【課題】圧電アクチュエータを用いた長寿命で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】オリフィスが複数個列状に配列され、オリフィスに対応してインクを蓄える圧力室と、圧力室の壁面の一部を形成する振動板と、圧力室にインクを供給する流路のリストリクタと、圧力室に対向し振動板と接着剤で接合され、電気信号の印加で圧力室内に圧力変動を発生させる圧電アクチュエータと、リストリクタにインクを供給する共通インク流路及び圧電アクチュエータが挿入される開口部を有するハウジングからなるインクジェットヘッドにおいて、圧電アクチュエータが圧電振動子と圧電振動子を支持する支持基板を備え、支持基板の圧電振動子との接合面の断面形状は凹型の溝をもつ。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００と、上電極８０から圧力発生室１２の周壁上に延設される第１のリード電極９０とを少なくとも有すると共に、圧電素子３００と第１のリード電極９０との間に無機絶縁材料からなる第１の絶縁膜１００が設けられ、少なくとも圧電素子３００及び第１のリード電極９０のパターン領域が第１のリード電極９０の他端部に設けられる端子部を除いて無機絶縁材料からなる第２の絶縁膜１１０によって覆われているようにする。 （もっと読む）

【課題】 廉価な構成で電気的に確実に接続し、インク滲入による電気的な障害を抑制するインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を提供すること。
【解決手段】 可撓性を有する配線基板１０は略平面形状で、取付部３６よりも幅広く、張り出した部位に端子群１１を有している。記録装置に装着した際には、端子群１１が記録素子２０に対して略直交面内に存在するように配線基板１０が屈曲される。 （もっと読む）

【課題】 記録素子の抵抗のばらつきと配線抵抗および駆動素子のオン抵抗などからなる寄生抵抗のばらつきとを分離して測定可能なヘッド基板、記録ヘッド、ヘッドカートリッジ、及びその記録ヘッド或いはヘッドカートリッジを用いた記録装置を提供することである。
【解決手段】 複数の記録素子と複数の記録素子を駆動する複数の駆動素子とを備えたヘッド基板に、複数の記録素子にテスト信号を入力する第１の端子と、複数の記録素子の少なくとも一部の記録素子に関し、それらの記録素子を選択駆動する選択信号を入力する第２の端子と、その選択信号により選択された記録素子の両端の電位を出力する第３及び第４の端子とを備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】 配線接続の精度を向上させながら、その配線接続の近傍について折り曲げることができる配線基板、配線基板の製造方法および電子機器を提供する。
【解決手段】 シリコン基板１１に溝４を形成する溝形成工程と、シリコン基板１１の一方面には樹脂膜１２及び配線パターン１３が形成されてなり、樹脂膜１２及び配線パターン１３によってシリコン基板１１を保持した状態でシリコン基板１１について溝４を割断部として割る割断工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 低コスト化および小型化を図りつつ、複数のノズルを高密度に配することができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液滴吐出ヘッド１００は、液滴を吐出するためのヘッド部Ａ、Ｂが複数重ねられている。互いに隣接する２つのヘッド部Ａとヘッド部Ｂとは、それらの間に共通基板３０を共有しており、一方のヘッド部Ｂの電極３４が共通基板３０の一方の面に設けられているとともに、共通基板３０の他方の面により他方のヘッド部Ａの収容室７０が区画形成されている。また、互いに隣接する２つのヘッド部Ａとヘッド部Ａとは、それらの間に共通基板１０を共有しており、一方のヘッド部Ａの電極１２が共通基板１０の一方の面に設けられているとともに、共通基板１０の他方の面に他方のヘッド部Ａの電極１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、記録の高解像化や高画質化等を達成するための発熱部の小面積化を図りながら熱エネルギ効率の低下を防ぎ、消費電力を下げる。
【解決手段】 電極配線層１０３に対する保護絶縁層を２層化し（１０８ａ，１０８ｂ）、発熱部１０２上においてその一方１０８ａを除去することにより、熱エネルギ効率を向上する。また、電極配線層１０３上に発熱抵抗体層１０７を配置し、保護絶縁膜１０８ａを除去する際のパターニングを、発熱部を形成するための電極配線層１０３の間隙より広い範囲で実施することで、電極配線を第１および第２電極配線層１０３，１０４で構成することで、発熱部１０２の有効発泡領域の減少が生じないようにする。 （もっと読む）

【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、発熱部を精度高く形成できるようになして発熱部の小面積化を可能とするとともに、電極配線の腐食ないしその進行を抑制する。
【解決手段】 基体上に耐腐食性金属でなる薄膜の第１電極１０１を配置し、その上に発熱抵抗層１０７を配置し、さらに第１電極に対しＡｌでなる第２電極１０３をオーバラップして配置することにより、大きな寸法ばらつきを生じることなく発熱部が形成される。発熱部上またはその近傍の保護膜の欠陥が生じても、発熱抵抗体層の材料はＡｌより侵食に強く、かつ第１電極は耐腐食性であるので、腐食の進行を効果的に抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、発熱部を精度高く形成できるようにして発熱部の小面積化を可能とするとともに、電極配線の腐食ないしその進行を抑制する。
【解決手段】 基体上に耐腐食性金属でなる薄膜の第１電極１０１を配置し、その上にＡｌでなる第２電極１０３を重畳させ、さらに発熱抵抗層１０７を配置し、発熱部を第１電極の間隙で形成する。これにより大きな寸法ばらつきを生じることなく発熱部が形成される。発熱部上または近傍に保護膜の欠陥が生じても、発熱抵抗体層の材料はＡｌより侵食に強くかつ第１電極は耐腐食性であるので、腐食の進行を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】各インクチャネルの駆動電極から引き出された接続配線と配線基板の駆動配線との電気的接続が簡単に行えると共に、複数列のインクチャネルを構成してノズルの高密度化を図ることも容易なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電素子からなる駆動壁13A,13Bとインクチャネル14A,14Bとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれインクチャネル14A,14Bの出口142A,142Bと入口141A,141Bとが配設されてなるヘッドチップ1A,1Bの後面に、前記駆動壁13A,13Bに設けられた各駆動電極と各々電気的に接続する接続配線を引き出し、前記ヘッドチップ1A,1Bの後面に、前記各接続配線に対応するピッチで駆動回路と電気的に接続する駆動配線31A,31Bと前記インクチャネル14A,14Bの入口141A,141Bに対応する位置に貫通するインク連通口32A,32Bとを形成してなる配線基板3を接合することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】リード封止剤の剥れが生じて液体がリード端子部に浸入しないようにする。
【解決手段】ベース板Ｈ１２００に、吐出口Ｈ１１１６から液滴を吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生部を有するヘッド基板Ｈ１１００と、ヘッド基板Ｈ１１００を囲む開口部Ｈ１４０１を有する支持板Ｈ１４００と、ヘッド基板Ｈ１１００の接続端子Ｈ１１１４に接続されて吐出エネルギー発生部に駆動信号および駆動電力を伝達するためのリード端子Ｈ１３０３を有する電気配線基板Ｈ１３００とが接着されている。そして、リード端子Ｈ１３０３と接続端子Ｈ１１１４との接続部分を覆うリード封止剤Ｈ１１２０と、ベース板Ｈ１２００上のヘッド基板Ｈ１１００と支持板Ｈ１４００の開口部Ｈ１４０１との隙間を埋めるチップ周囲封止剤Ｈ１１１９とが、電気配線基板Ｈ１３００に設けた穴Ｈ１１２３あるいは切り欠きを通して接着されている。 （もっと読む）

【課題】 後端にチャンネル溝内部を満たす導電性樹脂を備えるインクジェットヘッドにおいて、導電性樹脂とチャンネル壁との間のクラック発生を防止する。
【解決手段】 インクジェットヘッドは、チャンネル壁３に隔てられる複数のチャンネル溝４を前端と後端とを結ぶように形成されたベース部材１と、このベース部材１の、複数のチャンネル溝４を有する側の面に対向するようにベース部材１と接して配置されたカバー部材２と、チャンネル溝４の内面の少なくとも一部に配置された駆動電極としての電極５と、この電極５と電気的に接続されるように、後端においてチャンネル溝４の内部を満たすように配置された導電性樹脂２６とを備える。ただし、チャンネル溝４の深さは前端におけるよりも後端における方が浅くなっている。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤボンディング不良の発生を防止することにより、製品の歩留まり及び信頼性を向上させたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明に係るインクジェットヘッドは、駆動用基板１と、駆動用基板１上にポリイミド層２１を介して配置されたドライバーＩＣチップ１１と、このチップ１１と駆動用基板１との間に配置された圧電体膜６と、圧電体膜６にチップ１１からの電圧を印加するためのボンディングワイヤ１３と、駆動用基板１内に形成された圧力発生室１ｂであって、圧電体膜６によって加圧されるインクを入れる圧力発生室１ｂと、チップ１１の裏面と圧電体膜６との間にポリイミド層２１により設けられた空間１１ａであって、圧力発生室１ｂ内のインクを加圧する際に圧電体膜６の動きを阻害しないための空間１１ａと、を具備するものである。 （もっと読む）

【課題】 品質劣化を伴うことなく、高機能で微細寸法の圧電素子の櫛歯状駆動片を迅速かつ効率よく加工する。
【解決手段】 一対の圧電素子ブロック３２Ａ、３２Ｂの間にスペーサ５０を介在させる。圧電素子ブロック３２Ａ、３２Ｂの上部側は、スペーサ５０より上方に突出しており、この上部側からスリット６０Ａを形成することにより、多数の圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂを等間隔で櫛歯状に形成する。スペーサ５０の上部は、圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂの基端部を含む位置まで配置されている。このスペーサ５０の上部は圧電素子ブロック３２Ａ、３２Ｂに接着されない非接着領域であり、圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂの基端部を補強して、スリット加工時の応力を緩和する。スペーサ５０の非接着領域により、圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂの変形は拘束されず、高い応答性と十分な変位量を得ることができる。 （もっと読む）