【課題】リード電極と配線基板との間の導通不良の生じにくい、製造コストの低減した液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】ＣＶＤ法により保護膜１６を形成する前に、ＣＯＦ基板２１０が挿入される貫通孔３３が蓋部３４で塞がれているので、蓋部３４によって貫通孔３３内にＣＶＤ法で用いる原料ガスが侵入できず、貫通孔３３に引き出されたリード電極９０に保護膜１６が形成されない。したがって、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接続で導通不良が生じにくく、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 生産工程で実施される印字テストを不要にし、生産性を向上させるインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】 金属で形成され、インク滴が吐出されるノズル孔２ａを中央側に配列するノズル板２と、該ノズル板２上に積層され、ノズル孔２ａと連通するインク流路３ａを有し、赤外線の透過を許容する材質を用いてインク流路３ａがエッチング加工される流路板３と、該流路板３上に積層され、インク流路３ａ内のインク液を加圧する金属で形成される振動板４と、該振動板４を変形させる圧力を発生させる圧力発生手段とを備え、流路板３とノズル板２との積層状態で、インク流路３ａはノズル孔２ａとその積層方向で重なり合って連通する連通孔３ｃと、該連通孔３ｃの外側に形成される凹状の連通溝３ｄとを含み、ノズル板２は連通溝３ｄが形成される個所の流路板３には積層されずに、流路板３の連通孔３ｃを囲う近傍に積層される大きさで形成される。 （もっと読む）

【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を有する流路形成基板１０と、該流路形成基板１０上方に設けられて、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、を具備し、前記圧電素子３００が、（１００）面に優先配向し、ペロブスカイト構造を有するランタンニッケル酸化物を主成分とする配向制御層６２を有する第１電極６０と、該第１電極６０上方に形成されて鉄、マンガン、ビスマス、チタン及びカリウムを含む複合酸化物からなり、（１００）面に優先配向した圧電体層７０と、該圧電体層７０上方に設けられた第２電極８０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧力室に液体が循環供給される液滴吐出ヘッドにおいて、クロストークの発生を抑止する。
【解決手段】液体を圧力室PCに循環させて供給する液滴吐出ヘッド１０において、隣り合う圧力室PCが、個別供給流路ISCを介して異なる共通供給流路CSC１、CSC２に連通されるとともに、個別回収流路IRCを介して異なる共通回収流路CRC１、CRC２に連通される。これにより、各圧力室PCで発生した圧力波が、共通供給流路又は共通回収流を介して、隣接する圧力室PCに伝播されるのを防止でき、クロストークの発生を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電体粉末と、バインダと、溶媒とを含むペースト材料を、基板上に印刷した後、焼成することで、圧電素子を製造する方法において、圧電特性を向上する。
【解決手段】単一径の圧電体粉末を用いるのではなく、比較的大径の圧電体粉末と小径の圧電体粉末と混合したペーストを用いる。具体的には、メジアンが０．９μｍのＰＺＴ粉末と、０．３μｍのＰＺＴ−ＰＺＮ粉末とを１：１で混合した粉末を用いた。したがって、焼成前（ａ）と後（ｂ）とを比較すると、大径のＰＺＴ粉末は成長の核になり、小径のＰＺＴ−ＰＺＮ粉末は大径のＰＺＴ粉末に吸収されつつ、流動化が活発で緻密な膜を成膜する。これによって、圧電特性を向上することができる。また、本焼成の温度を１１５０℃から、８５０℃程度にまで下げることができ、基板へのダメージを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】位置ずれを発生させずに圧力室とノズルを高精度に形成する。
【解決手段】基板にノズルストレート部及びノズルテーパー部の領域を規定するための第１のマスクパターンと前記基板に圧力室に相当する空間部の領域を規定するための第２のマスクパターンとを同時に形成するパターニング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第１のエッチングを行い、前記基板にストレート状の貫通孔を形成する第１のエッチング工程と、前記第２のマスクパターンに基づいて第２のエッチングを行い、前記基板に前記圧力室に相当する空間部を形成する第２のエッチング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第３のエッチングを行い、前記圧力室に相当する空間部の前記貫通孔が形成された面のうち、該貫通孔の周辺にテーパー形状を形成する第３のエッチング工程とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工程数が少なく、高精度かつ高アライメント精度で微細パターンを形成できる方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、（１）基板の上に、感光性樹脂からなる第一の樹脂層を形成する工程と、（２）前記第一の樹脂層の上に、第２級または第３級アルキニルアルコールと光酸発生剤とベース樹脂とを含有する第二の樹脂層を形成する工程と、（３）前記第二の樹脂層をパターン露光する工程と、（４）前記第二の樹脂層において前記パターン露光した部分をマスクとして、第一の樹脂層を露光する工程と、（５）前記第二の樹脂層及び第一の樹脂層を除去する工程と、を有する微細パターンの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも拡散防止層による変位量の低下が小さい圧電膜型アクチュエータ、及びその圧電膜型アクチュエータを使った十分な吐出量の確保が可能な液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】 アルミニウムを含有するステンレス基板１０上に下部電極１３、圧電膜１２、上部電極１１からなる３層構造を有する圧電薄膜型アクチュエータであって、前記３層構造はステンレス基板１０の表面を窒化処理して形成した窒化アルミニウム層からなる拡散防止層５の上に形成されている。 （もっと読む）

【課題】流路部材内の空間の利用効率の高い液体吐出ヘッド用流路部材およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供する。
【解決手段】上下面に凹凸を有する第１のプレート２１と、第１のプレート２１の下面の凸と接合されている第２のプレート２２とを有する液体吐出用流路部材４であって、第１のプレート２２の上面の凹部２１ａ内を液体加圧室とし、第１のプレート２１と第２のプレート２２との間の空間をマニホールド５としてなり、前記液体加圧室とマニホールド５とがしぼり１２を介して繋がっており、かつ前記液体加圧室に繋がっている液体吐出孔８を有する液体吐出ヘッド用流路部材である。 （もっと読む）

【課題】キュリー温度が低く、強誘電性能に優れた非鉛系ペロブスカイト型酸化物を提供する。
【解決手段】本発明のペロブスカイト型酸化物は、下記一般式（Ｐ）で表されるものである。
（Ｂｉ_ｘ1，Ｂａ_ｘ2，Ｘ_ｘ３）（Ｆｅ_ｙ1，Ｔｉ_ｙ2，Ｍｎ_ｙ３）Ｏ_３ ・・・（Ｐ）
（式中、Ｂｉ及びＢａはＡサイト元素であり、ＸはＰｂ，Ｂａを除く平均イオン価数２価の１種又は複数種のＡサイト元素である。Ｆｅ，Ｔｉ，ＭｎはＢサイト元素である。Ｏは酸素。０＜ｘ１＋ｘ２＜１．０，０＜ｘ３＜１．０，０＜ｙ１＋ｙ２≦１．０，０≦ｙ３＜１．０，０＜ｘ１，０＜ｘ２，０＜ｙ１，０＜ｙ２。Ａサイト元素とＢサイト元素と酸素のモル比は１：１：３が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。） （もっと読む）

【課題】液滴の吐出量を増加させた液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、複数個の振動体を基板の上面に規則的に配列した構造を有している。基板は、略平坦な上面及び下面を有する板の内部にキャビティとなるキャビティ並びに液体の流路となる吐出孔及び供給孔を形成した構造を有する。キャビティの横幅は基板の上面の側から基板の下面の側へ向かって狭くなる。また、キャビティの深さは、供給孔の側から吐出孔の側へ向かって深くなる。供給孔の側にある相対的に小さな範囲を占める部分において供給穴の側から吐出孔の側へ向かってキャビティの深さが浅くなり、吐出孔の側にある相対的に大きな範囲を占める部分において供給孔の側から吐出孔の側へ向かってキャビティの深さが深くなるようにしてもよい。基板は、キャビティの立体形状に応じた立体形状を有する型をグリーンシートの上面に圧入することを経て作製する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータユニットと流路ユニットとを接着する接着剤の余剰分が圧力室内に入り込むことやアクチュエータユニットの側端面や表面に付着することを抑制する。
【解決手段】流路ユニット１２はプレート１２ａ〜１２ｉの積層体であり、圧力室１６から吐出口１４ａに至る個別流路１４の他、ダミー流路１４ｄが形成されている。プレート１２ａに、圧力室１６と、ダミー流路１４ｄの一端であるダミー圧力室１６ｄとが形成されている。圧力室１６，１６ｄは、流路ユニット上面１２ｘに開口し、上面１２ｘに接着剤を介して固定されたアクチュエータユニット１７により塞がれている。ダミー流路１４ｄはプレート１２ａ〜１２ｄに形成され、ダミー流路１４ｄの空間は、ダミー圧力室１６ｄの開口１６ｂから貫通孔１４ｄｘや凹部１４ｄｙを介して、上面１２ｘに形成された大気開放口まで延在し、大気に開放されている。 （もっと読む）

【課題】樹脂製の筐体に固定するシート状部材の浮きやズレを抑制しながら、筐体からシート状部材を分別しやすくすることが可能なカシメ構造およびこれを用いた液体吐出ヘッドを提供することにある。
【解決手段】樹脂成形品９の表面から突設され、シート状部材３に設けられている固定孔８に通されたカシメピン７の端部を加熱溶融させて形成した膨大部１１によって樹脂成形品９にシート状部材３を固定する固定構造であって、樹脂成形品９の表面であって、カシメピン７の周囲に凹部１２が形成され、樹脂成形品表面の法線方向に沿って膨大部１１を樹脂成形品表面に投影したときの投影像の縁が、固定孔８の外側であって、かつ、凹部１２の内側に位置する。 （もっと読む）

【課題】高密度配置された吐出口のそれぞれに対する液体供給の安定化を実現可能な液体流路が形成された流路ユニットについて、十分な強度を確保する。
【解決手段】流路ユニットには、共通流路及び個別流路を含むインク流路が形成されている。共通流路は主走査方向に長尺であり、副走査方向に互いに離隔して複数配置されている。当該離隔した共通流路間に配置された細長部１２ｅ１は、共通流路の側壁を構成する。細長部１２ｅ１の側壁は、共通流路を横切って配置された連結部１２ｅ２によって、当該側壁に対して副走査方向に対向する端部１２ｅ３の側壁と連結されている。連結部１２ｅ２の表面に、副走査方向に延在する直交部１２Ｒ１を有するリブ１２Ｒが設けられている。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズル孔１１を備えるノズルプレート１０と、封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これら接合膜１５、２５は、それぞれ、エポキシ変性シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥および／または硬化させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】複数の機能液を混合することで接着力が発現する接着剤を用いて、それぞれの機能液を確実に、かつ均一に混合させて、所定の接着力で接着対象どうしを接着可能な接着装置および接着方法を提供する。
【解決手段】接着装置６００は、成膜手段６１０と、超音波印加手段６２０と、押圧手段６３０と、載置手段６４０とを備えている。成膜手段６１０は、例えば上述した液滴吐出ヘッド１を用いればよい。この液滴吐出ヘッド１のリザーバ１００ａ，１００ｂには、２液硬化型接着剤を構成する液状の主剤６１１、硬化剤６１２がそれぞれ導入される。超音波印加手段６２０は、超音波発振素子を備えた超音波照射ユニット６２１から構成されていれば良い。超音波照射ユニット６２１は、載置手段６４０を構成する接着ステージ６４１の方向に向けて超音波を照射する。 （もっと読む）

【課題】第１の基板又は第２の基板と接着剤との間への液体の侵入を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】振動板５０は、第１の基板１０上に形成された酸化シリコンからなる第１の振動板５１と、第１の振動板５１上に形成された第２の振動板５２とを含み、貫通部５３の周囲の振動板５０上には、圧電素子３００と同一の層であるが圧電素子とは分離された層を含む積層膜１１０が設けられ、積層膜１１０の連通部１５側の端部が連通部１５の外側に位置する一方、貫通部５３は第１の振動板５１の表面が露出された露出部５４を有し、貫通部５３を画成する第１の振動板５１の端部が連通部１５の内側に位置し、第２の基板３０の少なくとも第１の基板１０側の表面には酸化シリコンからなる保護膜３６が形成されており、貫通部５３では、保護膜３６と第１の振動板５１とが接着層３５によって接合されていると共に、接着層３５が第１の振動板１０の端面まで連続的に設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】吐出不良を目立たなくすることができる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】各共通インク室７ａａ，７ａｂ，７ｂ〜７ｄは、ノズル列方向の両方の端部からその中央部に向けてインクが供給されるようになっている。そして、前記各共通インク室それぞれにおける第１のインク供給口４７Ａａａ，４７Ａａｂ，４７Ａｂ〜４７Ａｄでのインク流速と第２のインク供給口４７Ｂａａ，４７Ｂａｂ，４７Ｂｂ〜４７Ｂｄでのインク流速とが異なるとともに、隣り合う２つの前記共通インク室における第１のインク供給口どうしでのインク流速が異なり、隣り合う２つの前記共通インク室における第２のインク供給口４７Ｂａａ，４７Ｂａｂ，４７Ｂｂ〜４７Ｂｄどうしでのインク流速が異なる。これにより、隣り合う前記共通インク室どうしでは前記両方の端部から供給されるインクの見かけ上の合流位置が前記ノズル列方向において異なるようになっている。 （もっと読む）

【課題】液体の侵入を抑制してアクチュエーターの破壊を抑制することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口とノズル開口に連通する流路が設けられた流路ユニット５と、流路ユニットに固定されたケース４と、ケースに固定されて流路内に圧力変化を生じさせるアクチュエーターが並設されたアクチュエーターユニットと、を具備し、ケースが樹脂成形材料で形成されていると共に、ケースには補強板６０がアクチュエーターの並設方向に亘って埋設され、ケースの流路ユニットに固定された面とは反対側の面には、補強板が露出された第１露出部６４が設けられ、補強板のアクチュエーターの並設方向両側面には、ノズル開口が開口する吐出面側に凹部６２が設けられ、ケースのアクチュエーターの並設方向の両側面には、補強板の凹部６２によって形成された凸部６３の吐出面側及び側面を含む角部６６が露出された第２露出部６５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、強誘電体からなる圧電素子を有する液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子並びに圧電材料を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、第１電極と、前記第１電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第２電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ及びＭｎを含むペロブスカイト型複合酸化物からなり、強誘電体である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）