【課題】信頼性が向上した液体噴射ヘッド及び該液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の上に形成された振動板と、前記振動板の基面の上に並設された複数の第１電極１０と、前記振動板上において、複数の第１電極をそれぞれ覆うように形成された複数の圧電体層と、前記複数の前記圧電体層を連続して覆うように形成された第２電極３０と、第２電極の上に形成された一対の導電層４０と、を含み、前記圧電体層は、第１電極と第２電極によって挟まれた駆動領域２５を有し、一対の導電層は、駆動領域の両端をそれぞれ押さえるように配置され、前記基面の法線方向から見た場合に、導電層に第１電極の外周が交差する線を交差線としたとき、導電層は、前記交差線に沿って駆動領域の中央側に向かう突出部を備える。 （もっと読む）

【課題】新たな製造工程を発生させずに製造可能であり、効率的に熱を逃がし、インクジェット記録ヘッドのチップ内の温度分布による吐出特性のばらつきを軽減させたインクジェット記録ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、および、画像形成装置を提供すること。
【解決手段】共通液室を形成する複数のフレーム基板のうち、駆動ＩＣ近傍に設けられたフレーム基板が前記駆動ＩＣと接触しており、さらに、前記フレーム基板の前記共通液室部の壁面間に、共通液室部のインクに放熱するための梁部材が少なくとも１つ、フレーム基板と一体的に形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド、および、係るインクジェット記録ヘッドを備えたインクカートリッジ、インクジェット記録装置、画像形成装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドケースに大気開放路を形成しても、ヘッドケースの強度の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル形成面３５に開口した複数のノズル３６にそれぞれ連通する複数の圧力室３８、該複数の圧力室に液体を供給する複数のリザーバー５２、および、各リザーバーの前記ノズル形成面とは反対側の面における少なくとも一部を膜材５５で区画することで形成した複数のコンプライアンス部５９を備えた流路ユニット３９と、該流路ユニットに接合されるヘッドケース４１と、を備え、前記ヘッドケースには、前記流路ユニットに接合される面の一部を前記リザーバーとは反対側に窪ませて成る凹室６５、および、該凹室に一端が連通すると共に他端が大気に開放した大気開放通路３１が形成され、前記凹室は、前記複数のコンプライアンス部に亘って一連に形成された。 （もっと読む）

【課題】圧電素子にクラックが発生するのを防止する信頼性の高い圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１圧電体３０と、第１電極２０および第１圧電体３０の側方に形成される高弾性領域４０と、第１圧電体３０および高弾性領域４０を覆って形成された第２圧電体５０と、第２圧電体５０の上方に形成された第２電極６０と、を含み、高弾性領域４０は、第１圧電体３０および第２圧電体５０よりも弾性が高い。 （もっと読む）

【課題】振動板の構成膜である圧縮応力膜と引張応力膜を３層以上積層し、高精度で安定した吐出特性を有する。
【解決手段】振動板３を、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜された圧縮応力を有するシリコン酸化膜２２とポリシリコン膜２３、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜された引張応力を有するシリコン窒化膜２４、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜されたポリシリコン膜２５、シリコン酸化膜２６の５層の構成膜により形成する。 （もっと読む）

【課題】より高い放熱性を有するインクジェット記録ヘッド、および該インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、は、インクに熱を加えて該インクが吐出するための圧力をインクに付与するインク吐出部２と、インク吐出部２を第一面３ａに備え、第一面３ａとは反対側の第二面３ｂに少なくとも一つの凹部９を有する基板３と、インク吐出部２から基板３へ伝えられた熱を外部へ放出する放熱部材８であって、凹部９の形状に合わせて形成された凸部１０を有し、凸部１０が凹部９に埋め込まれた状態で第二面３ｂに接合された放熱部材８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】リーク電流が抑制され高い絶縁性を有して絶縁破壊が防止される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉛、ジルコニウム及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、酸素サイトに窒素を含む。 （もっと読む）

【課題】鉛の含有量を抑え、クラックの発生が抑制された圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層７０に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムの混晶として表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物に対し、リチウムを１〜１５モル％含む圧電材料からなる液体噴射ヘッド。 （もっと読む）

【課題】平坦な補強板を安価に製造することができ、液体噴射特性のばらつきを抑制して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】金属板１６０をプレス加工することにより、補強板６０を形成する工程と、補強板６０を形成した後、当該補強板６０をプレス加工することにより、補強板６０の両面にノズル開口の並設方向とは交差する方向に亘って連続する溝部８０を設ける工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、高い絶縁性を有してリーク電流が抑制される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、ビスマス及び鉄を含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、マグネシウム及び亜鉛からなる群から選択される少なくとも一種の第１ドープ元素と、セリウムからなる第２ドープ元素とを含む。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートの剥離や、ノズルプレート及び流路形成部材の損耗を防止して信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口を有するノズルプレート１４と、ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板１２と、液滴を吐出させるための圧力を圧力発生室に付与する圧力発生手段とを備え、ノズルプレート１４の外縁部１４１は、流路形成基板１４側の表面が接着剤で流路形成基板１２に接合され、接着剤は、ノズルプレート１４の外縁部１４１の側面１４３に付着しており、ノズルプレート１４の側面及び流路形成基板１２の側面には、接着剤６０に連続したモールド材７０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】保護膜の剥離を抑制して耐久性を向上すると共に、液体吐出不良や液体噴射特性の著しい低下を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室１２の一方面を画成する振動板５０と、圧力発生室１２の内面に設けられて耐液体性を有する保護膜２００と、を具備し、振動板５０が振動することにより圧力発生室１２内の液体に圧力変化を生じさせてノズル開口２１から液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、圧力発生室１２内の振動板５０側の角部には、角部を覆うヤング率が１０ＧＰａ以下の樹脂材料で形成された樹脂部２３が凹状の円弧状で設けられ、圧力発生室１２の振動板５０に画成された側の幅ｗと、樹脂部２３の表面の半径ｒとの比率ｗ／ｒが、０．０１７以上、０．０８７以下である。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく、クラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及びその製造
方法、液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電体層７０は、ＣＳＤ法（Chemical Solution Deposition）により形成
され、Ａサイトにカリウム及びナトリウムを含み、Ｂサイトにニオブを含むペロブスカイ
ト構造の複合酸化物を含む圧電材料からなる第１圧電体層７３及び第２圧電体層７９と、
第１圧電体層７３と第２圧電体層７９との間に設けられ、気相成長法により形成された中
間層７６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 簡易に製造することができ、しかもデータ伝送速度の高速化と耐圧性の向上とを両立させた液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドは、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、第１のトランジスタを有する、エネルギー発生素子を駆動するためのドライバ部と、を備えた第１の半導体基板を有する。また、第２のトランジスタを有し、電気接点を介してシリアル伝送された信号を受信するための受信部と、第３のトランジスタを有し、信号をパラレル変換して、ドライバ部を制御するための信号を生成する展開部と、を備えた第２の半導体基板を有する。ここで、第１のトランジスタのゲート酸化膜は、第２のトランジスタのゲート酸化膜及び第３のトランジスタのゲート酸化膜よりも、厚さが厚い。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生を抑制でき、高い信頼性を有する圧電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電アクチュエーター１００は、振動板１０と、振動板１０の上方に形成された第１電極２０と、振動板１０の上方および第１電極２０の上方に形成された圧電体３０と、圧電体３０の上方に形成された第２電極４０と、を含み、第２電極４０は、平面視において、振動板１０と第１電極２０との第１方向に沿う境界線１５に交差して、第２方向に延びて形成され、第１電極２０は、第２電極４０に比べて、第１方向の幅が大きく、第２電極４０は、境界線１５の上方に形成された第１部分４２と、第１電極２０の上方に形成され、第１方向の幅が第１部分４２より大きい第２部分４４と、を有し、平面視において、第１部分４２の第１方向には、圧電体３０の上面３６が隣接して形成されている。 （もっと読む）

【課題】 流路壁部材の強度を維持し、複数の吐出口の長さの均一化を図ること。
【解決手段】 第１の層が平坦に設けられている基板を用意するＡ工程と、前記流路を形成するための前記流路の型と、前記型の外側に前記型と間隙を介して設けられた部材（Ａ）と、を前記第１の層から形成するＢ工程と、前記間隙を充填し前記型と前記部材（Ａ）とを被覆するように、第２の層を設けるＣ工程と、前記吐出口を形成するための部材（Ｂ）を前記型の上に前記第２の層から形成するＤ工程と、前記部材（Ａ）を除去するＥ工程と、前記部材（Ｂ）に密接するように、少なくとも前記基板に第３の層を設けるＦ工程と、前記型を除去して前記流路を形成するＧ工程と、をこの順に有する液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】安定した圧電特性を得ることが可能な電気機械変換素子、電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】最表面に酸化物電極層１２Ａを有する第１の電極１２と、酸化物電極層１２Ａ上に設けられ、パターニングされてなる金属電極である第２の電極１４と、第１の電極１２上の第２の電極１４の形成されていない領域に設けられた電気機械変換膜１６と、電気機械変換膜１６上に設けられた酸化物を含む第３の電極１８と、を備え、酸化物電極層１２Ａが下記一般式（１）で示されるペロブスカイト型複合酸化物を主成分とし、且つ該酸化物電極層１２Ａにおける、第２の電極１４の形成されていない領域の電気機械変換膜１６側の最表面の、一般式（１）ＡＢＯ_３中のＡとＢとの組成比Ａ／Ｂが０．８以上１．２以下である。 （もっと読む）

【課題】静電気が基板に到達して起こる基板へのダメージを防止することができる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子３を有する基板１と、前記液体を吐出する吐出口１０及び吐出口に連通する液体流路１１を構成する流路形成部材と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記流路形成部材に配置された導電膜１２と、導電膜と電気的に接続された抵抗体と、を備える液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、信頼性が向上した液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド６００は、酸化シリコン層１と、前記酸化シリコン層１の上に形成された中間層２と、前記中間層２の上に形成された第１電極１０と、前記中間層２の上に形成された圧電体層２０と、前記圧電体層２０の上に形成された第２電極３０と、ノズル孔６１２に連通する圧力発生室６２２と、を含み、前記圧電体層２０は、ペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記複合酸化物は、少なくともビスマスおよび鉄を含み、前記中間層２は、酸化マグネシウムおよび／または酸化アルミニウムを含む。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドを構成する流路板に対する接合剥れが発生しにくいノズル板を提供する。
【解決手段】複数の加圧液室及び加圧液室に液体を供給する液体供給路を形成した流路板に対して接合され、各加圧液室と連通して液体を吐出する複数のノズル孔４１を備え、液滴吐出面４０Ａにおいて最も外側の列に設けたノズル４１のエッジ部から、少なくとも流路板における加圧液室及び液体供給路よりなる流路構造の形成箇所の端部まで板厚が減少する板厚漸減面４２を備えるようにした。 （もっと読む）