【課題】鉛を含有せず、かつ膜剥がれ等の問題がなく、圧電特性の劣化のない圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５上にジルコニウムからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にビスマスを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】流路を構成する流路壁面をパリレン膜によって保護している流路部品であって、パリレン膜が壁面から剥離し難いようにする。
【解決手段】流路部品２０は、液体が通過する液体流路（Ｒ１〜Ｒ５）を内部に形成してなるセラミックスから構成された流路部品２０である。液体流路は、その一つの端部であり液体流路内の液体を流路部品２０の外部に流出させる流出開口（流路Ｒ５の下端）を備える。その流出開口が形成されている流路部品２０の外壁面（流路部品２０の下面、セラミックスシート２１の下面）には、流路部品２０とは別の部材（ノズル板３０）が接合される。ノズル板３０には液体流出孔３２が形成されている。更に、液体流路を構成する流路壁面はパラキシリレン系のポリマーの保護膜４０により覆われ、且つ、保護膜４０はその膜厚が流出開口に近づくほど小さくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、該第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の破壊を抑制して耐久性を向上した液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に設けられた第２電極８０を有し、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター３００と、を具備し、前記圧電体層７０が、（１００）面に優先配向するペロブスカイト構造を有し、前記第２電極８０側の前記圧電体層７０の（１００）面に由来するＸ線の回折ピーク位置（２θ）を、前記第１電極６０側の前記圧電体層７０の（１００）面に由来するＸ線の回折ピーク位置（２θ）よりも小さくする。 （もっと読む）

【課題】駆動劣化を抑制できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電体４１は、結晶構造が正方晶のチタン酸ジルコン酸鉛によって形成されており、平面視において加圧室３１内に収まる範囲において、個別電極４３に重なる駆動部４１ａと、その外周の非駆動部４１ｂとを有する。圧電体４１の主面４１ｓに対してＣｕＫαのＸ線を照射して反射したＸ線の強度を測定するＸ線回折法を、主面４１ｓの平面視におけるＸ線の照射方向を駆動部４１ａを中心とする放射方向とし、主面４１ｓの側面視における主面４１ｓに対するＸ線の照射角度を変化させながら行うことによって測定される、（００２）面及び（２００）面に対応するピークの強度比（００２）／（２００）が、非駆動部４１ｂにおいて１．０以下である。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を繰り返し駆動させても、安定した圧電特性を得ることが可能な電気機械変換素子、電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板２２、下部電極１２と、電気機械変換膜１６、及び上部電極１８がこの順に積層された構成とされ、下部電極１２が、一般式（１）：ＡＢＯ_３で表され、Ａサイト元素とＢサイト元素との組成比率Ａ／Ｂが１．１以上であるペロブスカイト型導電性酸化物を主成分とし、電気機械変換膜１６が、化学溶液法により形成された、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするペロブスカイト型酸化物強誘電体からなる。一般式（１）中、Ａは、Ｌａ、Ｓｒから選ばれる少なくとも１種のＡサイト元素を示し、Ｂは、Ｎｉ、Ａｌ、Ｍｏ、Ｃｏ、Ｒｕから選ばれる少なくとも１種を主成分とするＢサイト元素を示す。 （もっと読む）

【課題】仮接合を行った接着剤の劣化を防ぎ、かつノズル板表面の撥水膜損傷及び吐出不良を防ぐ。
【解決手段】ノズル板１及び振動板３で流路板２を挟持して各部材を当接させたときに流路板２のノズル板１と接合する面に設けられた仮接合用の凹部２０４の開口部全体がノズル板１によって覆われる。そして、凹部２０４は流路板２に設けられた貫通孔２０６及び振動板３の貫通孔２０５と連通している。これは凹部２０４に予め塗布された仮固定用の紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射する通路である。流路板２にノズル板１及び振動板３を接合して構成した液滴吐出ヘッドにおいてノズル板１から貫通孔２０５の開口部までの距離は流路板２の厚みと流路板２の端部から貫通孔２０５の設置位置までの距離の合計の距離であり、仮固定接着剤塗布部を流路板２の平面と側面との稜線に設けられた構成に比して非常に遠い。 （もっと読む）

【課題】圧電体層のクラックを抑制することができる圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】絶縁体膜５５上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上に圧電体前駆体膜を形成し、圧電体前駆体膜を焼成することで結晶化した圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程を繰り返し行って、複数層の圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、を具備し、第１電極６０上に１層目の圧電体膜７２を形成した後、第１電極６０と圧電体膜７２とをパターニングすることにより、第１電極６０及び圧電体膜７２の側面を傾斜させる工程と、絶縁体膜５５上、第１電極６０及び１層目の圧電体膜７２の側面上、及び１層目の圧電体膜７２上に島状のランタンニッケル酸化物２００を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、第１電極６０と、第１電極６０上方に形成された圧電体層７０と、圧電体層７０上方に形成された第２電極８０と、少なくとも圧電体層７０の側面を覆うと共に第２電極８０上面に臨んで設けられ且つ第２電極８０の上面に開口部１４１を有する絶縁膜１４０と、を備えて圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を具備し、第１電極６０及び第２電極８０によって圧電体層７０が挟まれた領域である圧電体能動部３２０に対応する領域では、絶縁膜１４０と第２電極８０上面との間には間隙１５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣとＦＦＣとを接合接続してフレキシブル配線部材にあっては接合部の端部で断線やクラックを生じる。
【解決手段】ＦＰＣ１５の電極３０２とＦＦＣ１６の電極３１２とは半田で接合接続され、半田フィレット３２０は、ＦＦＣ１６の電極３１２の先端面３１２ａの鋭角な最先端３１２ｂを頂点とし、ＦＰＣ１５の電極３０２の前後方向を底辺とする略三角形の形状に形成され、かつ、ＦＦＣ１６の電極３１２の先端面３１２ａを被覆している。 （もっと読む）

【課題】ヘッド構成部品の多くに高い平面度が要求されて接合信頼性の確保が難しく、またヘッドが大型化する。
【解決手段】ノズル板５１とフレーム部材５５はヘッド部１Ａ〜１Ｄに共通の部材であり、フレーム部材１７は２つのヘッド部１、１間でノズル板５１と接合する第１接合部分６１と、振動板部材３と接合する第２接合部分６２とを有し、第１接合部分６１と第２接合部分６２とは段違い位置でノズル板５１及び振動板部材３と接着剤７０にて接合され、第１接合部分６１は２つのヘッド部１、２間の流路間隔壁を形成している。 （もっと読む）

【課題】振動板部材の振動領域と圧電素子との接合信頼性を向上し、滴吐出特性の安定化を図ることができる液体吐出ヘッド用振動板部材の提供。
【解決手段】振動板部材３の振動領域３１には第１凸部３２が形成され、各液室２２の間の隔壁（液室間隔壁）１２２に対応して第２凸部３３が形成され、第１凸部３２には圧電部材４２の駆動柱１４２ａが接合され、第２凸部３３には圧電部材４２の非駆動柱１４２ｂが接合され、振動領域３１は液室間隔壁１２２と接合する液室間隔壁接合部３５よりも液室２２と反対方向に膨らんで形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流抵抗が緩和された吐出口が設けられ、かつ十分な強度を有する吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口が配列方向に沿って複数設けられた吐出口部材を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、光硬化性樹脂を含有する樹脂層が設けられた基板を用意する工程と、前記樹脂層を露光する露光処理である、第１の露光処理及び第２の露光処理を行う露光工程と、前記第１の露光処理及び第２の露光処理を行った樹脂層から前記吐出口を形成する工程と、を有し、前記第１の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角と、前記第２の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角とが異なることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】高密度ヘッドでは圧電柱の傾きやフレキシブル配線基板の配線電極ピッチの誤差が発生すると短絡等の不良が発生する。
【解決手段】圧電部材１２には複数の圧電柱１１２が形成され、ＦＰＣ１５には圧電柱１１２（駆動柱１２Ａ）の電極２３に接続される配線電極（パターン）１１６が設けられ、配線電極１１６は、接合部分１１７が、先端部側（圧電柱１１２の先端側）の圧電柱配列方向における幅Ｗ１を圧電柱１１２の根元部側の幅Ｗ２よりも広くし（Ｗ１＞Ｗ２）、根元側から先端側に向かって次第に広がる形状に形成している。 （もっと読む）

【課題】支持部材が斜めに挿入されても確実に電気接続することができるインクジェットヘッドの電気接続構造を提供する。
【解決手段】液体が吐出される液体吐出口１２と、液体吐出口１２に連通する圧力室１６を構成する圧力室形成基板１８と、圧力室形成基板１８の液体吐出口１２の反対側に設けられたエネルギー発生素子２２と、を有し、圧力室形成基板１８のエネルギー発生素子２２側には凹部構造８２が設けられ、一方の端部がエネルギー発生素子２２に接続され、他方の端部が凹部構造２２内に配設された基板配線４８と、支持部材６２に接着され、支持部材配線のパターンが形成されたフレキシブル基板６０と、が当接され電気的に接続されたことを特徴とするインクジェットヘッドの電気接続構造である。 （もっと読む）

【課題】内部への液体の侵入を抑制することができると共に、大型化するのを抑制して、コストを低減した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を吐出するヘッド本体１０と、外部からの液体の供給を受ける液体受給部材が形成された流路部材本体６０と、該流路部材本体６０の前記液体受給部材が臨む窓部が形成されて、周囲には前記流路部材本体６０方向に伸びる第１側壁４３を備えた第１ケース４０と、前記流路部材本体６０の前記液体受給部材から液体の供給を受ける液体供給路が形成されて、周囲には流路部材本体６０方向に延びて、前記第１側４３壁と共に、ケース３０の外壁３１をなす第２側壁５２を備えた第２ケース５０と、前記流路部材本体６０に設けられて、前記第１ケース４０と前記第２ケース５０と前記流路部材本体６０とを相互に固定する固定部材４５が挿通される第１挿通部６６と、を備え、該第１挿通部６６は、前記固定部材４５が露出する露出部６９を、前記外壁３１が覆うように形成する。 （もっと読む）

【課題】温度あるいは湿度サイクルによる記録素子基板の破損の可能性と、接合部からのインクの漏れの可能性を共に低減する。
【解決手段】凹部１１１の底面１１６は、インク供給口と連通するインク流路の開口１１４ａと、インク流路の開口の周囲を延びる主平面１２４と、主平面と凹部の側壁との間を電気接続部非形成側面１１８ｂに沿って延びる溝部１１６と、を含んでいる。記録素子基板は主平面上で、接着剤を介して支持部材に接合されている。電気接続部形成側面と凹部の側壁との間の空間は、電気接続部とともに封止材１０４によって封止されている。電気接続部非形成側面の少なくとも一部は封止材１０４で覆われずに露出しており、接着剤１１５の凹部の側壁に面する表面の少なくとも一部は封止材１０４によって封止されている。 （もっと読む）

【課題】吐出滴の良好な飛翔状態（吐出形状）を実現しつつ、ヘッドの長寿命化を達成する液体吐出ヘッドの駆動装置、液体吐出装置、インクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドのノズルに対応して設けられた吐出エネルギー発生素子を作動させる駆動信号（10）は、一記録周期中に複数回の吐出を行うための複数の吐出用パルス（11〜14）を含んでおり、これら複数の吐出用パルス（11〜14）のうち最終パルス（14）を除いた残りのパルス列（11〜13）内で先行するパルスの電圧振幅よりも、後続のパルスの電圧振幅が小さい。また、最後パルス（14）は先行滴をマージするように強く打ち出すために、先行パルス（11〜13）と比べて最も電圧振幅が大きいものとする。 （もっと読む）

【課題】ヒートシンクを駆動回路に接触させるとともに、アクチュエータとフレキシブルケーブルとの接続の信頼性を高めることを簡単な構成で行うことを課題とする。
【解決手段】ヒートシンク保持部材は、ヒートシンクを前記ヒートシンク保持部材に取り付けることにより、前記ヒートシンク保持部材のシール部材と接触する領域がその他の領域と比較して前記シール部材に近づくように屈曲する変形部を有している。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板に生じる応力を軽減し、洗浄液の記録素子基板の周辺への残留を防止する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドの製造方法は以下の工程を有している。記録素子基板２を主平面４４上で、接着剤４７を介して支持部材４に接合する。電気接続部形成側面と凹部４１の側壁４５との間の第１の空間を封止材によって封止する。電気接続部非形成側面２３ｂの少なくとも一部を露出させつつ溝部４６の少なくとも一部に封止材６を充填する。第１の空間の上方にある電気接続部を封止材によって封止する。 （もっと読む）