【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層１４、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板１０を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃと上部電極４０とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極１４が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】
回路面積を大きくすることなく、リンギングの発生を抑制することが可能な駆動回路を提供する。
【解決手段】
本発明に関わる駆動回路は、入出力端子が並列接続された複数のトランジスタを有し、前記トランジスタの内、少なくとも２つのトランジスタのチャネル長を互いに異なる長さとすることにより、異なるしきい値電圧を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】高電圧出力とデータ伝送の高速化とを両立することの出来るインクジェットヘッドの駆動回路及びインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】共通電位又はＫ個の電位の中から選択された電位を所定数の負荷に対して各々印加するための駆動電圧波形を出力する駆動部を備え、所定数の負荷を駆動することでインクを吐出させるインクジェットヘッドの駆動回路であって、駆動部は、複数の半導体チップが積層されて構成され、複数の半導体チップのうち少なくとも１枚における最小の配線幅は、他の半導体チップにおける最小の配線幅より狭く、当該最小の配線幅が狭い第１の半導体チップは、入力データに基づき、一の駆動電圧波形当たりＫ個の駆動電圧選択信号を並列的に出力する選択信号出力部を備え、他の半導体チップは、駆動電圧選択信号が入力されると、駆動電圧波形を生成する駆動電圧波形生成部を備える。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー発生素子の有効発泡領域を確保しつつ、高密度に配置するためには、エネルギー発生素子の長さを長くしてエネルギー発生素子の面積を増やす必要があるが、これにより供給する電気エネルギー量も増やす必要が生じてしまう。
【解決手段】 複数のエネルギー発生素子に接続し、かつ、隣接するエネルギー発生素子の間に配置される接続配線を有する液体吐出ヘッド用基板において、接続配線が配置されていない隣接するエネルギー発生素子の間の距離を、接続配線が設けられている部分の距離より狭くする。 （もっと読む）

【課題】 簡易に製造することができ、しかもデータ伝送速度の高速化と耐圧性の向上とを両立させた液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドは、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、第１のトランジスタを有する、エネルギー発生素子を駆動するためのドライバ部と、を備えた第１の半導体基板を有する。また、第２のトランジスタを有し、電気接点を介してシリアル伝送された信号を受信するための受信部と、第３のトランジスタを有し、信号をパラレル変換して、ドライバ部を制御するための信号を生成する展開部と、を備えた第２の半導体基板を有する。ここで、第１のトランジスタのゲート酸化膜は、第２のトランジスタのゲート酸化膜及び第３のトランジスタのゲート酸化膜よりも、厚さが厚い。 （もっと読む）

【課題】高耐電圧により大電流化が可能で、オン抵抗が低く高速動作が可能で、高集積化と省エネルギーが可能で、素子間分離の容易な、電気熱変換素子駆動用の半導体装置を提供する。
【解決手段】電気熱変換素子とそれに通電するためのスイッチング素子とがｐ型半導体基体１に集積化されている。スイッチング素子は、半導体基体１の表面に設けられたｎ型ウェル領域２と、それに隣接して設けられチャネル領域を提供するｐ型ベース領域６と、その表面側に設けられたｎ型ソース領域７と、ｎ型ウェル領域２の表面側に設けられたｎ型ドレイン領域８，９と、チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して設けられたゲート電極４とを有する絶縁ゲート型電界効果トランジスタである。ベース領域６は、ドレイン領域８，９を横方向に分離するように設けられた、ウェル領域２より不純物濃度の高い半導体からなる。 （もっと読む）

【課題】各セグメントまでの配線抵抗値のばらつきを抑制しつつ、配線領域の拡大を抑制するための技術を提供する。
【解決手段】複数のセグメントが半導体基板に形成された半導体装置１００が提供される。各セグメント１０４ａ〜１０４ｄはノズル中の液体を吐出させるための複数の駆動部を有し、各駆動部は駆動回路と駆動回路によって駆動されてノズル中の液体を吐出させるエネルギーを液体に作用させる素子とを有する。半導体装置は、外部から電力の供給を受ける電源パッド１０５ａ，１０５ｂと、電源パッドから複数のセグメントのそれぞれへ電力を供給する複数の導電パターン１０６ａ〜１０６ｄとを含む。 （もっと読む）

【課題】 液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子と、素子に電気的に接続された導電層とを有し、その上に導電層と接する金属材料層と金層とニッケル層と、が積層して設けられた液体吐出ヘッド用基板において、ニッケル層をエッチングする際に金属材料層もエッチングされてしまうという課題がある。
【解決手段】 金属材料からなる金属材料層の端面に、樹脂層を設けた後に、ニッケルを含有する層の一部をエッチングにより除去する。 （もっと読む）

【課題】 近年、チップの小型化及び高密度化が進んでおり、ヘッド用基板の面積を大きくすることなく、ヘッド用基板の加熱を行う発熱部を、ノイズを発生させること無く設けることが求められている。
【解決手段】 エネルギーを発生する素子が複数配列された素子列を有する基板と、素子の駆動制御を行う駆動回路と、駆動素子に共通して接続し、素子列に沿って設けられた信号線と、基板の加熱を行うための熱を発生する発熱部を有しするヘッド用基板であって、発熱部は、基板の面に垂直な方向に関して、信号線と重ならないように設ける構成とする。 （もっと読む）

【課題】好適なプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】圧力チャンバ３３と、ノズル流路６６と、ノズル開口部２２とを画定するモノリシック半導体本体２６を有するプリントヘッド。圧力チャンバには、約５０ミクロンまたはそれ以下の厚さの圧電層７６を含む圧電アクチュエータ２８が対応付けられている。半導体本体は、複数の流路開口部を有するフィルタ／インピーダンス構成３２も画定する。半導体本体は研磨ＳＯＩウエハーであることが好ましい。別の態様において、表面のＲａが約０．０５ミクロンまたはそれ以下であるか、または少なくとも１つの表面に空隙充填材を含む圧電層を有するプリントヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】複数のインク吐出用のヒータとそれを駆動する素子とが同一半導体チップ上に形成されたインクジェットヘッドにおいて、チップサイズを増大させずに省エネ化を図る。
【解決手段】インク吐出用ヒータに電流を供給するトランジスタの引き出し電極の形状を、電圧降下が少なくなるように、ヒーター接続側のコレクタ電極１０７はヒータに近づくにつれ太くし、又、電源接続側のエミッタ引き出し電極１０５は電源に近づくにつれ太くする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えばインクジェット方式のプリンタに適用して、半導体基板に貫通孔を作成することなく犠牲層を溶解液により溶解除去してインク液室等を作成する構成において、溶解液による信頼性の劣化を有効に回避することができるようにする。
【解決手段】犠牲層の溶解液から電極７０を保護する保護層８８を電極７０に設ける。 （もっと読む）

【課題】発熱素子の数が多い長尺基板であっても正確な温度検出が行い得、かつ温度センサの配置に伴う基板幅の増加も抑制できるようにする。
【解決手段】基板は、Ｍ×Ｎ個の発熱素子がＮ個のブロック毎に時分割駆動されるように構成されるとともに、各ブロックにおいて駆動する発熱素子を選択するためにＭビットの信号を供給する信号線を有する。このＭビットの信号線を、発熱素子の配列方向の両端部側の部位をそれぞれ始点として前記配列の中心方向に延在し、当該端部により近いＭ／２個の発熱素子を選択する２つの信号線に分ける。当該２つのＭ／２ビットの信号線ビットの信号線を、それぞれの始点から遠ざかるに従って数を減じて行き、これに伴って残余の信号線が偏倚して発熱素子の配列に近くづいてゆくよう配線する。当該配線により、前記配列の中心に対応した位置に生じる空き領域に、前記基板の温度を検出するための温度センサを設ける。 （もっと読む）

【課題】効率の高いサーマルインクジェットプリントヘッド、これを用いたプリンタシステム及びこのプリントヘッドを使用した液滴の射出方法の提供。
【解決手段】複数台のノズル３とノズルに対応する１台以上のヒーター素子１０とを備え、ヒーター素子１０が、プリントヘッド内で泡形成液体をその沸点よりも高い温度まで加熱し、その内部に気泡１２を形成するように構成する。気泡１２の発生は、それぞれの対応したノズル３を通る（インクのような）射出可能な液体の液滴１６の射出を生じさせる。ヒーター素子１０は固体材料から作られ、原子比率でその固体材料の９０％を超える量が元素の周期律表の中で５０未満の原子番号を有する少なくとも１つの周期元素により構成する。 （もっと読む）

【課題】液体を高密度に噴射し得る液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせることによりノズル開口２１を介してインクを吐出させるよう流路形成基板１０の一方面側に配設された圧電素子３００と、一方面側に設けられてリード電極９０を介して圧電素子３００を駆動する駆動回路１２０とを具備し、駆動回路１２０には、その上面１２２に圧電素子３００に対応して端子部１２５を設けると共に上面１２２から前記一方面に至る傾斜面１２３を設け、リード電極９０を、端子部１２５から傾斜面１２３を通って圧電素子３００に至るように形成した。 （もっと読む）

【課題】 定電流駆動方式の記録ヘッドにおいて、定電流駆動方式の定電流源としてのＭＯＳトランジスタでの電圧吸収範囲を低減してサイズアップなどによるコストの上昇を抑え、かつ電力ロスを抑えて素子基板の温度上昇を抑える。
【解決手段】 本発明の記録ヘッドは、複数の記録素子と、前記複数の記録素子のそれぞれに対応して設けられた複数のスイッチング素子とを備える。また、前記複数の記録素子に定電流を供給するための定電流源と、前記定電流源を制御することにより前記複数の記録素子に供給される電流を調整する制御手段とを備える。さらに、外部から直接に直流電圧を入力し、前記複数の記録素子に印加するための電圧値に変換して前記複数の記録素子に出力するＤＣ／ＤＣコンバータを備える。また、前記複数の記録素子と、前記複数のスイッチング素子と、前記定電流源と、前記制御手段は、同一の素子基板に設けられており、前記ＤＣ／ＤＣコンバータは、該素子基板と異なる素子基板に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 半導体プロセスで直接基板に駆動回路を作り込むことなく金属薄膜形成工程及びフォトリソグラフィ工程により圧力発生手段との間の配線を形成することで高密度化に資することができ、また基板の構造破壊も回避し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせることによりノズル開口２１を介して液滴を吐出させるよう流路形成基板１０の一方面側に配設された圧電素子３００と、前記一方面側に形成した凹部１２６に埋設されるとともに、圧電素子３００が駆動されるように金属薄膜形成工程及びフォトリソグラフィ工程により圧電素子３００との間の配線が形成されている駆動回路１２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、インクジェット用基板のチップ面積を増加することなく電力配線の抵抗値を下げることで、レイアウト効率を高めてヘッドのコストアップを抑えるための手段を提供することにある。
【解決手段】 レイアウト効率を高める手段として貫通電極を設けるのであるが、この貫通電極の断面形状を規定して製造上のメリットを提供する。すなわち、貫通電極の断面を従来の円形から長円形にする。 （もっと読む）

【課題】小型化、高精細化を容易に実現でき、安価に製造できる流体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口１５に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方の面に振動板４００を介して設けられた圧電素子（駆動素子）１３０と、圧電素子１３０に電力を供給する駆動ＩＣ１５０とを備え、前記流路形成基板１０が半導体基板を基体としてなり、前記半導体基板に駆動ＩＣ１５０が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】めっき法で形成された低抵抗な電力配線を有しながらも、異なる種類の金属がインクや水分等に接触することがない構造を有する、インクジェット記録ヘッド用の基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】電力配線金属のうち、主として下層を保護するための拡散防止層は、その上面および少なくとも側面の一部が、主として電力を供給するための金属層によって被覆されるように構成する。これにより、電力配線の表面は、その側面まで含めて単一金属が現れるようになるので、たとえ、インクや水分等に接触するような状況が生じても、イオン化傾向の差に伴う電池反応は発生せず、電力配線の腐食や短絡も抑制される。 （もっと読む）