【課題】高い位置合わせ能力を要求することなしに、高精度で信頼性の高い静電アクチュエーターおよび液滴吐出ヘッドを得ること。
【解決手段】可撓性の振動板１２が形成されたシリコン基板２と、振動板１２に隙間２２を介して対向する個別電極１７を有したガラス基板３とが接合された静電アクチュエーターであって、シリコン基板２は、ガラス基板３と対向する面のほぼ全域に絶縁膜１６ａが成膜されたものであり、ガラス基板３は、個別電極１７の表面に絶縁膜１６ｂが成膜されているが、シリコン基板２との接合部２０には絶縁膜１６ｂが形成されていない。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板の回路に対するサブヒータの熱の影響を抑制しつつ、記録素子基板の温度を制御するサブヒータを配置できる記録素子基板を提供する。
【解決手段】 複数の記録素子を備えた記録素子列と、前記記録素子を駆動する駆動回路とを備えた記録素子基板であって、前記記録素子基板の表面を垂直な方向からみて前記記録素子列を囲むように配置され、前記記録素子基板の断面をみて前記駆動回路に含まれる容量素子または抵抗素子の上方または下方に配置されているヒータを備える。 （もっと読む）

【課題】 保護膜の欠損の有無を簡単な構成で検知を行う。
【解決手段】 配線の供給口側の端部と、供給口との間に対応する保護膜中に、保護膜欠損検知手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】
加熱用の発熱抵抗素子をインク吐出用の発熱抵抗素子と独立して制御し、加熱用の発熱抵抗素子による過熱・温度制御の範囲を広げるようにした記録ヘッド用基板及び記録ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】
記録ヘッドを制御する記録ヘッド用基板であって、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生するための発熱抵抗素子である複数の第１の素子と、第１の素子各々に対応して設けられ第１の素子を駆動する複数の第１の駆動回路と、第１の素子に印加するための電圧を入力する第１の電源端子と、第１の素子とは別に設けられ、記録ヘッド用基板を加熱するための発熱抵抗素子である第２の素子と、第１の電源端子とは別に設けられ、第２の素子に印加するための電圧を入力する第２の電源端子と、第２の素子に電流を供給する第２の駆動回路と、第２の駆動回路を駆動するために第２の電源端子からの電圧を変換する電圧変換回路とを具備する。 （もっと読む）

【課題】接続を簡単にしたまま電気接続信頼性をより向上させる。
【解決手段】本発明の製法は、熱伸縮が可逆性を有する基材４１の上面に電極ランド４２ａを有する複数の導線４２を形成する工程と、基材４１の上面にて導線４２を覆うように、基材４１よりも熱膨張率が小さく且つその熱伸縮が可逆性を有する被覆層４３を形成する工程と、基材４１における電極ランド４２ａの配設箇所にスルーホール４１ａを形成する工程と、スルーホール４１ａに電極ランド４２ａと導通する中継導体４４を形成する工程と、圧電アクチュエータ１２の電極端子２４ａの上に導電性及び柔軟性を有するバンプ３９を形成する工程と、ＦＰＣ１３を加熱することでスルーホール４１ａを拡径させる工程と、拡径したスルーホール４１ａ内にバンプ３９が挿入された状態で加熱を解除してスルーホール４１ａを縮径させる工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減を図り得るばかりでなく、高密度化も容易に達成し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する流路が形成された流路形成基板１０と、液体を噴射するための圧力を付与する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００に一方の端部が電気的に接続された第１基板５００と、第１基板５００の他方の端部に接続された第２基板６００と、第１基板５００を支持する基板支持部４００とを具備し、基板支持部４００は、第２基板６００側に面状の接続支持面４１０を有し、第１基板５００と第２基板６００との接続部が、接続支持面４１０に対向する位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減を図り得るばかりでなく、高密度化も容易に達成し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する流路が形成された流路形成基板１０と、液体を噴射するための圧力を付与する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００に一方の端部が電気的に接続された第１基板５００と、第１基板５００の他方の端部に接続された第２基板６００と、立設部４０１と基板支持部４０２とを備え第１基板５００を支持する支持ユニット４００とを具備し、基板支持部４０２は、第２基板側に接続支持面４１０を有し、第１基板５００と第２基板６００との接続部が、接続支持面４１０に対向する位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】良好な接続が可能であるとともに実装効率の向上を図ることのできるフレキシブル回路基板およびその製造方法、高信頼性で小型化された液滴吐出ヘッド、長期的な接続信頼性を確保可能な液滴吐出装置および半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッド１は、可撓性基板７１の第１面に、それぞれが一方向に配列された複数の端子からなり、互いに略平行に配置された一対の端子列と、一対の端子列の各々の端子から延出された配線パターンと、を備え、一対の端子列が可撓性基板７１を貫通して形成された貫通孔８０を介して対向配置されてなるフレキシブル回路基板２７を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えばインクジェット方式のプリンタに適用して、半導体基板に貫通孔を作成することなく犠牲層を溶解液により溶解除去してインク液室等を作成する構成において、溶解液による信頼性の劣化を有効に回避することができるようにする。
【解決手段】犠牲層の溶解液から電極７０を保護する保護層８８を電極７０に設ける。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔が高密度に配置された液体噴射ヘッドおよびこれを有するプリンタを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１０００は、第１基板１０と、第１基板の上方に形成された第２基板２０と、第２基板に形成された複数の圧力室２６と、第２基板に形成され、各圧力室にインクを貯留するためのリザーバ２２と、圧力室の上方に形成された振動板３０と、振動板の上方であって、各圧力室に対応する位置に形成された圧電素子４０と、圧電素子と電気的に接続された内部配線７０と、ノズル孔５２を有するノズルプレート部材５０と、を含み、圧力室は、該圧力室の水平方向の一端においてリザーバと連通し、該圧力室の水平方向の他端においてノズル孔と連通している、ユニットヘッド１００を複数含み、複数のユニットヘッドは、上下方向に積層され、各ユニットヘッドは、平面視において、それぞれ重なっていない配線接続領域８０を有し、内部配線と外部配線とが、配線接続領域で電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】限られたサイズの基板の中に接続パッドを効率良く配置することが可能なインクジェット記録ヘッド用基板を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド用基板１００には長手方向に延びたインク供給口１０６が形成されている。基板１００は、インク供給口１０６の長手方向に対して交わる方向に延びた第１の辺（基板短辺）に沿って配列された第１の電気接続端子である接続パッド１０５を有している。基板１００は、インク供給口１０６の長手方向に沿って延びた第２の辺（基板長辺）に沿って配列された第２の電気接続端子である接続パッド１０１，１０２をさらに有している。接続パッド１０１，１０２は、インク供給口１０６の長手方向におけるインク供給口１０６の端部と基板短辺との間の領域に設けられている。 （もっと読む）

【課題】電気配線基板の浮き上がりを改善し、画像性能を向上させること。
【解決手段】液体を吐出する記録素子１１０と、記録素子１１０に電気信号を送信するための電気配線基板１３０、記録素子１１０を電気配線基板１３０に位置決めして固定支持する支持部材１５０を備えたインクジェット記録ヘッドである。電気配線基板１３０には、記録素子１１０の吐出部を露出させる第一の開口部１３４と、第一の開口部１３４に近接する第二の開口部１３５、第二の開口部１３５を第一の開口部１３４から分離する分離帯１３０ａ、インナーリード１３２を有する。電気配線基板１３０は、電気導体層と、該電気導体層を保護する被覆層、該電気導体層と被覆層を接着する接着層を積層してなる。分離帯１３０ａが電気配線基板１３０の線膨張係数より小さい該電気配線基板を構成する層からなる。このような電気配線基板１３０が加熱された後に支持部材１５０に接合されている。 （もっと読む）

【課題】加工コストが低く形状自由度のある支持部材を用い、記録素子基板の変形や破損を抑制して、印字品位の信頼性が高いインクジェット記録ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッドは、記録液を吐出するためのエネルギー発生素子を備えた記録素子基板と、記録液を格納するためのインク供給部材と、前記インク供給部材と前記記録素子基板との線膨張率差を緩和するための支持部材とを備え、前記支持部材が、前記記録素子基板と接合される側の表面を構成する、第１のフィラを５０ｗｔ％以上含有するＰＰＳで形成された第１の層と、前記インク供給部材と接合される側の表面を構成する、第２のフィラを含有する熱可塑性樹脂で形成されている第２の層とを有する。 （もっと読む）

【課題】供給口の内壁面に形成された保護層の剥離を抑え、かつ、インクが基板にまで容易に浸透するのを防ぐ。
【解決手段】インクを吐出する吐出口１１と、吐出口１１に連通するインク流路１９と、吐出口１１からインクを吐出させるエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子１３及び吐出エネルギ発生素子１３を駆動するための複数の機能層が積層されてなる駆動回路を有するシリコン基板１０と、シリコン基板１０及び複数の機能層を貫通して設けられインク流路１９にインクを供給するための供給口３と、供給口３の内壁面を覆って形成された保護層２ａと、を備える。複数の機能層の間、又は機能層とシリコン基板１０との間に、保護層２ａの一部が挟まれ、かつ、一部に穴が形成され、この穴の内側で、保護層２ａを間に挟む複数の機能層同士、又は機能層とシリコン基板１０とが接触される。 （もっと読む）

【課題】特別な駆動回路を必要とすることなく圧電素子の消極による劣化を防ぐことができ、安定した液滴吐出することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズルを有するノズルプレートと、前記ノズルプレートを重ねて、前記ノズルに連通する圧力室を形成する流路基板と、前記圧力室を構成する壁に設けられている圧電素子と、を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子の分極方向とは逆に流れる電流を抑える整流手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの低減を図り得るばかりでなく、高密度化も容易に達成し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 インクを噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、圧力発生室１２に液体を噴射するための圧力を付与するように形成された圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００に接続されたリード電極９０と、リード電極９０に接続されるＣＯＦ基板４１０と、ＣＯＦ基板４１０をリード電極９０が設けられた面から立ち上がるように支持する支持部材４００とを有する。 （もっと読む）

【課題】個別配線の引き出し領域を確保しつつ、確実にＧＮＤ電位を確保する。
【解決手段】ＧＮＤ表配線４６Ａ及びＧＮＤ裏配線４６Ｂは、第２貫通穴４３Ｂに充填された第２導電性部材４５Ｂを介して後述する圧電体５４の上部電極５２に接続されると共に、ＧＮＤ表配線４６Ａ側で基準電位端子４６Ｃと接続されている。ＧＮＤ裏配線４６Ｂは、裏面４２Ｂの全面に膜状に形成されると共に、第１貫通穴４３Ａの外側に環状の絶縁空間４３Ｃが構成されている。絶縁空間４３Ｃにより、第１貫通穴４３Ａからに充填された第１導電性部材４５ＡとＧＮＤ裏配線４６Ｂとの絶縁が行われている。表面４２Ａに配線された個別配線４４及びＧＮＤ表配線４６Ａは、樹脂保護膜４７で被覆保護されている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成ながらも制御基板が発する熱がヘッドチップに伝達されるのを抑えることが可能なインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】 制御基板１５と、制御基板からの信号によりインク噴射孔１４ａから記録媒体に向けてインクを噴射するヘッドチップ１１を有するヘッドチップユニット１０と、ヘッドチップを固定する第一固定部２０ａ、及び制御基板を固定する第二固定部２０ｂを有する支持ベース２０と、を備えたインクジェットヘッド２であって、支持ベースにおいて、第一固定部と第二固定部との間に位置する中間部分には、第二固定部からの熱が第一固定部に伝わるのを抑える伝熱抑制部２０ｅが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズル密度が高くともコンパクトなサイズでのドライバトランジスタの実装が可能で、例えば、温度センサやエネルギ調整回路等の機能回路を実装が可能なヘッド基板を提供することである。
【解決手段】インク供給口と、その長手方向に複数のヒータからなるヒータアレイと、そのアレイ方向に複数のヒータを駆動する複数のトランジスタからなるトランジスタアレイと、トランジスタアレイを駆動する論理回路とをヘッド基板上に配置する。ここで、ヒータアレイとトランジスタアレイとの間に論理回路を配置する。 （もっと読む）

【課題】供給口の壁面に形成された保護層が剥離しにくく、かつ、インクが容易に基板まで浸透しない構造を備えたインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、エネルギー発生素子１３を一方の面に有する基板１０と、エネルギー発生素子１３に対応して設けられたインクの吐出口１１と、吐出口１１に連通するインクの流路１９とを有する。インクジェット記録ヘッドは、基板１０の一方の面から一方の面の裏面である他方の面までを貫通し、流路１９と連通する供給口３と、供給口３の内壁を覆う被覆膜２とをさらに有する。被覆膜２は基板１０の一方の面の上にまで設けられ、かつ被覆膜２は基板１０の一方の面の上に設けられた層間絶縁層３２に覆われている。 （もっと読む）