
【解決手段】下板１０と、上板２０と、下板と上板の間に設けられた円弧軌道３０とを有する。下板の上面と上板の下面にガイドレール部が設けられ、ガイドレール部の対向平面に円弧軌道を構成する円弧曲線状のガイド溝３１が設けられている。ガイド溝の断面は円弧形状をなし、対向するガイド溝の間に複数のボールが予圧を与えられた状態で転動自在に嵌め込まれている。下板および上板は、板状素材からガイドレール部およびガイド溝を有する形状に一体に加工され、各ガイド溝の内面が、エンドミルによる加工面で構成されている。ガイド溝の深さは、回転軸を斜めに設定したエンドミルの先端半球状刃部による加工が可能な、ボールの直径の０．１４６倍以下の寸法に設定されている。 （もっと読む）