【課題】高い信頼性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に形成され、第１のヤング率を有する圧電体層２０と、電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、第１のヤング率より大きい第２のヤング率を有する絶縁体層４０と、を含み、圧電体層２０は、第１電極１０と第２電極３０とに挟まれた部分２２を有し、挟まれた部分２２の外側に、絶縁体層４０が隣接している。 （もっと読む）

【課題】凹部の底面形状を精度良く識別する。
【解決手段】プレート１２２上にアクチュエータユニットを接着する際の位置合わせ用のマーカである凹部１８０ａ，１８０ｂがプレート１２２，１２３に形成されている。凹部１８０ａ，１８０ｂは、円形の開口端縁１８５ａを有する柱状穴部１８１と、環状の開口１８３を介して柱状穴部１８１に接続した環状穴部１８２とから構成されている。凹部１８０ａ，１８０ｂの底面１８６は、プレート１２２，１２３の積層方向から見て、開口端縁１８５ａの内側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを製造可能な接着剤、かかる接着剤を用いて製造された液滴吐出ヘッド、かかる接着剤を用いて製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着剤を用いて形成された接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着剤は、主材料として脂肪族グリシジルエーテルを含有し、エポキシ成分として実質的に脂肪族グリシジルエーテルのみを含有し、硬化後のヤング率が１．０ＧＰａ以下のものである （もっと読む）

【課題】気泡によって接着剤の外面に窪みが形成されることを抑制できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基材と、アクチュエータと、接着剤と、導電パターンとを備える。前記基材は、実装面を有する。前記アクチュエータは、前記基材の実装面に対向した第１の面と、前記第１の面の反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に跨る一対の側面と、を有する本体と、複数の溝と、前記本体の側面に設けられ、前記基材の実装面に向く接着面を有する接着剤充填部とを有する。前記接着剤は、前記接着剤充填部に充填されて前記アクチュエータを前記基材の実装面に固定し、前記本体の側面に連続する外面を有する。前記複数の導電パターンは、前記本体の側面、前記複数の溝のそれぞれの内面、前記接着剤の外面、および前記基板の実装面に連続して設けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シリコン基板を速やかにエッチングし、犠牲層を良好に除去可能な液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の表面であって液体供給口が開口する部位に、前記シリコン基板に対して選択的にエッチングされるアルミニウムを含有する犠牲層を形成する工程と、前記シリコン基板の裏面に、前記犠牲層に対応した開口部を有するエッチングマスクを形成する工程と、前記エッチングマスクをマスクとして、８質量％以上１５質量％未満のＴＭＡＨ含む第一のエッチング液を用いて、前記シリコン基板をエッチングする第一のエッチング工程と、第一のエッチング工程後に、１５質量％以上２５質量％以下のＴＭＡＨを含む第二のエッチング液を用いて、前記犠牲層を除去する第二のエッチング工程と、を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】変位量の向上した圧電素子とすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に、少なくともビスマス及び鉄を含む前駆体溶液を塗布し、膜厚が１００ｎｍ以下の第１塗布膜を形成する工程と、前記第１塗布膜を加熱し、結晶化させて第１圧電体膜を形成する工程と、前記第１圧電体膜の上方に、前記前駆体溶液をさらに塗布して第２塗布膜を形成する工程と、前記第２塗布膜を加熱し、結晶化させて第２圧電体膜を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金からなる第１電極６０、第１電極６０上に設けられ少なくともビスマスを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０、及び圧電体層７０上に設けられる第２電極８０を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０の第１電極６０側界面には、ビスマス及び白金を含む酸化物からなる酸化物部６５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】製品歩留まりを向上させることのできる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体流路形成工程の後、環状領域１０４よりも内側の第１保護シート１０３の一部を除去する第１保護シートの除去工程と、上記第１保護シートの除去工程の後、環状領域１０４よりも内側の領域に、第２接着層１０７を介して第２保護シート１０６を貼付する第２保護シートの貼付工程と、上記第２保護シートの貼付工程の後、少なくとも第１接着層１０５を除去することができ、且つ、第２接着層１０７及び第２保護シート１０６が耐液性を有する洗浄液１４２ａ，１４３ａを用いて、リザーバ形成基板用ウェハ１３０側を洗浄する洗浄工程と、を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動を効率的に行う液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の一方面側に圧力発生室１２に対応して設けられた第１電極６０、第１電極上に設けられた圧電体層７０及び圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００毎に対して個別に設けられた第１電極６０に電気的に接続されるリード電極９０と、第２電極８０が形成されておらず前記圧電体層７０が露出している領域の、前記第１電極６０が部分的に露出されている領域に、前記第１電極６０に少なくとも一部が接して設けられている導電層８１と、を具備し、リード電極９０は、前記導電層８１を介して前記第１電極６０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】圧電インクジェットプリントヘッドの噴射密度を高めるため、従来のアセンブリより製造が容易な電気相互接続層を有するプリントヘッドの組立て方法を提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドを形成するための方法は、複数の圧電素子２０をダイヤフラム３６へ付着することと、前記ダイヤフラムを覆って侵入型層５０を計量分配することと、複数の導電素子６２を複数の圧電素子へ電気結合することと、侵入型層を硬化することと、を含むことができる。侵入型層内の複数の電気絶縁される導電粒子５４は、複数の導電素子を複数の圧電素子へ電気結合する。導電粒子は、侵入型層誘電体全体に渡って一様に分散されることができ、または各圧電素子の頂面上へ局在化されかつ複数の圧電素子と複数の導電素子との間に挿入されることができる。導電素子は、フレックス回路マニホールドプリント基板６０の一部であってもよい。 （もっと読む）

【課題】均一に形成でき、液体吐出特性を長期間一定に維持することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】シリコンからなり、液体を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０を具備し、前記流路形成基板の、前記圧力発生室が形成され前記液体の流路となる面に、金属シリサイドからなる保護膜が設けられている。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの剥離残りの発生の把握が容易な配線基板の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】レジストパターン１６０を介してリード電極９０及び島状のカウントマーク１２０をパターニングするパターニング工程と、パターニング工程の後、レジストパターン１６０を酸素プラズマによって剥離するアッシング工程と、を有する流路形成基板１０の製造方法であって、パターニング工程では、アッシング工程におけるレジストパターン１６０の剥離特性に基づいて、リード電極９０におけるレジストパターン１６０の剥離時間よりも、カウントマーク１２０におけるレジストパターン１６０の剥離時間を長くするように、カウントマーク１２０の平面形状を設定するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルに連通する圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられて、第１電極６０、該第１電極上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧力発生室の並設方向と交差する方向の少なくとも一方の端部において、前記流路形成基板が薄い一定の厚さとなって当該圧力発生室の深さが浅くなった段差部１１０を具備し、前記圧電体層の前記第１及び第２電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部３２０と前記第１及び第２電極の何れかが存在しないで電界が発生しない非活性部３３０との境界が、前記段差部に対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの性能の低下を抑制でき、生産性の低下を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体が噴射されるノズル開口に通じる流路を有する流路形成部材を備える液体噴射ヘッドの製造方法は、流路形成部材の一部を構成し、プレート状の第１部材の酸化膜を含む第１面に対して、真空中においてイオン及び中性原子の少なくとも一方を照射する工程と、流路形成部材の一部を構成し、プレート状の第２部材の酸化膜を含む第２面に対して、真空中においてイオン及び中性原子の少なくとも一方を照射する工程と、真空中において第１面と第２面とを接触させた状態で第１部材に第２部材を押し付けて第１部材と第２部材とを接合する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 電気特性評価を行う際のコンタクト電極に削除しきれないとコンタクトが得られなくなる
【解決手段】 振動板上に上記圧電素子を半導体プロセスで積層して形成する際には、下電極と圧電体層と上電極を順次積層して圧電素子を形成する。このとき、下電極の一部に平面での形状が先細りとなるコンタクト電極を形成しておく。下電極のパターニング後に圧電素子の素材を塗布して焼成し、更に不要部分をエッチングで除去する。コンタクト電極は下電極の一部に平面での形状が先細りとなるように形成されているため、このコンタクト電極の上に塗布される圧電体層の素材の膜厚はその幅によって変化する。すなわち、コンタクト電極の上に積層された圧電体層の素材は幅狭となるのに従って徐々に薄くなっている。 （もっと読む）

【課題】流路に塗布された接着剤が孔又は凹部に流れ込むのを溝によって抑制しつつ、溝内に落ち込んだエアをパージ時に効率的に排出する。
【解決手段】出口開口１５１と複数のインク供給口１１５ａとの間に形成された共通インク流路の上壁面に逃し溝群１７４が形成されている。逃し溝群１７４は、４つの逃し溝１７４ａ、１７４ｂ、１７４ｃ、１７４ｄからなる。逃し溝１７４ａの外形線は、接着領域１６１と非接着領域１６２との境界であるマニホールド流路１０５を画定する側壁面と実質的に平行になっている。逃し溝群１７４の副走査方向に関する形成範囲は、出口開口１５１及び複数のインク供給口１１５ａの副走査方向に関する形成範囲を包含している。４つの逃し溝１７４ａ、１７４ｂ、１７４ｃ、１７４ｄの外形線は、インクの流動線Ｒの各逃し溝に対応した位置における接線方向と平行な平行部分だけから構成されている。 （もっと読む）

【課題】良好な対クラック耐性を有する液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドは、ノズル孔に連通した圧力発生室を複数有する流路形成板と、前記流路形成板の上方に形成された振動板と、前記振動板の上方に、前記圧力発生室に対応して設けられた第１電極と、前記第１電極の上方に形成された圧電体層と、前記圧電体層の上方に形成された第２電極と、を備えた圧電素子と、複数の前記第１電極と接続した共通導電層と、を含み、前記第１電極は、複数の前記圧電素子の共通電極であり、前記第２電極は、前記圧電素子毎に設けられた個別電極である。 （もっと読む）

【課題】液体の溶媒によるリード電極とフレキシブル配線基板との接触不良が生じるまでの時間の長い液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】インク導入路１１１に連通するインク導入口４５からコンプライアンス基板４０を伝わって、コンプライアンス基板４０に形成された開口部４７の内面４８から保持孔１１３および貫通孔３２に向かうインクの溶媒の流れを、開口部４７を囲むケースヘッド１１０によって妨げることができ、保持孔１１３および貫通孔３２へ漏れる溶媒の量を減少できる。したがって、インクの溶媒が保持孔１３３および貫通孔３２へ漏れるまでの時間を稼ぐことができ、開口部４７の内面４８を囲むケースヘッド１１０が存在しない構成と比較して、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接触不良が生じるまでの時間が長いインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体の溶媒によるフレキシブル配線基板の接続部における接触不良が低減した液体噴射ヘッドおよび噴射装置を提供すること。
【解決手段】マニホールド１００から可撓部４６を通過し、バッファー室４３０に至ったインクの溶媒は、ホルダー開口部４２０の開口方向とは異なる方向に放出される。したがって、インクの溶媒は、ＣＯＦ基板２１０の通されるホルダー開口部４２０、貫通孔３２および保持孔１１３を通じて、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接続部に達しにくくなり、溶媒が接続部に達するまでの時間を稼ぐことができ、溶媒がホルダー開口部４２０の開口方向と同方向に放出される場合と比較して、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接触不良が生じるまでの時間が長いインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルの吐出特性のばらつきを抑制すること。
【解決手段】インクジェットヘッド４は、複数のノズル４０と複数のノズル４０にそれぞれ連通する複数の圧力室３４が形成された流路ユニット２０と、圧力室３４を区画する封止板５０を変形させて複数の圧力室３４内のインクにそれぞれ圧力を付与する圧電アクチュエータ２１を有する。圧電アクチュエータ２１は、複数の圧力室３４にそれぞれ対応する複数の圧電素子５６を有し、これら複数の圧電素子５６の表面には複数のバンプ５９がそれぞれ設けられている。さらに、一部の圧力室３４に対応するバンプ５９が、他の圧力室３４に対応するバンプ５９よりも大きくなっており、封止板５０の、前記一部の圧力室３４に対向する部分の変形が強く抑制される。 （もっと読む）