【課題】バンプの平面サイズの拡大抑制、及び、個別電極と給電部材との電気的接合の信頼性確保の、両方を共に実現する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インク流路が形成された流路ユニット１２、流路ユニット１２に固定され且つインク流路の容積を変化させるアクチュエータユニット１７、アクチュエータユニット１７に駆動電圧を印加するＦＰＣ５０等を含む。アクチュエータユニット１７は、圧電層１７ａ〜１７ｃ、圧電層の表面１７ａ１に形成された個別電極１８ａ、ランド１８ｂ、及びバンプ１８ｄを含む。バンプ１８ｄがＦＰＣ５０の端子５２ｄと接続される。バンプ１８ｄを複数の部分から構成すると共に、これら複数の部分のうち表面１７ａ１に最も近い第１部分１８ｄ１を、表面１７ａ１から最も離隔した第２部分１８ｄ２よりも、平面サイズが大きく、且つ、硬度が高いものとする。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータ基板２の引出電極８とフレキシブル基板４の配線電極９との間の電気的接続を容易にする。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、複数の溝５を有するアクチュエータ基板２と、複数の溝５の上部開口を塞いでチャンネルを構成するカバープレート３と、アクチュエータ基板２に駆動信号を供給するフレキシブル基板４とを備えている。アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に吐出チャンネル１１の駆動電極７に接続する共通引出電極８ａとダミーチャンネル１２の駆動電極７に接続する個別引出電極８ｂがそれぞれ形成され、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａと個別配線電極９ｂにそれぞれ接続する。更に、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａがアクチュエータ基板２の駆動電極７と交差する共通配線交差領域ＣＲでは、ダミーチャンネルの側面の駆動電極７は、その上端部が基板表面よりも深く形成される。 （もっと読む）

【課題】プリントヘッド、フレキシブル回路、積層体サブアセンブリ及び複数の積層体の位置決め方法の提供。
【解決手段】プリントヘッド１０は、本体１２と、本体に取り付けられたアクチュエータであってアクチュエータと本体との間の囲まれた空間がチャンバを形成するアクチュエータと、チャンバ内の圧力を解放するための、本体によって画成された開口部２２と、圧力の解放を可能にしつつチャンバをシールするための開口部に取り付けられたシール２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑え、フレキシブル配線基板と他の基板との実装性が向上した液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】ＣＯＦ基板２１０のリード電極９０に接続される第１の端部２１１が鈍角の内角θで折り曲げられ、リード電極９０に接合されている。折り曲げた第１の端部２１１が対向する圧電素子３００に向けて接合されるので、ＣＯＦ基板２１０は、ケースヘッド１１０の開口部１１３の内壁に向かって傾き、一対のＣＯＦ基板２１０は、左右に開くようになる。したがって、熱圧着ツール８００により行われる中継基板５００の端子５３０とＣＯＦ基板２１０の配線２２０との接続が容易なインクジェット式記録ヘッドユニット１１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】変位量を向上して、剥離等の破壊の発生を抑制することができる液体噴射ヘッド
、液体噴射装置及び圧電アクチュエーターを提供することを目的とする。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、該
流路形成基板１０に設けられて下電極６０、該下電極６０上に形成された圧電体層７０及
び該圧電体層６０上に形成された上電極８０を有する圧電アクチュエーター３００と、を
具備し、前記上電極８０が複数の電極層８１、８２で構成され、当該上電極８０を構成す
る１つの前記電極層８１が圧縮応力を有すると共に、当該上電極８０を構成するその他の
電極層８２は、当該圧縮応力を有する前記電極層８１の圧縮応力よりも小さい圧縮応力を
有し、当該上電極８０全体の内部応力が圧縮応力を有する。 （もっと読む）

【課題】ヒートシンクを駆動ＩＣに接触させたときに、アクチュエータやＣＯＦのアクチュエータとの接続部分に作用する外力を小さくすること。
【解決手段】配線基板ユニット９は、圧電アクチュエータ７の一表面に接続され、駆動ＩＣ５２が実装されたＣＯＦ５０と、駆動ＩＣ５２に接触してその熱を放散するヒートシンク６１を備えている。ＣＯＦ５０の一部は圧電アクチュエータ７の前記一表面と対向するように配置され、駆動ＩＣ５２と圧電アクチュエータ７は、ＣＯＦ５０の前記圧電アクチュエータ７と対向する部分を挟むように配置されている。さらに、圧電アクチュエータ７の前記一表面に対して傾斜した方向に延びるガイドレール５８ａを備え、ヒートシンク６１は、ガイドレール５８ａにより、駆動ＩＣ５２の表面と接触しない位置から、駆動ＩＣ５２の表面に接触する装着位置まで案内される。 （もっと読む）

【課題】インク、その他の液体の直接接触や成分進入による配線電極の腐食・劣化を防止する。
【解決手段】液体の吐出口となるノズルと、ノズルに液体を導く流路と、ノズルから液体を吐出させるための吐出エネルギー発生素子と、を含んだ構造体からなる吐出デバイス構造体（30）に給電配線基板（16）が接続された構造を有する液体吐出ヘッドにおいて、給電配線基板(16)の表面のうち、吐出デバイス構造体(30)の吐出面（24）近傍の一部分に乾燥ガスを接触させるための空洞部（80）を設け、気体供給流路（82）から空洞部（80）に乾燥ガスを流入させる。空洞部（80）に導入された乾燥ガスは気体排気流路（84）を通って外部に排出される。空洞部(80)の周囲は、接着剤又は封止剤（72,74）を用いて封止され、空洞部（80）内を常に陽圧に保持する態様が好ましい。 （もっと読む）

【課題】配線部材との接合性の良好な圧電アクチュエータユニット、それを用いた圧電アクチュエータユニット装置、液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。
【解決手段】複数の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが積層されている積層体と、積層体の一方の主面２１ｄに形成されている複数の個別電極３５と、複数の個別電極３５上に形成されている個別電極バンプ４６と、複数の個別電極３５に対向して積層体の内部に積層されている共通電極３４と、共通電極３４の複数の個別電極３５に対向してない部位から積層体の一方の主面２１ｄまで繋がっているビアホール２１ｃと、ビアホール２１ｃ内の共通電極３４上に形成されている共通電極バンプ４７とを有する圧電アクチュエータユニット４０であって、ビアホール２１ｃの底面の下側に位置する圧電セラミック層２１ａが、ビアホール２１ｃ側に突出している。 （もっと読む）

【課題】圧電層上の複数の個別電極において延出部の延出方向が互いに逆のものが存在する構成で、個別電極が延出部の延出方向又はこれとは逆の方向にずれた場合でも、記録品質の悪化を抑制できるようにする。
【解決手段】各個別電極１８は、平面視で圧力室に対向して配置された主部１８ａと、主部１８ａの一方の鋭角部から圧電層の表面１７ａ１に沿ったＸ方向に延出された延出部１８ｂ１と、主部１８ａの他方の鋭角部から表面１７ａ１に沿ったＹ方向（Ｘ方向とは逆の方向）に延出されたダミー延出部１８ｂ２と、延出部１８ｂ１の先端に形成されたランド１８ｃとを含む。表面１７ａ１には、延出部１８ｂ１の延出方向（Ｘ方向）が互いに逆の個別電極１８が交互に配置されている。 （もっと読む）

【課題】滴吐出特性のバラツキを低減できる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】圧電層と内部電極が交互に積層された複数の圧電柱１２Ａが列設された積層型圧電部材１２を有し、圧電柱１２Ａには個別外部電極と共通外部電極２４が設けられ、複数の圧電柱１２Ａは、隣り合う所要数の圧電柱１２Ａを１ブロックとする複数のブロックに分けられ、圧電部材１２には、ブロック単位で、各圧電柱１２Ａの共通外部電極に接続された共通内部電極２７Ｂ１、２７Ｂ２、２７Ｂ３を有し、共通内部電極２７はＦＰＣに接続される共通取出電極２５に接続されている。 （もっと読む）

【課題】１つのアクチュエータに対して複数枚の配線基板が接続される場合に、その配線構造をコンパクトに構成すること。
【解決手段】複数枚のＣＯＦ５０は、出力端子５３が形成された基材の一端部が圧電アクチュエータ７の一表面に沿った所定方向に関して並べられ、圧電アクチュエータ７から前記一表面に平行に引き出された上で、前記一表面と反対側に折り返されている。さらに、前記所定方向に隣接するＣＯＦ５０間で、圧電アクチュエータ７からの引き出し方向が互いに逆方向となっており、複数枚のＣＯＦ５０の駆動ＩＣ５２が、圧電アクチュエータ７の一表面と距離を空けて対向する位置において一列に配列されるとともに、基材の他端部に設けられた入力端子５４が、一列に配列された複数の駆動ＩＣ５２を挟んでその両側に交互に配されている。 （もっと読む）

【課題】レーザー接合するときに十分な加熱量が得られずに加熱ムラが発生し、配線部材の損傷を生じ、配線部材と圧電柱の十分な接合強度を確保できない。
【解決手段】複数の圧電柱１２Ａが形成された圧電部材１２と、圧電部材１２が固定されたベース部材１３と、圧電部材１２の圧電柱１２Ａに駆動信号を伝達する配線パターン３１が形成されたＦＰＣ１５とを備え、ＦＰＣ１５にはベース部材１３とＦＰＣ１５との接合部に対応する接合用電極パターン３３が設けられ、ＦＰＣ１５はベース部材１３の壁面１３ａにホットメルト接着剤３５で接合固定されている。 （もっと読む）

【課題】個別液室基板が小さく低コストなインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル穴３０が形成されたノズル基板３と、ノズル基板の各ノズル穴に対応して側壁により個別の液室に区切られた複数の液室（圧力室）２１を有し、液室２１の一部を構成する振動板２０及びこの振動板と一体的に形成された電気機械変換素子２６を有する個別液室基板２と、電気機械変換素子を駆動するための駆動信号を出力するドライバＩＣ４とを備えたインクジェット記録ヘッド１０００において、電気機械変換素子２６の周囲には、該電気機械変換素子の厚みよりも高いギャップ層５の隔壁が形成され、ドライバＩＣ４の一部が電気機械変換素子上にせり出した状態で電気機械変換素子から引き出された入力端子にドライバＩＣの出力端子がバンプ接合４０され、かつドライバＩＣはギャップ層５の隔壁により支持されている構成とした。 （もっと読む）

【課題】成膜した状態で引張応力膜となっている圧電体を用いた圧電アクチュエータの変位効率を向上させる。
【解決手段】空間部を有する基板の一方の面に設けられた弾性膜と、前記弾性膜の前記空間部上に設けられた圧電素子とを備え、前記圧電素子に電圧が印加されて撓み振動することにより、前記弾性膜を前記圧電素子の撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、前記弾性膜は、前記圧電素子が形成される部分に引張応力を有し、前記圧電素子が形成される周辺部分に圧縮応力を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布するときに不要な液滴を電極に付着させることなく、所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる電気機械変換膜の製造方法を提供する。
【解決手段】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液の液滴をノズルから吐出させる液滴吐出方式により、第１の電極上の所定部分に前記塗布液を選択的に塗布する塗布工程と、前記第１の電極上に塗布した塗布液の膜を乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥させた塗布液の膜を熱分解して結晶化させる結晶化工程とを有する電気機械変換膜の製造方法であって、前記塗布工程は、前記ノズルから吐出した塗布液の主液滴に付随する微小の付随液滴を前記第１の電極に到達する前に回収する回収工程を有する。 （もっと読む）

【課題】小型、低コスト、高信頼性のインクジェットヘッド及びそれを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】液体供給基板１１１には、表裏に貫通する収容孔部１１１ｂが形成され、液室基板１１２上には、収容孔部１１１ｂによって囲われた実装領域Ａが形成され、駆動回路部材１０９は、実装領域Ａ内に収容され、封止材１１０は、液室基板１１２への液体供給基板１１１の接合後に、実装領域Ａ内に充填されている。 （もっと読む）

【課題】チップサイズを小型化することができ、コストを下げることができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル穴３０が形成されたノズル基板３と、ノズル基板の各ノズル穴に対応する複数の圧力室２１と該圧力室の一辺を成す振動板２０とアクチュエータとが設けられた個別液室基板２と、個別液室基板の各アクチュエータを駆動するための駆動信号を出力するドライバＩＣ４と、個別液室基板の各圧力室に液滴を供給するインク供給口（貫通穴）１１と共通液室１０とが設けられ個別液室基板と接合される共通液室基板１とを備えた液滴吐出ヘッド１０００において、ドライバＩＣ４の出力端子が、個別液室基板２の各アクチュエータから引き出された入力端子にバンプ接合４０されており、ドライバＩＣが個別液室基板の振動板２０上にオーバーハングして設置されている構成とした。 （もっと読む）

【課題】リード電極の電食を抑え、所定の電圧で駆動できる圧電素子およびその製造方法を得ること。
【解決手段】ニッケルおよびクロムを含む第１リード電極９１１がチタンを含む第２上電極８２と接触している。ここで、ニッケルおよびクロムとチタンとの標準電極電位差が、ニッケルおよびクロムとイリジウムとの標準電極電位差より小さいので、ニッケルおよびクロムを含む第１リード電極９１１がイリジウムを含む第１上電極８１と接触している場合と比較して電食を生じにくくできる。したがって、上電極８０と上電極用リード電極９１との間の接触面積が狭くなったり、上電極用リード電極９１の剥離が生じたりして抵抗が高くなるのを抑えることができ、所定の電圧で駆動できる圧電素子３００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】共通液室基板の剛性が高く、割れの発生が低減され、生産性が高く、かつ高い歩留まりで製作することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル孔３０が形成されたノズル基板３と、
ノズル孔３０に対応する複数の圧力室２１、及び振動板２０を壁面の一部とする流路の水平面上に形成された共通電極２３と、圧電素子２５と、個別電極２４とからなるアクチュエータ２６が積層された個別液室基板２と、
ドライバＩＣ４を設置保護する空間、アクチュエータ２６の動作領域を確保する振動個室８、及び圧力室２１に液滴を供給する共通液室１０が形成された共通液室基板１とを備え、共通液室基板１は、共通液室１０の上部にノズル配列方向と直交する方向に梁状部７を有するとともに、両側から異なるパターンでエッチングされたときのパターン重複部分を開口させてなる液滴供給貫通孔６を複数有する液滴吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】配線に印加する電圧に応じて所定量変形する圧電素子、安定した液体の噴射を行なう液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】下電極６０に形成された貫通孔６１の側面６１０で下電極６０と下電極用リード電極９０とが接触し、接触面である側面６１０で、下電極用リード電極９０が下電極６０の側面６１０に含まれるイリジウムを含んでいる。異種金属が接触している場合と比較して、同種の金属が接触している場合は、接触抵抗が低くなる。したがって、接触抵抗による電圧降下および発熱を低減でき、下電極用リード電極９０に印加する電圧に応じて機能する圧電素子を得ることができる。 （もっと読む）