【課題】製造ロット毎に室温での硬化時間に差がある接着剤を用いて、効率良く電子部品の隙間を封止する。
【解決手段】第１工程Ｓ３で、接着剤として２液混合により重合を開始するものを用い、重合の開始後に一定時間Ｔ１の予備重合を行う。第２工程Ｓ４で、第１工程で予備重合された接着剤を用いて、各外装部材の隙間に接着剤を充填する。第３工程で、第２工程を経た両外装部材を接着剤硬化温度まで昇温させ、接着剤硬化温度で接着剤が硬化するまで保持する。接着剤の充填による接着エリア内の残存空隙が、第３工程での温度上昇による空気膨張によって前記接着エリアに破裂が発生しない破裂抑制粘度に接着剤がなってから、第３工程を開始する。残存空隙の熱膨張による破裂が抑えられ、接着エリアにボイドの発生が無く、耐久性や耐薬品性が向上する。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつ膜剥がれ等の問題がなく、圧電特性の劣化のない圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５上にジルコニウムからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にビスマスを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】液体中のゴミや異物を捕集した際のフィルターの目詰まりを防止し、ゴミ捕集後も液体流量の低下がなく安定した液体吐出が可能な液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出するための複数の吐出口、及び各吐出口に連通する液体流路を有する被覆樹脂層と、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、及び該液体流路に連通する液体供給口を有する基板とを含むノズルチップを備える液体吐出ヘッドであり、該液体供給口と該液体流路との間にフィルター層が形成されており、該フィルター層が、液体流量を確保するための吐出口径以下の開口径を有する貫通孔と、液体中のゴミを捕獲するための先端を液体供給口側にして該貫通孔よりも液体供給口側に配置される先細状構造体からなるゴミ捕集用突起体とを有するノズルチップを備えた液体吐出ヘッド。およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】従来の構造体より製造が容易な電気接点を有するプリントヘッドを製造する方法、及びプリントヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドを形成するための方法は、複数の圧電素子２０をダイヤフラム３６へ付着することと、ダイヤフラムを覆って侵入型層５０を計量分配することと、複数の圧電素子に物理的かつ電気的に接触するように侵入型層へ複数のパターン化された導電トレース８０を形成することを含むことが可能である。複数のパターン化されたトレースは、例えばフォトリソグラフィ、リフトオフプロセス、レーザアブレーション、他を用いて形成されてもよい。複数のパターン化された導電トレースと複数の圧電素子との間の電気連通は、これらの２構造体間の表面接触を介して、別個の導体を要することなく確立される。 （もっと読む）

【課題】液滴の噴射特性を向上しつつ、コストの上昇を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】シリコンからなる流路形成部材１０，１５と、シリコンからなるノズルプレート２０と、複数の圧力発生室に連通するマニホールド１００を流路形成部材１０，１５とともに画成するマニホールド部材４０と、流路形成部材１０，１５のノズルプレート２０が接合されている面とマニホールド部材４０とに接合され、マニホールド１００を封止する蓋部材１１０と、を備え、蓋部材１１０をノズルプレート２０とは異なる材料で形成するとともに、ノズルプレート２０とは離間して固定する。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の貫通によってダメージを受ける可能性を低減したインク吐出ヘッドの製造方法及びインク吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】板状の基板１１と、基板１１の一方の面に形成された絶縁膜１２ａと、絶縁膜１２ａに形成されたヒーター１３とが準備される。そして、基板１１の一方の面の一部であって、ヒーター１３から離間した第１領域に形成された絶縁膜１２ａが、基板の厚み方向に除去される。そして、耐インク性及び耐異方性エッチング性を有する第１保護膜１４及び第２保護膜１５が、基板１１の一方の面に形成される。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の開口サイズが製造工程によって変動し難く、且つ、エッチングストップ層の除去にドライエッチングが不要なインク吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】
基板１１の一方の面から、基板１１の途中部分まで伸びる凹部１１ａを形成する。凹部１１ａには、基板１１のエッチング液に対して不溶な埋め込み材料１３が埋め込まれる。ヒータ１２及び凹部１１ａを含むインク室が、基板１１の一方の面に形成される。基板１１の他方の面から凹部１１ａに向かってエッチングされ、インク供給口Ｂが形成される。埋め込み材料１３を可溶であって、基板１１に対してエッチング性を有さない溶媒を用いて、埋め込み材料１３が除去される。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体室となるリザーバの一部を構成するリザーバ部３１及び電導性を有する接続配線２００を有するリザーバ形成基板用ウェハ１３０と、リザーバ部３１と連通してリザーバを構成する連通部１３を含む液体流路及びリザーバ部３１と連通部１３との間を閉塞する配線層１９０を有する流路形成基板用ウェハ１１０と、が接合状態となった後に、上記液体流路に臨む壁面部に保護膜１６を形成する保護膜形成工程を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、保護膜形成工程の前に、配線層１９０を貫通させる貫通工程と、接続配線２００を被覆する被覆膜１４０を形成する被覆膜形成工程と、を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】保護基板を効率よく製造することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、光透過性を有する第１基板１６０の第１面１６２に、感光性を有する第１膜１１０を成膜する工程と、第１面１６２とは反対側の第１基板の第２面１６４に、感光性を有する第２膜１１２を成膜する工程と、ハーフトーンマスクを用いて、第１膜１１０の第１部分１１０ａおよび第２膜１１２の第２部分１１２ａをともに感光させる第１光Ｌ１と、第１膜１１０の第３部分１１０ｂを感光させる第２光Ｌ２とを照射し、第１膜１１０および第２膜１１２を露光する工程と、現像された第１膜１１０および第２膜１１２をマスクとして、第１基板１６０をエッチングすることにより、第１基板１６０に貫通孔を形成し、かつ第１基板１６０の第１面１６２に凹部を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、基板面に対してほぼ垂直に形成され、側壁から堆積膜が除去された液体供給口を有する液体吐出ヘッド用基板を効率良く生産することができる製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板に液体供給口を形成することを含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、（ａ）前記シリコン基板の表面であって前記液体供給口を形成する部分にエッチングストップ層を形成する工程と、（ｂ）前記シリコン基板の裏面に形成されたエッチングマスクを用いて、前記シリコン基板の裏面側からボッシュプロセスを用いたドライエッチングを前記エッチングストップ層に到達するまで実施することにより、前記液体供給口を形成する工程と、（ｃ）前記エッチングストップ層と前記液体供給口内の堆積膜とを同時に除去する工程と、を含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】簡易な成膜装置によって、被成膜基材の表面に、シランカップリング剤の被膜を均一且つ強固に形成することができ、また、一の成膜サイクル終了から次の成膜サイクル開始までに要するリセット時間が短く、連続処理を好適に行うことができるシランカップリング剤の成膜方法、及び、これを用いるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】チャンバー３０１の内部にシランカップリング剤ガスを導入し、チャンバー３０１の内壁３０１ａにシランカップリング剤を吸着させる第１の工程と、チャンバー３０１内に被成膜基材１２５を導入し、チャンバー３０１にシランカップリング剤ガスを導入することなくチャンバー３０１内に被成膜基材１２５を放置し、内壁３０１ａから脱離したシランカップリング剤を被成膜基材１２５の表面に成膜する第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出装置における液体流路の流路抵抗のばらつきを補正する。
【解決手段】内部にインク流路が形成された流路ユニットを形成し（Ｓ１０１）、流路ユニットに圧電アクチュエータを接合した（Ｓ１０２）後、インク流路内に第１エッチング液を充填し（Ｓ１０３）、ノズル１５から第１エッチング液を吐出させて、ノズルからの第１エッチング液の吐出速度を測定し（Ｓ１０４）、続いて、測定された吐出速度が速いノズル１５からほど多量の第１エッチング液を吐出させて、ノズルの壁をエッチングする（Ｓ１０５）。次に、インク流路内の第１エッチング液を第２エッチング液に置換し（Ｓ１０６）、ノズル１５から第２エッチング液を吐出させて、ノズルから吐出される第２エッチング液の体積を測定し（Ｓ１０７）、続いて、測定された体積が小さいノズル１５からほど多量の第２エッチング液を吐出させて、絞り流路の壁をエッチングする（Ｓ１０９）。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの変位の低下を抑制しつつ、アクチュエータを好適に保護できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ヘッド５は、上面２１ａに形成された凹部により加圧室３１が構成された基体２１と、加圧室３１を塞ぐように上面２１ａに重ねられ、加圧室３１側への撓み変形を生じるアクチュエータ２３と、アクチュエータ２３に重ねられた保護層４７とを有する。保護層４７は、平面透視において加圧室３１の縁部内側から縁部外側に跨る外周部５１を有するとともに、平面透視において加圧室３１の中央側の一部に重なる領域が開口４９とされている。 （もっと読む）

【課題】液体流路を高精度に形成することができると共にコストを低減することができる
液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエーター３００が一方面に形成された流路形成基板１０の他方
面にクロムが含有されたマスク５２を形成すると共にパターニングする工程と、前記流路
形成基板１０を他方面側から前記マスク５２を介して異方性エッチングすることにより、
液体流路１２等を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】配向制御層を成膜する際に全面成膜することなく必要な部分だけパターニングして成膜でき、配向制御層を薄膜化できる電気機械変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の電極４１と、配向制御層４２と、電気機械変換膜４３と、第２の電極４４とを積層して成る電気機械変換素子４０を製造する電気機械変換素子の製造方法において、第１の電極４１の表面側に配向制御層４２を形成する配向制御層形成工程で、第１の電極４１の表面側に液体吐出ヘッドのノズルを対向させるとともに、ゾルから成る配向制御層前駆体溶液を吐出することにより第１の電極４１に配向制御層前駆体溶液を塗布し、塗布した配向制御層前駆体溶液を熱処理して第１の電極４１上で結晶化するゾルゲル法により、第１の電極４１に配向制御層４２を形成する。 （もっと読む）

【課題】コストアップすることなく、共通電極の抵抗低減効果が大きい抵抗低減部を有する液滴吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】複数のノズル孔を有するノズル板と、
圧電素子を収納する凹部と液供給路とを有する第一の基板と、
前記ノズル孔と連通する複数の圧力室と振動板とを有する第二の基板と、
共通電極と個別電極と圧電体とを含み、前記振動板を介して形成される複数の圧電素子と、
を備える液滴吐出ヘッドであって、
前記第一の基板または前記第二の基板のいずれか一方又は両方に、前記共通電極又は前記共通電極に接続する共通配線の一部が露出し、かつ、前記複数の圧電素子の、少なくとも一部の複数の圧電素子にまたがる開口部が形成され、前記開口部には、前記共通電極または前記共通配線の一部に接続するように導電性ペーストが設けられる液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエーターの破壊を抑制して、圧力発生室と圧電アクチュエーターとの相対位置を高精度に位置決めすることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】遮光性を有する材料で形成された流路形成基板２２に圧力発生室２１を形成する工程と、該流路形成基板にセラミックシート２３を貼付する工程と、前記セラミックシート上に感光性フォトレジスト７０を塗布し、前記流路形成基板の前記圧力発生室が開口する他方面側から光を照射することで、前記流路形成基板をマスクとして露光し、現像する工程と、前記流路形成基板の前記感光性フォトレジスト側に亘って第１電極を形成すると共に、前記感光性フォトレジストを剥離することで、当該第１電極をパターニングして、前記圧力発生室に相対向する領域に前記第１電極を形成する工程と、前記第１電極上に、圧電体層と、第２電極とを形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電アクチュエーター等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電アクチュエーターは、基面を有する振動板と、前記振動板の前記基面の上に形成された第１電極と、前記振動板の前記基面の上および前記第１電極の上に形成された圧電体層層と、前記圧電体層層の上において、第１の方向に延びるように形成された第２電極と、を含み、前記第２電極は、第１の幅を有する第１の部分と、前記第１の幅よりも小さい第２の幅を有する第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分とを接続する第３の部分と、を有し、前記第１電極は、前記基面の法線方向から見た平面図において前記第１電極の外周をなし、第１の方向と直交する第２の方向に延びる、第１の辺を有し、前記第２電極の前記第３の部分は、前記第１電極の前記第１の辺の上方に配置され、前記第３の部分の第３の幅は、前記第１の部分から前記第２の部分へ向かうほど狭くなる。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制し、高密度化して小型化が可能なインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】圧電素子１２０が形成されている振動板１１２ａ上に、第一の開口部１３１ａがある第一の絶縁膜１３１及び第二の開口部１３２ａがある第二の絶縁膜１３２が順次積層されており、第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、個別電極１２３から第一の配線が引き出され、第一の配線上に、第三の開口部１３３ａが形成されている第三の絶縁膜１３３が形成されており、第三の開口部を介して、第一の配線１４０と駆動回路を電気的に接続する第二の配線１５０が引き出され、第三の絶縁膜は液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、第二の絶縁膜の、第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が５〜４０ｎｍで、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が１００ｎｍ以上のインクジェットヘッド１００。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドを精度良く所定位置に配置して液滴の吐出精度が向上し、かつ大
型化を抑えた液体噴射ヘッドユニットの製造方法、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射
装置を提供する。
【解決手段】記録ヘッド３０に設けられた自己封止ユニット３７には、インクを吐出する
ノズルが形成されたノズル形成面に交差する本体６２のヘッド側面６９にフィルム６０が
設けられている。フィルム６０の端部６０ａは、本体６２のヘッド側面６９の外縁部より
も外側に突出している。このフィルム６０の端部６０ａを記録ヘッド３０側に屈曲させ、
その後、記録ヘッド３０をサブキャリッジ２０の所定位置に配置してヘッドユニット４０
とする。 （もっと読む）