【課題】配線部材との接合性の良好な圧電アクチュエータユニット、それを用いた圧電アクチュエータユニット装置、液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。
【解決手段】複数の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが積層されている積層体と、積層体の一方の主面２１ｄに形成されている複数の個別電極３５と、複数の個別電極３５上に形成されている個別電極バンプ４６と、複数の個別電極３５に対向して積層体の内部に積層されている共通電極３４と、共通電極３４の複数の個別電極３５に対向してない部位から積層体の一方の主面２１ｄまで繋がっているビアホール２１ｃと、ビアホール２１ｃ内の共通電極３４上に形成されている共通電極バンプ４７とを有する圧電アクチュエータユニット４０であって、ビアホール２１ｃの底面の下側に位置する圧電セラミック層２１ａが、ビアホール２１ｃ側に突出している。 （もっと読む）

【課題】従来よりも少ない工程で、インクジェットヘッド本体と基準板とが強固に接着されている画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置は、所定方向に複数のノズル孔が配列されたインクジェットヘッド本体２と、前記所定方向と平行に複数配列される流通口から延びる複数の流通管３と、前記複数の流通管３が挿通される複数の孔部４１〜４３が形成される基準板４と、前記複数の孔部４１〜４３の内周面と前記複数の挿通管３の外周面との隙間から前記基準板４と前記インクジェットヘッド本体２との隙間に亘って充填されている接着剤層５とを備える。前記複数の孔部４１〜４３の内の少なくともいずれかは、前記所定方向と平行に延びる長孔形状である。 （もっと読む）

【課題】被接続体と配線基板の接続強度をより向上させる。
【解決手段】プリンタの圧電アクチュエータの入力接点とＣＯＦの基板側接点は、金属材料と熱硬化性樹脂とを含む導電性樹脂からなる導通部により電気的に接続されている。そして、圧電アクチュエータとＣＯＦは、導通部に加えて、補強部６２により機械的に接続されている。この補強部６２は、ＣＯＦ５０において、導通部とは異なる位置であり、且つ、ソルダーレジスト５４の表面と可撓性の基板５２の表面とにまたがる位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】レーザー接合するときに十分な加熱量が得られずに加熱ムラが発生し、配線部材の損傷を生じ、配線部材と圧電柱の十分な接合強度を確保できない。
【解決手段】複数の圧電柱１２Ａが形成された圧電部材１２と、圧電部材１２が固定されたベース部材１３と、圧電部材１２の圧電柱１２Ａに駆動信号を伝達する配線パターン３１が形成されたＦＰＣ１５とを備え、ＦＰＣ１５にはベース部材１３とＦＰＣ１５との接合部に対応する接合用電極パターン３３が設けられ、ＦＰＣ１５はベース部材１３の壁面１３ａにホットメルト接着剤３５で接合固定されている。 （もっと読む）

【課題】第１の基板と第２の基板の接合面の耐エッチング性を高めて、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】第１の基板３のノズル孔２に連通する加圧液室６と該加圧液室６へインクを供給するための共通液室４を有し、加圧液室６に充填されたインクに対してノズル孔２から吐出させるための液滴吐出エネルギーを発生させる圧電体素子７、振動板８が設けられた第２の基板９と、外部からインクが供給される液体供給貫通口１０に連通するとともに、共通液室４とも連通している共通液体供給流路１１を有する第３の基板１２と、が積層されるように接合された液滴吐出ヘッド１において、接合された第２の基板９と第３の基板１２の、少なくとも連通している共通液室４と共通液体供給流路１１の内壁側の接合面Ｃを含む範囲を覆うようにして保護層１９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１の面１６において凹部１４を有する振動板１０と、凹部１４内に形成された、第１電極２０と、振動板１０および第１電極２０の上に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上に形成された第２電極４０と、を含み、第１電極２０の上面２１は、第１の面１６と連続した平面を構成する。 （もっと読む）

【課題】感度及び解像性に優れるポジ型レジストをインクジェットヘッドの製造に適用し、インク流路及びインク吐出口の変形、レジストの残存を生じないインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インク流路パターンを形成する工程が、基板上に少なくともフェノール性水酸基を有する樹脂を含有するポジ型レジストを塗布してポジ型レジスト層を形成する工程と、ポジ型レジスト層をパターニングして不溶化処理前のインク流路パターンを形成する工程と、インク流路パターンの上に少なくともビニルエーテル基を２つ以上有する化合物を含有するコーティング剤を塗布する工程と、コーティング剤が塗布されたインク流路パターンを加熱処理して表面が不溶化処理されたインク流路パターンを形成する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１積層体１２と、第１電極２０の上方に第１積層体１２と離間して形成された第２積層体１４と、第１積層体１２と第２積層体１４との間であって、第１電極２０の表面の一部に形成された酸化物層５０と、第１積層体１２の側面、第２積層体１４の側面、第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面、および酸化物層５０を覆う被覆層６０と、を含み、第１電極２０は、貴金属を含有し、第１積層体１２および第２積層体１４は、第１電極２０の上方に形成された圧電体３０と、圧電体３０の上方に形成された第２電極４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１積層体１２と、第１電極２０の上方に第１積層体１２と離間して形成された第２積層体１４と、第１積層体１２の側面、第２積層体１４の側面、および第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面を覆う被覆層６０と、を含み、第１積層体１２および第２積層体１４は、第１電極２０の上方に形成された圧電体３０と、圧電体３０の上方に形成された第２電極４０と、を有し、第１電極２０は、塩素と化学反応する金属を含有し、第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面２０ａには、凸部５０および凹部の少なくとも一方が形成されている。 （もっと読む）

【課題】使用される環境や移動の際に晒される温度変化に対してカバープレートの剥離や吐出不良を無くした高信頼性の液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、表面に溝１３から成る複数のチャンネル１１を有し、この複数のチャンネル１１が一方向に配列しているアクチュエータ基板３と、チャンネル１１に液体を供給するための複数の液体供給孔７ａ、７ｂを有し、この複数の液体供給孔７ａ、７ｂが一方向に離隔して配列し、アクチュエータ基板３の表面に接合するカバープレート２と、を備え、カバープレート２の複数の液体供給孔７ａ、７ｂが離隔する離隔領域ＳＲの表面に第一の凹部Ｍ１を設置した。 （もっと読む）

【課題】共通液室基板の剛性が高く、割れの発生が低減され、生産性が高く、かつ高い歩留まりで製作することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル孔３０が形成されたノズル基板３と、
ノズル孔３０に対応する複数の圧力室２１、及び振動板２０を壁面の一部とする流路の水平面上に形成された共通電極２３と、圧電素子２５と、個別電極２４とからなるアクチュエータ２６が積層された個別液室基板２と、
ドライバＩＣ４を設置保護する空間、アクチュエータ２６の動作領域を確保する振動個室８、及び圧力室２１に液滴を供給する共通液室１０が形成された共通液室基板１とを備え、共通液室基板１は、共通液室１０の上部にノズル配列方向と直交する方向に梁状部７を有するとともに、両側から異なるパターンでエッチングされたときのパターン重複部分を開口させてなる液滴供給貫通孔６を複数有する液滴吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】効率よく均一にアンカー効果が得られるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、この基板の表面に形成される圧電体層と、この圧電体層の上に載置され、圧力室が形成される圧電素子と、圧電体層及び圧電素子に形成される導体層と、この圧電素子を囲むように基板に載置される枠体と、圧電素子の側壁の上端部に接着され、ノズル穴を有するノズルプレートと、を備える。圧電素子と圧電体層とは同じ材質により形成され、同時にエッチングされて表面が粗され、その後メッキにより導体層が形成される。 （もっと読む）

【課題】 振動板の強制的な撓みによって発生する逆電圧による不具合を防止して耐久性を大幅に高めて長寿命化を図り、さらに、製造時における歩留まりの向上による低コスト化を図ることができる液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 インクが吐出されるノズル孔を有し、かつ振動板によって一部が形成された個別液室を備えた液室基板と、振動板に設けられ、電圧の印加によって個別液室に圧力を発生させてノズル孔からインクを吐出させる圧電素子３０とを有するインクジェットヘッド６１であって、圧電素子３０と電気的に並列に接続された保護素子３１を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートの膨潤時に応力による、ノズルプレートと基板との剥がれ。
【解決手段】 複数のエネルギー発生素子と、貫通口からなる供給口と、を有する基板と、複数の吐出口を備え前記基板に接合されたノズルプレートと、前記ノズルプレートの、前記供給口に対向する位置に設けられた梁状突起と、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、前記梁状突起には前記供給口の長手方向に沿って形成されたスリットと、前記梁状突起から前記供給口の両側に形成された吐出口列に向けて該梁状突起と一体に形成された複数の補強リブとが形成されており、該複数の補強リブは前記基板と接触している。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの製造時や使用時においてインクが配線基板の内部に流入するのを防止する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インクを吐出するノズル１１ａと、ノズル１１ａからインクを吐出するための駆動源となるアクチュエータ１５とを、有するノズル基板１０と、アクチュエータ１５に対して給電するための配線を有する配線基板２０と、を備える。配線基板２０は、貫通孔２１ａを有する基板本体２１と、基板本体２１の下面に形成された下部配線２５と、基板本体２１の上面から貫通孔２１ａの内壁に沿って形成され、下部配線２５と導通された上部配線２３と、を有している。上部配線２３，下部配線２５には、貫通孔２１ａに連通する開口部２３ａ，２５ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 信頼性が高く、識別が容易で、液体吐出ヘッドを簡単な構成で提供することを目的の一つとする。
【解決手段】 エネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた基板と、吐出口に連通する流路の内壁を備えた光透過性の流路壁部材と、基板の表面と流路壁部材との間に基板と流路壁部材とに接し、流路壁部材の光の屈折率と異なる光の屈折率を有する中間層と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記中間層は、前記吐出口から前記基板に向かう方向に見て、記号の輪郭の形状を有し、前記表面に対して鈍角である第１の角度を成す第１の外端面と、前記流路と対向し、前記表面に対して前記第１の角度より小さい第２の角度を成す第２の外端面と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、露光量によって発泡室の形状が変動せず、流路形成部材を十分な露光量で硬化させることができ、流路形成部材が耐久性能の高い液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、前記液体を吐出する吐出口と、前記吐出口に連通する発泡室と、を前記エネルギー発生素子の上側にそれぞれ有する流路形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記流路形成部材を構成する材料としてネガ型感光性樹脂を用い、前記発泡室の側壁を構成する第一の像を形成するための第一の露光処理と、前記吐出口の側壁を構成する第二の像を形成するための第二の露光処理とを、前記第一の像の側壁と前記第二の像の側壁とが斜めに交差するように行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】封止部材とデバイス本体との接着力を向上させ、応力による封止部材のクラックや剥離、及び高湿環境での封止部材の剥離等の発生を抑制することができるデバイス、液滴吐出ヘッド、及びデバイスの封止方法を提供する。
【解決手段】プラスチックで形成された第１構成部材２４Ａと、無機材料で形成された第２構成部材２４Ｂとを備えたヘッド本体２４の凹部２８を封止部材３０で封止する。封止部材３０の封止方法は、凹部２８の表面に第１樹脂材料３２を塗布する工程と、第１樹脂材料３２が硬化した後、第１樹脂材料３２の表面側に第２樹脂材料３４を塗布して充填する工程と、を備え、第１樹脂材料３２とヘッド本体２４との接着せん断強度、及び第１樹脂材料３２と第２樹脂材料３４との接着せん断強度が、第２樹脂材料３４とヘッド本体２４との接着せん断強度より大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】ベース材にインク供給・排出用の穴を開けることなく、圧力室にインクを循環供給することで製造コストを低減するとともに、プリント配線の短絡を防止することで信頼性を高めること。
【解決手段】インクを循環供給するためのインク排出穴２５及びインク供給穴２６が設けられた平面部２２を有し、平面部２２に凹部２３が設けられたマニホールド２０と、凹部２３に嵌合されたベース材３０と、ベース材３０に積層配置され、一定方向に沿って設けられたノズル穴６１を有するノズルプレート６０と、ベース材３０とノズルプレート６０の間に配置され、複数のノズル穴６１に対応して設けられた圧力室４３と、圧力室４３の壁部を形成するとともに、圧力室４３の容積を変化させる駆動素子４２とを有するアクチュエータ４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子などを精度よく、かつ、簡便に製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板の上に、第１導電層を形成する工程と、前記第１導電層の上に、圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層の上に、第２導電層を形成する工程と、前記第２導電層の上に、第３導電層を形成する工程と、前記第３導電層をパターニングし、第１の部分と、第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分との間に設けられた開口部と、を形成する工程と、前記開口部を覆い、かつ、前記第１の部分および前記第２の部分の前記開口部側の周縁部を覆うレジスト層を形成する工程と、前記第１の部分、前記第２の部分、および前記レジスト層をマスクとして、前記第２導電層をドライエッチングし、前記第１の部分および前記第２の部分からなる第１導電部および第２導電部と、前記第２導電層からなる第３導電部と、を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）