【課題】アスペクト比が小さい埋め込み配線の場合においてもディッシングの発生を防止することで、ヒーターボードとしての機能を満足し、かつ、導電膜の成膜（メッキ）膜厚を薄くし、研磨時間（タクト）短縮と研磨プロセス数の単一化により、製造コストを削減する埋め込み配線の形成方法及びインクジェットヘッドのヒーターボードを提供する。
【解決手段】絶縁膜に凹部を形成し、該凹部に導電膜を形成することにより埋め込み配線を形成する埋め込み配線の形成方法において、従来であれば余分に研磨する必要がある導電膜部分を予め研磨前に粘着剤に接着させて除去した後、導電膜を機械的研磨又は機械的化学的研磨により絶縁膜の凸面と面一になるように研磨することを特徴とする埋め込み配線の形成方法。 （もっと読む）

【課題】両端のノズル孔における吐出速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な吐出速度で液体を吐出させることを目的とする。
【解決手段】液体が充填される溝部３５が間隔をあけて並列に複数形成されたアクチュエータプレート３０と、溝部３５の側壁３６に形成された駆動電極３７と、溝部３５が形成されたアクチュエータプレート３０の表面に接着材を介して貼着されて溝部３５を覆うカバープレート３１と、アクチュエータプレート３０の端面に接着材を介して貼着され、複数の溝部３５にそれぞれ連通するノズル孔が複数形成されたノズルプレートと、を備え、駆動電極３７に駆動電圧を印加することで側壁３６を変形させて溝部３５内の圧力を高め、溝部３５内の液体をノズル孔から吐出させるヘッドチップであって、複数の溝部３５のうち、溝部３５の配列方向の両端に位置する溝部３５ａの容積は、配列方向の中央に位置する溝部３５ｂの容積よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】成膜する膜の組成及び基板サイズによらず、面内方向の組成等の膜特性を高度に均一化することが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】基板ＢとターゲットＴとを対向させて、プラズマを用いた気相成長法により基板Ｂ上にターゲットＴの構成元素を含む膜を成膜するに際して、少なくとも基板Ｂの外周から基板Ｂの側方に１０ｍｍ離れた位置までの電位を基板Ｂと同電位に調整する、及び／又は基板Ｂを基板Ｂと同電位に調整された壁面１０Ｓで囲む。 （もっと読む）

【課題】コストの低減を図ると共に、高密度化を容易に達成し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 圧力発生素子を駆動することでノズル開口から液体を噴射するとともに、前記圧力発生素子に電気信号を供給する少なくとも２列のリード電極と、前記リード電極に前記電気信号を供給するための少なくとも２枚の配線基板４１０Ａ，４１０Ｂとを具備する液体噴射ヘッドであって、前記配線基板４１０Ａ，４１０Ｂは、前記リード電極を介して圧力発生素子にそれぞれ電気的に接続される個別配線４１１と、前記リード電極を介して複数の圧力発生素子に共通して電気的に接続される共通配線４１２とを有するとともに、互いに相対向する２枚の配線基板間における前記個別配線４１１の間隔よりも、互いに相対向する２枚の配線基板間における前記共通配線４１２の間隔が狭くなるように形成した。 （もっと読む）

【課題】デジタル電力増幅器を用いて電力増幅する際、平滑フィルタの次数を低くすることができると共に高精度な駆動信号を得ることが可能な電力増幅装置を提供する。
【解決手段】パルス変調された２つの変調信号ＰＷＭ１、ＰＷＭ２をデジタル電力増幅器で多値の電力増幅変調信号ＡＰＷＭに電力増幅し、その電力増幅された電力増幅変調信号ＡＰＷＭを平滑化してアクチュエータに向けて出力することにより、電力増幅変調信号ＡＰＷＭの到達電位のステップ間の電位差が小さくして平滑フィルタの次数を低くすると共に、多値の電力増幅変調信号ＡＰＷＭの到達電位の切替わり時を含む所定の期間、前後段のデジタル電力増幅器を同期させることにより、パルス変調の入出力応答の非線形部分を回避する。同期時には、パルス変調の変調周波数を高めて、平滑フィルタにより十分減衰されるようにする。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの小型化を図ると共にクロストークを抑制することを目的とする。
【解決手段】液体導入口３１ａを通ってチャネル３５内に供給された液体をノズル孔３３ａから吐出するヘッドチップ２１と、ヘッドチップ２１に供給される液体の圧力変動を吸収するダンパ部材２２と、を備える液体噴射ヘッド２において、ダンパ部材２２には、液体が流入する流入口５０と、流入口５０を通って供給された液体を貯留すると共に壁部の一部が内圧変動に応じて変形可能な圧力変動吸収室５１と、液体導入口３１ａに直接連結され、圧力変動吸収室５１から流出した液体を液体導入口３１ａに供給する流出口５２と、が備えられており、流出口５２の内側には、ヘッドチップ２１内におけるクロストークを抑制するクロストーク抑制部６０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減を図り得るばかりでなく、高密度化も容易に達成し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する流路が形成された流路形成基板１０と、液体を噴射するための圧力を付与する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００に一方の端部が電気的に接続された第１基板５００と、第１基板５００の他方の端部に接続された第２基板６００と、第１基板５００を支持する基板支持部４００とを具備し、基板支持部４００は、第２基板６００側に面状の接続支持面４１０を有し、第１基板５００と第２基板６００との接続部が、接続支持面４１０に対向する位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】 個別のヒータの抵抗値バラツキに対して投入するエネルギーを一定にすることで高画質な記録を可能にすることである。
【解決手段】ヘッド基板に設けられた複数のヒータそれぞれには、駆動方式に従って以下の構成を備える。即ち、定電圧駆動方式であれば、各ヒータへのエネルギーの供給を制御する第１のスイッチと、ヒータに流れる電流、或いは、ヒータと相対的に等しい抵抗に流れる電流を用いた時定数回路を備える。そして、その回路により発生するパルスにより第１のスイッチによるヒータへの通電を制御する。また、定電流駆動方式であれば、各ヒータへのエネルギーの供給を制御するスイッチと、そのヒータと相対的に等しい抵抗に時間に対して一定の割合で増加する電流を印加する時定数回路とを備える。そして、その回路により発生するパルスによりスイッチによるヒータへの通電を制御する。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減を図り得るばかりでなく、高密度化も容易に達成し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する流路が形成された流路形成基板１０と、液体を噴射するための圧力を付与する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００に一方の端部が電気的に接続された第１基板５００と、第１基板５００の他方の端部に接続された第２基板６００と、立設部４０１と基板支持部４０２とを備え第１基板５００を支持する支持ユニット４００とを具備し、基板支持部４０２は、第２基板側に接続支持面４１０を有し、第１基板５００と第２基板６００との接続部が、接続支持面４１０に対向する位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図る。
【解決手段】インクを吐出する複数のノズル３８ａに夫々対応する複数の圧力室４１が設けられた流路ユニット１７と、圧力室４１内のインクに移送圧力を与えるべく流路ユニット１７に重ねられたアクチュエータ１８と、流路ユニット１７に重ねられたフレーム１３とを備え、流路ユニット１７は、アクチュエータ１８が重ねられた側の幅狭部２６と、幅狭部２６の反対側にあって幅狭部２６よりも幅寸法が広い幅広部２７とを有し、フレーム１３は、アクチュエータ１８及び幅狭部２６を囲むように幅広部２７の外側部分２７ａに重ねられている。 （もっと読む）

【課題】複数枚のプレートを積層して構成される流路ユニットに液体流路内に流れる液体の温度調整をするための構成を採用した場合に、製造時に積層方向へ生ずる各プレートの変形を極力抑え、かかる変形を考慮せずに製造できるとともに、前記液体の温度調整を可能にした液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド６は、圧力室２６を含み、複数枚のプレートが積層された流路ユニット１０と、ノズル２８からインクを噴射するための噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータ３０（エネルギー付与手段）とを備え、流路ユニット１０に含まれる流路構造体１２には、循環路５０が形成されている。循環路５０は、プレート１５及び１６の各々に間隔をあけて形成された複数の溝を有し、溝の端部が、積層方向において連通して管状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】流路ユニット周囲の外気との熱の交換を可能な限り抑制して、液体流路内の液体との熱交換を効率よく行うことで、前記液体の温度調整を速やかに行うことが可能な液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド６は、ノズル２８を含む流路ユニット１０と、ノズル２８からインクを噴射するための噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータ３０とを備え、流路ユニット１０に含まれる流路構造体１２には、循環路４０が形成されている。流路ユニット１０に含まれるノズルプレート１１が、上下方向において循環路４０の一部と重なっている。流路構造体１２は、ノズルプレート１１と圧電アクチュエータ３０に比べて熱伝導率が高い。 （もっと読む）

【課題】ノズル直近のインクを積極的に循環可能なインクジェットヘッドであって、インク耐性のある部材で構成され、熱膨張の影響を受けず、また、インク漏れを防止して、安価に大量生産可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電基板からなるインクジェットヘッドチップ１０と、このインクジェットヘッドチップ１０が取り付けられるノズルプレート保持部材１１と、インクジェットヘッドチップ１０およびノズルプレート保持部材１１に取り付けられるノズルプレート２１とを有する。ノズルプレート保持部材１１は、インクジェットヘッドチップ１０の裏面に当接している。 （もっと読む）

【課題】低抵抗性で耐熱性に優れた低抵抗金属層と、この低抵抗金属層上に形成され、結晶配向性および均質性に優れ、かつ、表面粗さの小さい高品質な圧電体層とを備える積層体、この積層体を用いて得られる圧電素子、およびこの圧電素子を用いて高密度に配置でき、微少量の液滴であっても、正確かつ確実に安定して吐出することができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に形成される積層構造の低抵抗金属層と、低抵抗金属層上に形成される圧電体層とを有する積層体であって、低抵抗金属層は、基板上に形成され、金からなる金層と、金層上に形成され、低抵抗金属層の最表層に配置される金属層とを備え、金層と圧電体層との間の厚みが、２００ｎｍより大きいことにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなく、しかも微小液滴の飛翔を必要かつ充分な状態で行わせることができる液滴飛翔装置を得る。
【解決手段】圧電材からなる超音波生成部４と超音波伝播する伝播部を兼ねたインク層３と、インク出射用の穴２の開いているインク層の液厚を規制する規制板１からなる音響放射圧による液滴飛翔装置において、超音波生成部からインク層液面までの距離ｄが、振動部の半径をｒとし、超音波周波数はｆ、インクの音速をｃとしたときに、


となり、そのときの音圧をＰ（ｄ１）としたときに、Ｐ（ｄ２）＝Ｐ（ｄ１）×０．８、Ｐ（ｄ３）＝Ｐ（ｄ１）×０．８となるｄ２、ｄ３に対しｄ２≦ｄ≦ｄ３を満たすように構成する。 （もっと読む）

【課題】良好な印刷が可能でエージング特性が優れた液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体吐出ヘッド５０は、圧力室５２１を有する圧力室基板５２と、前記圧力室基板の一方の側に設けられた振動板５５と、前記振動板の上方であって、前記圧力室に対応する位置に設けられた圧電素子５４と、前記圧力室基板の他方の側に設けられ、前記圧力室に連通するノズル孔を有するノズル板５１と、を含む。前記圧電素子は、下部電極４と、前記下部電極の上方に形成された配向層７と、前記配向層の上方に形成された圧電体層５と、前記圧電体層の上方に形成された上部電極６と、を有する。前記配向層７は、ニッケル酸ランタンの混晶を含み、前記混晶に含まれるニッケル酸ランタンは、式Ｌａ_ｘＮｉ_ｙＯ_ｚで示したとき、ｘが１から３のいずれかの整数、ｙが１または２、およびｚが２から７のいずれかの整数からなる。 （もっと読む）

【課題】記録幅の大きい記録ヘッドであっても、安価かつ簡単に記録素子基板の配置精度が高く、インク漏れなどが生じない信頼性の高い記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを吐出するための複数の吐出口と、インクを吐出するための吐出エネルギを発生させる記録素子と、インクを前記複数の吐出口に供給するためのインク供給口が形成された複数の記録素子基板と、前記記録素子基板を保持し、前記インク供給口にインクを供給するための複数のインク導入口を有する支持部材と、前記支持部材と接合し、インクを貯蔵するためのインク貯蔵室を有するインク供給部材と、を有するインクジェット記録ヘッドであって、前記支持部材は、前記インク導入口が形成された第１の部材と、該第１の部材と異なる材料であって、第１の部材を取り囲むように形成された第２の部材とにより一体的に形成され、前記記録素子基板は前記第１の部材と接着され、前記インク供給部材は前記第２の部材とのみ接合されている。 （もっと読む）

【課題】発熱素子の数が多い長尺基板であっても正確な温度検出が行い得、かつ温度センサの配置に伴う基板幅の増加も抑制できるようにする。
【解決手段】基板は、Ｍ×Ｎ個の発熱素子がＮ個のブロック毎に時分割駆動されるように構成されるとともに、各ブロックにおいて駆動する発熱素子を選択するためにＭビットの信号を供給する信号線を有する。このＭビットの信号線を、発熱素子の配列方向の両端部側の部位をそれぞれ始点として前記配列の中心方向に延在し、当該端部により近いＭ／２個の発熱素子を選択する２つの信号線に分ける。当該２つのＭ／２ビットの信号線ビットの信号線を、それぞれの始点から遠ざかるに従って数を減じて行き、これに伴って残余の信号線が偏倚して発熱素子の配列に近くづいてゆくよう配線する。当該配線により、前記配列の中心に対応した位置に生じる空き領域に、前記基板の温度を検出するための温度センサを設ける。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録方式によって画像を記録するための機能を異なるユニットに分けて、記録装置の小型化を図ることができる記録ユニット、インクジェット記録装置、制御プログラム、および記憶媒体を提供すること。
【解決手段】ラベルＷの搬送条件が異なる複数の搬送ユニットＹ２と、記録ユニットＹ１と、の組み合わせによってインクジェット記録装置が構成される。搬送ユニットＹ２は、少なくとも一部が外部に露出する搬送ラインＬに沿ってラベルＷを搬送する。記録ユニットＹ１の記録部２０は、搬送ラインＬの露出部と対向する記録ヘッド２を用いて、搬送ラインＬ上のラベルＷに画像を記録する。記録ユニットＹ１の制御部は、搬送ユニットＹ２におけるラベルＷの搬送条件に応じた駆動条件に基づいて、記録ヘッド２を駆動する。 （もっと読む）

特に、インクを噴射するための装置のオリフィスの第１のセットは、プロセス方向と異なる方向に沿って、第１の最大解像度でプリントするように配置される。オリフィスの第２のセットはオリフィスの第１のセットに結合される。オリフィスの第２のセットは、プロセス方向と異なる方向に沿って、第１の最大解像度より低い第２の最大解像度でプリントするように配置される。インク噴射装置と基板との間のプロセス方向における相対的な動きの間に、インク噴射装置の第１の部分は基板上に第１の最大解像度でプリントさせられ、インク噴射装置の第２の部分は、基板上に第１の解像度より低い第２の最大解像度でプロセス方向と異なる方向において、プリントさせられる。
（もっと読む）