【課題】高耐電圧により大電流化が可能で、オン抵抗が低く高速動作が可能で、高集積化と省エネルギーが可能で、素子間分離の容易な、電気熱変換素子駆動用の半導体装置を提供する。
【解決手段】電気熱変換素子とそれに通電するためのスイッチング素子とがｐ型半導体基体１に集積化されている。スイッチング素子は、半導体基体１の表面に設けられたｎ型ウェル領域２と、それに隣接して設けられチャネル領域を提供するｐ型ベース領域６と、その表面側に設けられたｎ型ソース領域７と、ｎ型ウェル領域２の表面側に設けられたｎ型ドレイン領域８，９と、チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して設けられたゲート電極４とを有する絶縁ゲート型電界効果トランジスタである。ベース領域６は、ドレイン領域８，９を横方向に分離するように設けられた、ウェル領域２より不純物濃度の高い半導体からなる。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子のそれぞれについて絶縁耐圧低下の程度を把握することにより、絶縁耐圧が低下しつつある圧電素子に適切な対策を施して、その延命を図ることが可能な、圧電アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】ドライバＩＣ４７の比較器４８は、圧電アクチュエータ７の１つの活性部にのみ電圧が印加されたときの電源からの供給電圧（ＶＤＤ）を複数種類の基準電圧と比較する。この比較器４８の比較結果から、制御装置８の判定回路４９が、複数の活性部４６のそれぞれについて絶縁耐圧低下の程度を複数のレベルで判定する。 （もっと読む）

【課題】電気信号の伝達経路に寄与するワイヤーが封止材から露出する虞を抑制する。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口が形成された記録素子基板Ｈ１１００と、液体を吐出するための電気信号を記録素子基板に供給する電気配線基板Ｈ１３００と、記録素子基板の吐出口が形成された吐出口面に設けられた複数の端子と電気配線基板に設けられた複数の端子とを接続する複数のワイヤーＨ２０００ａ、Ｈ２０００ｂと、を備える。複数のワイヤーは、記録素子基板と電気配線基板との間の電気信号の伝達経路に寄与する複数の伝達ワイヤーＨ２０００ａと、伝達経路に寄与しない複数の非伝達ワイヤーＨ２０００ｂとを含む。少なくとも複数の伝達ワイヤー全体を覆うように封止材Ｈ１３０５が形成されている。複数の非伝達ワイヤーは、封止材と雰囲気との界面に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータユニットの配置構成により、隣接する２つのアクチュエータユニットの間におけるマイグレーションや絶縁破壊を防止する。
【解決手段】第１アクチュエータユニット８０ａと第２アクチュエータユニット８０ｂは、複数の個別電極４５と、第１電位に保持される第１共通電極４３と、第１共通電極４３と導通する第１表面電極４７と、第２電位に保持される第２共通電極４４と、第２共通電極４４と導通する第２表面電極４８とを有している。第１アクチュエータユニット８０ａと第２アクチュエータユニット８０ｂを、第１表面電極４７が延在する第１端同士または第２表面電極４８が延在する第２端同士が隣接するように紙送り方向に沿って交互に配置し、且つ、第１表面電極４７が延在する第３端同士または第２表面電極４８が延在する第４端同士が隣接するように走査方向に沿って配置する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電素子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極と、前記第１電極の上に形成され、膜厚が３μｍ以下の圧電体層と、前記圧電体層の上に形成された第２電極と、を含む圧電素子であって、前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸バリウムを主成分とし、チタンおよびジルコニウムの和に対するバリウムのモル比Ｘが、１．１５≦Ｘ≦１．３である。 （もっと読む）

【課題】 ベースプレートと流路形成部材との間に線膨張率の差があるインクジェットヘッドユニットにおいて、接合の信頼性の高いインクジェットヘッドユニットを提供する。
【解決手段】 インク吐出部材４が列状に配置されたベースプレート２と、ベースプレート２の、インク吐出部材４が配置された側とは反対の側に接合され、外部からインクをベースプレート２へ供給するための流路８を形成する流路形成部材３と、を備える。ベースプレート２は、複数のインク吐出部材４からなる列の列方向幅に対応して形成された共通液室６と、共通液室６と流路形成部材３の流路８とを連通する連通口９を備える。流路形成部材３のベースプレート２に対して接合される部分は、連通口９の開口縁の領域のみに対応して設けられている。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電素子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、膜厚が３５０ｎｍ以上３μｍ以下の圧電体層と、前記圧電体層に設けられた電極と、を含む、圧電素子であって、前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸バリウムと、マンガン酸化物と、を含むぺロブスカイト型酸化物からなり、前記マンガン酸化物を、前記チタン酸ジルコン酸バリウムのチタンおよびジルコニウムの和に対して、２ｍｏｌ％以上４ｍｏｌ％以下含む。 （もっと読む）

【課題】 配線基板の幅を縮小した際に、配線基板端面と記録素子基板側面との間隔が狭くなった場合においても安定的な封止材の注入が可能な液体噴射ヘッドの提供。
【解決手段】 記録素子基板と、エネルギー発生素子に電気的に接続された配線を備える配線基板と、記録素子基板と配線基板とを支持するための支持基板と、記録素子基板の側端部と配線基板上に設けられるシート部材の側端部とが隣接する様に、配線基板上に設けられたシート部材と、記録素子基板の側端部と配線基板の側端部およびシート部材の側端部との間を埋める様に設けられた封止材と、を具備する液体吐出ヘッドであって、配線基板の側端部と記録素子基板の側端部との間隔より、シート部材の側端部と記録素子基板の側端部との間隔が大きいことを特徴する。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出部材に接続される複数の流路を有し、それぞれの流路内にフィルタが接続された液体吐出ヘッドにおいて、インク供給特性を維持しつつ、液体吐出部材と液体供給部材との接合部の変形の恐れを低減する。
【解決手段】
液体吐出ヘッドは、液体吐出部材と液体供給部材とを有している。液体供給部材は、第一及び第二のフィルタ、第一及び第二の流路を有している。液体を通す開口が複数設けられた第一のフィルタの外面が、液体吐出ヘッドの使用状態において重力方向に沿い且つ複数の吐出口が配設された配設方向に沿うように、第一のフィルタは配されている。
第二のフィルタ、第一の流路及び第二の流路は、配設方向に垂直な且つ重力方向に平行であって、配設方向に関する第一のフィルタの長さの一端を通る第一の面と、該第一の面に平行であって、配設方向に関する第一のフィルタの長さの他端を通る第二の面と、の間の領域内に配されている。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成する工程と、絶縁体膜５５上に反応性スパッタリング法により酸化チタンからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にチタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】高硬度で信頼性の高いリード封止材により封止された液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体吐出圧発生素子の複数とそれを外部と電気的に接続するための電極端子とを有するチップと、前記電極端子と電気的に接続するリード配線を有する電気配線基板と、前記電極端子と前記リード配線の電気的接続部を覆うリード封止材とを有する液体吐出ヘッドであり、前記リード封止材が、１分子当たりの平均官能基数が２より大きい２５℃で固体のエポキシ樹脂（ａ）と、ポリブタジエン骨格を有する酸無水物硬化剤（ｂ）と、硬化促進剤（ｃ）と、無機充填材（ｄ）とを含有する。 （もっと読む）

【課題】記録データ信号を高速に転送したり、伝送路が長くなることで、記録データの転送エラーが生じ、その結果、画像記録が正常に行われないことや、記録画像の品質の低下が生じてしまう。このため、記録データ信号の転送エラーを検知して、リアルタイムに記録制御を行う必要がある。
【解決手段】素子基板に記録データ信号の転送エラーを検知するエラー検知回路を備え、１記録周期分の記録データ信号をラッチするタイミングで転送エラー結果を出力する。そして、転送エラーの発生を検知したなら、ヒートイネーブル信号を記録素子を駆動する駆動回路に供給することを抑止する。 （もっと読む）

【課題】１．０×１０^―１Ａ／ｃｍ^２以上のリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、第１電極６０と第２電極８０とに挟持された圧電体層７０を備え、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも１種を含む拡散抑制層６２を形成する工程を含む第１電極６０を形成する第１電極形成工程と、第１電極６０上に、チタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する圧電体層形成工程と圧電体層７０上に、第２電極８０を形成する第２電極形成工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、リーク電流の発生を抑制した液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上方に、焼成によりビスマス、鉄、マンガン、カリウム、及びチタンを含む複合酸化物を形成する有機金属化合物と、ポリビニルピロリドンと、を含む塗布液７１を塗布する工程と、塗布液７１を焼成し、ペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７２を形成する工程と、圧電体層７２の上方に第２電極を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズル孔１１を備えるノズルプレート１０と、封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これら接合膜１５、２５は、それぞれ、エポキシ変性シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥および／または硬化させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】給電部に導電性部材を設けて平坦化することで、当該給電部の平坦化した部分を、外部装置に安定して接続し、圧電体にクラックを生じにくくすることができるインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドは、インク吐出部を有し、インク供給路を形成する開口を有するスペーサ、及び圧電体からなる振動板が交互に積層された積層圧電体と、前記インク吐出部に配設されたノズルプレートと、を有するインクジェットヘッドであって、前記積層圧電体は、更に、前記積層圧電体間に設けられた隙間に挿入される導電性部材により形成された、前記圧電体へ給電するための給電部を備え、前記給電部の一部では、前記導電性部材及び前記積層圧電体が平坦化され、当該平坦化された給電部の一部から、接続素子を介して外部装置と接続する。 （もっと読む）

【課題】クラックが生じにくい圧電体層を有する信頼性の良好な液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド１０００は、第１電極１０と、第１電極１０を覆って形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上に形成された第２電極３０と、第２電極３０の上に形成され、タングステンまたはチタンからなる被覆層４０と、を有する圧電素子１００を備え、第１電極１０および第２電極２０は、平面視において、互いに重複する長方形の重複領域５０を形成し、重複領域５０は、平面視において、一対の短辺５０ｂに隣接する一対の第１領域５１および一対の第１領域５１の間に位置する第２領域５２を有し、被覆層４０は、平面視において、重複領域５０の第２領域５２を避けて、少なくとも第１領域５１に形成されている。 （もっと読む）

【課題】引き打ちを行う液滴噴射装置及び液体移送装置において、耐久性を高くし、消費電力を低減する。
【解決手段】インクジェットヘッド３において、圧電アクチュエータ３２は、複数の圧力室１０を覆うように流路ユニット３１の上面に配置された導電性基材４２と導電性基材４２の上面に形成された絶縁層４３とを有する振動板４０と、振動板４０の上面の圧力室１０に対向する領域に圧力室１０の幅方向の一方の縁から、圧力室１０の幅方向に延びた圧電層４１が形成されている。振動板４０の下面には、圧力室１０の幅方向の他方の縁から幅方向に延びた凹部４２ａが形成されている。圧電層４１の上面には個別電極４５が形成され、下面には共通電極４４が形成されている。振動板４０の上面のうち、圧電層４１が形成されていない部分には個別電極４５に接続された配線５０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく、耐圧が高い圧電体を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドは、下部電極１０と、下部電極１０上に形成された圧電体３０と、圧電体３０上に形成された上部電極２０と、を含む圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドであって、圧電体３０は、下部電極１０上に形成された鉄酸マンガン酸ビスマスランタンを主成分とする第１組成の第１層３２ａと、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムとの固溶体を主成分とする第２組成の第２層３４ａと、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムカリウムとの固溶体を主成分とする第３組成の第３層３６ａと、を有し、第１層３２ａと第３層３６ａとの間の距離は、１６０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、インクなどの液体に対する耐性に優れ、流路形成部材の基体との密着性が良好であり、信頼性の高い吐出性能を有する液体吐出ヘッドを提供とすることにある。
【解決手段】本発明は、基体と、該基体の上に液体を吐出するための吐出口と該吐出口に連通する液体流路とを構成する流路形成部材と、を含む液体吐出ヘッドであって、前記流路形成部材は有機樹脂で形成され、前記基体の上であって前記流路形成部材の内部に無機材料からなる土台部材を有し、該土台部材は前記流路形成部材と接する面に凹凸を有することを特徴とする液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）