【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層１４、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板１０を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃと上部電極４０とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極１４が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドの端子部と外部接続するワイヤとは、封止剤で被覆されている。この封止剤の封止が十分でないと、インクが侵入して端子部が腐食するが、特にアルミニウムからなる電極層と、他の金属とが同時にインクに接すると電池効果により急速に腐食が進行する。
【解決手段】 本発明の液体吐出ヘッドは、基体を端子部が設けられた面側からみたときに、電極層を投影した部分の大きさを、拡散防止層を投影する部分の大きさより小さくし、拡散防止層の周囲に電極層に接するように樹脂層を設ける。このように設けることで、封止剤の封止が十分でなかったとしても、腐食が進行しにくい液体吐出ヘッドとすることができる。 （もっと読む）

【課題】従来の構造体より製造が容易な電気接点を有するプリントヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の圧電素子２０を備えるジェット・スタック・サブアセンブリ３０をプレス内に配置することと、複数の導電性パッド６４を有するフレキシブルプリント回路６０（フレックス回路）を複数の圧電素子２０と位置合わせすることと、複数の導電性パッド６４を変形させるためにプレス内でフレックス回路６０に圧力を印加することと、を含み、プレス内の複数の導電性パッド６４の変形中、複数の導電性パッド６４と複数の圧電素子２０との間に電気接触が確立される、方法。 （もっと読む）

【課題】基板間の位置決めを確実に行って端子部同士を信頼性高く電気的接続することのできる電子回路基板の接合方法の提供。
【解決手段】第1の接続用端子部を有する基板10と第2の接続用端子部を有する基板20とを,第1と第2の接続用端子部とを対面させて位置決めを行った後,基板10,20とを接合することにより第1と第2の接続用端子部との電気的接続を行う電子回路基板の接合方法において,第1の接続用端子部が設けられた面と同一方向の面の所定位置に位置決め用端子部112を設けると共に,第2の接続用端子部が設けられた面と同一方向の面の所定位置に位置決め用端子部212を設け,第1と第2の接続用端子部とが対面するように基板10,20とを位置合わせした後,位置決め用端子部112,212との間が導通したことを確認することにより基板10,20との位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動を効率的に行う液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の一方面側に圧力発生室１２に対応して設けられた第１電極６０、第１電極上に設けられた圧電体層７０及び圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００毎に対して個別に設けられた第１電極６０に電気的に接続されるリード電極９０と、第２電極８０が形成されておらず前記圧電体層７０が露出している領域の、前記第１電極６０が部分的に露出されている領域に、前記第１電極６０に少なくとも一部が接して設けられている導電層８１と、を具備し、リード電極９０は、前記導電層８１を介して前記第１電極６０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルの吐出特性のばらつきを抑制すること。
【解決手段】インクジェットヘッド４は、複数のノズル４０と複数のノズル４０にそれぞれ連通する複数の圧力室３４が形成された流路ユニット２０と、圧力室３４を区画する封止板５０を変形させて複数の圧力室３４内のインクにそれぞれ圧力を付与する圧電アクチュエータ２１を有する。圧電アクチュエータ２１は、複数の圧力室３４にそれぞれ対応する複数の圧電素子５６を有し、これら複数の圧電素子５６の表面には複数のバンプ５９がそれぞれ設けられている。さらに、一部の圧力室３４に対応するバンプ５９が、他の圧力室３４に対応するバンプ５９よりも大きくなっており、封止板５０の、前記一部の圧力室３４に対向する部分の変形が強く抑制される。 （もっと読む）

【課題】高密度ヘッドでは圧電柱の傾きやフレキシブル配線基板の配線電極ピッチの誤差が発生すると短絡等の不良が発生する。
【解決手段】圧電部材１２には複数の圧電柱１１２が形成され、ＦＰＣ１５には圧電柱１１２（駆動柱１２Ａ）の電極２３に接続される配線電極（パターン）１１６が設けられ、配線電極１１６は、接合部分１１７が、先端部側（圧電柱１１２の先端側）の圧電柱配列方向における幅Ｗ１を圧電柱１１２の根元部側の幅Ｗ２よりも広くし（Ｗ１＞Ｗ２）、根元側から先端側に向かって次第に広がる形状に形成している。 （もっと読む）

【課題】支持部材が斜めに挿入されても確実に電気接続することができるインクジェットヘッドの電気接続構造を提供する。
【解決手段】液体が吐出される液体吐出口１２と、液体吐出口１２に連通する圧力室１６を構成する圧力室形成基板１８と、圧力室形成基板１８の液体吐出口１２の反対側に設けられたエネルギー発生素子２２と、を有し、圧力室形成基板１８のエネルギー発生素子２２側には凹部構造８２が設けられ、一方の端部がエネルギー発生素子２２に接続され、他方の端部が凹部構造２２内に配設された基板配線４８と、支持部材６２に接着され、支持部材配線のパターンが形成されたフレキシブル基板６０と、が当接され電気的に接続されたことを特徴とするインクジェットヘッドの電気接続構造である。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れ、長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】 ニッケル酸ランタン層を備える第１電極を形成する工程、ニッケル酸ランタン層上方に圧電体層を形成する工程、及び圧電体層上方に第２電極を形成する工程を備える圧電素子形成工程と、圧電素子に対して印加する最大駆動電圧差の６０％以上７０％以下の電圧を印加するエージング工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】低コストでありながら隣接する圧力室の電極がショートするのを確実に防止するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】実施形態のインクジェットヘッドは、複数の圧力室を形成する圧電モジュールと、前記複数の圧力室に面して、前記圧電モジュール上に夫々形成される電極と、前記電極に電気信号を伝達する配線を備えるノズルプレートと、前記圧電モジュールと前記ノズルプレートを接合する絶縁性の接合部材と、前記ノズルプレートと前記接合部材を貫通して前記圧電モジュールに達する開口部と、前記開口部にて前記電極と前記配線を導通する導体とを備えていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】小型化及び低コスト化を図りつつ、導電ワイヤとの干渉を回避しながら、溝の底面に形成されたパッドと溝の外側周辺部の上面に形成されたパッドとをワイヤボンディングにより接続することができる電子装置を提供する。
【解決手段】電子装置１００は、互いに対向する２つの壁面１０７、１０８からなる溝１０２が形成され、溝１０２の外側周辺部の上面側に第１のパッド１０４が設けられ、溝１０２の底面側に第２のパッド１０５が設けられ、ワイヤボンディングにより第１のパッド１０４と第２のパッド１０５とが接続されている。溝の１０２の底面に垂直な方向から見た場合における溝１０２の２つの壁面１０７、１０８のうち第１のパッド１０４により近い一方の壁面１０７の上端から第２のパッド１０５までの距離（ＬＷ）１０９よりも、もう一方の壁面１０８の上端から第２のパッド１０５までの距離（ＬＮ）１１０が短くなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フリップチップ実装時又はワイヤボンディング実装時の破損を抑制すると共に、集積度を高くしても小型化することが可能なインクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドを有するインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のノズル１１１ａが形成されているノズル基板１１１と、ノズル基板１１１上に配置されている振動板１１２ａの間の空間が、隔壁１１２ｂにより隔てられている複数の液室１１０が形成されているインクジェットヘッド１００は、振動板１１２ａの隔壁１１２ｂにより隔てられている空間上に、共通電極１２１、圧電体１２２及び個別電極１２３が順次積層されている圧電素子１２０が形成されていると共に、個別電極１２３から配線１４０が引き出されており、配線１４０と駆動ＩＣ１５０を電気的に接続する電極パッド１４１が配線１４０上に形成されており、電極パッド１４１は、隔壁１１２ｂ上に延在している。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板の吐出口列間を、同じ構成を有する別の記録素子基板の吐出口列で補完するように、複数の記録素子基板が装着された液体吐出ヘッドにおいて、記録素子基板間の電気接点の位置のばらつきを低減できる。
【解決手段】 第１の電気接点２４ａの重心と吐出口列の第１の電気接点２４ａ側の端部に設けられた吐出口３０の重心との間隔と、第２の電気接点２４ｂの重心と吐出口列の第２の電気接点２４ｂ側の端部に設けられた吐出口３０の重心との間隔Ｌ２とが、異なっている。第１の素子基板２１が有する複数の第１の電気接点２４ａと、第２の素子基板２２が有する複数の第２の電気接点２４ｂとが直線上に配され、第１の素子基板２１が有する複数の第２の電気接点２４ｂと、第２の素子基板２２が有する第１の電気接点２４ａとが直線上に配されている。 （もっと読む）

【課題】段差のない均一な膜厚の絶縁膜を使用できるようにして絶縁耐圧を高め、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】共通電極を、第１の下電極１４と第１の層間絶縁膜１５を間に介して積層された第２の下電極１６とで形成し、上電極１８から引き出された引き出し配線２０は、第２の下電極１６の個別電極引き出し部１６ａに接続されて、個別電極引き出し部１６ａが個別電極パッド部２１と導通しており、第２の下電極１６の圧電体電極部１６ｂの一部に設けた導通部１６ｂ’は、第１の層間絶縁膜１５のスルーホールを介して第１の下電極１４と導通しており、バイパス配線２４が接続された第２の下電極１６のバイパス配線導通部１６ｃは、導通部１６ｃ’を介して第１の下電極１４と導通している。 （もっと読む）

【課題】高い電位が付与されうる引出部から第１電極に対してマイグレーションが生じるのを抑制した圧電アクチュエータ及びこれの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータの最上層の第１圧電層４０の上面には、複数の個別電極４３が配置されている。第１圧電層４０と中間層の第２圧電層４１との間には、個別電極４３と対向して、第１共通電極４４が配置されている。第１共通電極４４は、スルーホール３７内の充填材６５を介して第１圧電層４０の上面に形成された第１引出電極４６まで引き出されている。スルーホール３７内の充填材６５は、第１引出電極４６に取り囲まれている。個別電極４３を形成する導電性材料はＡｕであり、充填材６５を形成する導電性材料はＡｇであり、ＡｕはＡｇよりもマイグレーションが生じにくい材料となっている。 （もっと読む）

【課題】下電極の剥がれを抑制し、かつ、高い圧電性をもつ圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュールは、複合基板１と配線基板２との間の空間のうち、平面的な広がりにおいて、絶縁性のスペーサ層ＬＢが、圧電素子層ＬＰが存在しない領域ＮＡと下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧとの双方を覆いつつも圧電素子層ＬＰから離れた範囲でダイヤフラム上に形成され、下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧを固定しつつ複合基板１と配線基板２との上下間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】バンプの平面サイズの拡大抑制、及び、個別電極と給電部材との電気的接合の信頼性確保の、両方を共に実現する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インク流路が形成された流路ユニット１２、流路ユニット１２に固定され且つインク流路の容積を変化させるアクチュエータユニット１７、アクチュエータユニット１７に駆動電圧を印加するＦＰＣ５０等を含む。アクチュエータユニット１７は、圧電層１７ａ〜１７ｃ、圧電層の表面１７ａ１に形成された個別電極１８ａ、ランド１８ｂ、及びバンプ１８ｄを含む。バンプ１８ｄがＦＰＣ５０の端子５２ｄと接続される。バンプ１８ｄを複数の部分から構成すると共に、これら複数の部分のうち表面１７ａ１に最も近い第１部分１８ｄ１を、表面１７ａ１から最も離隔した第２部分１８ｄ２よりも、平面サイズが大きく、且つ、硬度が高いものとする。 （もっと読む）

【課題】配線基板と共通電極とを導通する接続部分の電気抵抗値を低下させて、圧電アクチュエーターの駆動不良を抑制すると共にノズル開口の多列化及び高密度化を実現でき、且つ小型化を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段４０と、複数の前記圧力発生手段の各個別電極４５に接続されると共に複数の前記圧力発生手段に共通する共通電極４３の端子部４７に接続される配線層５１を有し、外部からの制御信号を伝える可撓性を有する配線基板５０と、を具備し、前記配線基板５０の配線層５１が、前記圧力発生手段４０の前記共通電極４３の前記端子部４７と接続される領域においてスリット５８を有し、且つ前記配線基板５０の前記配線層５１と前記圧力発生手段４０の前記端子部とが異方性導電材を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】個別液室基板が小さく低コストなインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル穴３０が形成されたノズル基板３と、ノズル基板の各ノズル穴に対応して側壁により個別の液室に区切られた複数の液室（圧力室）２１を有し、液室２１の一部を構成する振動板２０及びこの振動板と一体的に形成された電気機械変換素子２６を有する個別液室基板２と、電気機械変換素子を駆動するための駆動信号を出力するドライバＩＣ４とを備えたインクジェット記録ヘッド１０００において、電気機械変換素子２６の周囲には、該電気機械変換素子の厚みよりも高いギャップ層５の隔壁が形成され、ドライバＩＣ４の一部が電気機械変換素子上にせり出した状態で電気機械変換素子から引き出された入力端子にドライバＩＣの出力端子がバンプ接合４０され、かつドライバＩＣはギャップ層５の隔壁により支持されている構成とした。 （もっと読む）

【課題】１つのアクチュエータに対して複数枚の配線基板が接続される場合に、その配線構造をコンパクトに構成すること。
【解決手段】複数枚のＣＯＦ５０は、出力端子５３が形成された基材の一端部が圧電アクチュエータ７の一表面に沿った所定方向に関して並べられ、圧電アクチュエータ７から前記一表面に平行に引き出された上で、前記一表面と反対側に折り返されている。さらに、前記所定方向に隣接するＣＯＦ５０間で、圧電アクチュエータ７からの引き出し方向が互いに逆方向となっており、複数枚のＣＯＦ５０の駆動ＩＣ５２が、圧電アクチュエータ７の一表面と距離を空けて対向する位置において一列に配列されるとともに、基材の他端部に設けられた入力端子５４が、一列に配列された複数の駆動ＩＣ５２を挟んでその両側に交互に配されている。 （もっと読む）