【課題】下電極の剥がれを抑制し、かつ、高い圧電性をもつ圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュールは、複合基板１と配線基板２との間の空間のうち、平面的な広がりにおいて、絶縁性のスペーサ層ＬＢが、圧電素子層ＬＰが存在しない領域ＮＡと下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧとの双方を覆いつつも圧電素子層ＬＰから離れた範囲でダイヤフラム上に形成され、下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧを固定しつつ複合基板１と配線基板２との上下間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】個別電極と液体加圧室との間に位置ずれが生じても、液滴の吐出特性の変動が少ない液体吐出ヘッドおよび、それを用いた記録装置、ならびに液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の液体吐出孔８にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室１０が開口している流路部材４と、セラミック振動板５２１ａ上に、共通電極５３４、圧電セラミック層５２１ｂおよび複数の個別電極本体５３５ａがこの順で積層されている圧電アクチュエータユニット２１とが積層されている液体吐出ヘッド１３であって、セラミック振動板５２１ａには、複数の液体加圧室１０と対向する流路部材４側の面に、平面形状が液体加圧室１０を内包する形状で、共通電極５３４が露出しない深さで開口している凹部５２１ｃがそれぞれ設けられているとともに、個別電極本体５３４ａの平面形状は、それぞれ凹部５２１ｃより小さい液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きい圧電体膜を製造できる圧電体膜の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂｉ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｂａ及びＴｉを含有し、Ｂｉと、Ｆｅ及びＭｎの総量とのモル比であるＢｉ／（Ｆｅ＋Ｍｎ）が、１．０２以上１．０８以下である圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を加熱して結晶化する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板及び圧電部材に形成される金属皮膜の除去により電極や電気配線を形成するインクジェットヘッドの製造方法において、ショートを確実に検出することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドの製造方法は、基板に対して圧電部材を固定し、前記圧電部材に対して複数の圧力室を形成し、前記基板と前記圧電部材の表面に金属皮膜を形成し、金属皮膜除去手段により、前記圧力室の内面に、第１の電極群に属する互いに導通する複数の電極と、前記第１の電極群とは電気的に絶縁である第２の電極群に属する複数の電極が形成されるように、前記金属皮膜を除去するインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ＫＮＮ薄膜を優先的に（１００）に配向させた、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】ノズル開口６１２に連通する圧力室６２２と、圧電体３０と、圧電体３０に設けられた第１電極１９及び第２電極２０を有する圧電素子１００と、を備えた液体噴射ヘッド６００であって、第１電極１０及び第２電極２０の少なくとも一方は、白金を含み、圧電体３０は、ニオブ酸カリウムナトリウム及び鉄酸ビスマスを含む複合酸化物からなり、ニオブ酸カリウムナトリウムと鉄酸ビスマスのモル数の和に対する鉄酸ビスマスのモル数の比が、３％以上１０％以下であり、かつ、ニオブのモル数に対するカリウムとナトリウムのモル数の和の比が、１０３％以上１１５％以下である。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減した液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法を得ること。
【解決手段】流路形成基板１０としてシリコン単結晶基板を使用する場合と比較して、酸化ジルコニウムを含有する混合液を塗布、焼成して振動板１３を備えた流路形成基板１０を形成する。したがって、振動板の形成工程、シリコン単結晶基板を研削する工程およびシリコン単結晶基板をエッチングするためのマスク膜を形成する工程を省略でき、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。また、シリコン単結晶基板を侵すインクを使用しても、流路形成基板１０が酸化ジルコニウムを含んでいるので、インクからの保護のための保護膜を形成する工程が省略でき、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの内部の液体による破壊を抑制する事ができると共に、液体噴射ヘッドの製造コストを低減することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体が噴射するノズル開口２６が設けられたヘッド本体と、ヘッド本体のノズル開口２６が開口する液体噴射面２７ａに固定されて液体噴射面２７ａのノズル開口２６を露出する露出開口部７１を有する固定板７０と、を具備し、ヘッド本体には、液体噴射面２７ａに開口して、ノズル開口２６に対して位置決めされた位置決め穴５２が設けられていると共に、固定板７０は、位置決め穴５２を塞ぐように液体噴射面２７ａに固定され、固定板７０は、液体噴射面２７ａから庇状に突出する庇部７４を有すると共に、庇部７４には少なくとも２つのヘッド位置決め穴７５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】チャック用フィルムを形成する際に生じる空隙を低減して減圧下での該フィルムの剥がれを低減するとともに安定的な静電チャック行う際に十分な平坦性を該フィルムの表面に形成する保護層付き基板の製造方法及び基板加工方法を提供する。
【解決手段】複数の構造体がそれぞれ間隔をあけて表面に配された基板１１に保護層１６を形成する保護層付き基板の製造方法であって、保護層は樹脂層１４とチャック用フィルム１５とから構成され（１）各構造体間、各構造体表面、および、複数の構造体を有する基板面に、樹脂層を形成する工程と（２）樹脂層上にチャック用フィルムを形成し、保護層を形成する工程とを少なくとも含むことを特徴とする保護層付き基板の製造方法。および保護層付き基板を用いた基板加工方法。 （もっと読む）

【課題】接合層の膨潤片による液体流動への悪影響防止し得る液体噴射ヘッドおよびそれが装備された液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室ユニット２４と、供給口形成基板９と、共通液体室形成基板７と、ノズルプレート６とが層状構造として形成され、供給口形成基板９に、共通液体室２から圧力発生室４に液体を導入する導入流路１３が設けられ、供給口形成基板９および共通液体室形成基板７に、圧力発生室４からノズル開口５に液体を供給する供給流路１４が設けられ、共通液体室形成基板７の導入流路１３側の表面７ａに、共通液体室２と導入流路１３とを連通させる制御流路２５が形成されている。上記構成により、制御流路２５の液体流動の制御により、液体噴射時に液体が共通液体室２に逆流する量を低減させ、圧力発生室４への液体導入時には、液体導入量を増量させる。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の側面において、連続したリークパスが形成されにくい圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極２０と、第１電極２０の上に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上に形成された第２電極４０と、を含み、圧電体層３０の側面は、第１電極２０から第２電極４０に向かう方向に沿って延びる第１の溝３５が複数形成された第１の波状面３２と、第１の波状面３２よりも第２電極４０側に設けられ、第１電極２０から第２電極４０に向かう方向に沿って延びる第２の溝３６が複数形成された第２の波状面３３と、第１の波状面３２と第２の波状面３３との境界領域３４と、を有し、第１の溝３５の第１の間隔は、第２の溝３６の第２の間隔と異なる。 （もっと読む）

【課題】接着剤中に含まれる成分がインク中に溶出することが無く、圧電特性が低下することもない液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体流路を有する流路ユニット７と、前記流路ユニット７とは異なる材料からなる圧電素子９と、前記流路ユニット７と前記圧電素子９との間に配置される中間部材８とを有するインクジェット記録ヘッド３において、前記流路ユニット７と前記中間部材８との接着には熱硬化性接着剤５０が用いられ、前記中間部材８と前記圧電素子９との接着には前記第１の接着剤よりも低温で硬化する接着剤５１が用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングでの基板厚さのバラツキの影響を抑え、供給口おもて面の開口精度を向上させると共に、貫通穴を効率良く形成すること。
【解決手段】開口部を有するエッチングマスク層をシリコン基板の裏面に形成する工程と、該シリコン基板の厚みを測定する工程と、該シリコン基板の裏面から該エッチングマスク層の開口部にレーザ光を照射して該シリコン基板の内部に測定した該シリコン基板の厚みに応じて厚みを変化させた変質層を形成する工程と、該変質層が形成された該シリコン基板に異方性エッチングを施して該基板を貫通せずかつ該基板内部に底面を有する凹部を形成する工程と、該凹部内にドライエッチングを施して、該凹部の底面からこのシリコン基板のおもて面まで貫通する貫通孔を形成する工程とを含むシリコン基板の加工方法。および液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】吐出安定性の向上及び歩留まりを向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力室２１と、複数の圧力室に液体を供給するマニホールド３２が形成されたマニホールドプレート３３と、圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを備え、マニホールドが第１マニホールドプレート３３Ａ及び第２マニホールドプレート３３Ｂが積層されて形成された液体噴射ヘッド１０の製造方法であって、第１マニホールド形成基板に、複数の第１マニホールドプレート３３Ａを形成する工程と、第２マニホールド形成基板に、複数の第２マニホールドプレート３３Ｂを形成する工程と、第１マニホールド形成基板及び第２マニホールド形成基板において同一位置から切り分けられた第１マニホールドプレートと第２マニホールドプレートとを接合する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の配向を容易に制御できる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上方に第１電極１０を形成する工程と、第１電極１０の上方に前駆体溶液を塗布する工程と、前駆体溶液を乾燥および脱脂して、前駆体層を形成する工程と、前駆体層にマイクロ波を照射して前記前駆体層を結晶化し、圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上方に第２電極３０を形成する工程と、を含み、圧電体層２０は、鉛、ジルコニウム、チタンおよびニオブを含む酸化物である。 （もっと読む）

【課題】プリントヘッド、フレキシブル回路、積層体サブアセンブリ及び複数の積層体の位置決め方法を提供する。
【解決手段】プリントヘッドは、本体とサブアセンブリ１４から成る。サブアセンブリは、圧電素子２８、フレキシブルプリント基板３０、キャビティプレート３４、ディセンダープレート３６、音響吸収材３８、スペーサ４０及びオリフィスプレート４２から成り、これらは一体に結合されている。また、これらの部品は、エポキシ等といった接着剤を用いて一体に結合され得る。 （もっと読む）

【課題】第１の基板と第２の基板の接合面の耐エッチング性を高めて、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】第１の基板３のノズル孔２に連通する加圧液室６と該加圧液室６へインクを供給するための共通液室４を有し、加圧液室６に充填されたインクに対してノズル孔２から吐出させるための液滴吐出エネルギーを発生させる圧電体素子７、振動板８が設けられた第２の基板９と、外部からインクが供給される液体供給貫通口１０に連通するとともに、共通液室４とも連通している共通液体供給流路１１を有する第３の基板１２と、が積層されるように接合された液滴吐出ヘッド１において、接合された第２の基板９と第３の基板１２の、少なくとも連通している共通液室４と共通液体供給流路１１の内壁側の接合面Ｃを含む範囲を覆うようにして保護層１９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】電気−機械変換膜のクラックが発生し難い、電気−機械変換膜形成方法を提供する。
【解決手段】第１の電極４２となる基板１上に部分的に表面改質を行う工程と、この電極上にゾルゲル液５をインクジェット方式により部分的に塗布する工程と、部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程と、部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程を繰返し行い所望する膜厚８を得る工程により電気−機械変換膜を形成する電気−機械変換膜の形成方法において、塗布する工程内において、所望パターン領域内でゾルゲル液滴６の着弾時の隣接ドットが、レベリングにより凝集しない間隔で配置されるようにゾルゲル液を滴下する。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板１枚あたりの取り数を多くでき、もにコストダウンを図ることのできるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッドは、ノズル１ａが形成されたノズル基板１と、ノズル基板１と接合されかつ側壁と振動板３とにより区切られた液室２ａとインク導入路２ｂとが形成された液室基板２と、振動板３と一体的に形成されて振動板３を振動させることにより液室に発生した圧力によりノズル１ａからインクを吐出させる電気機械変換素子と、振動板３を介して液室基板２に接合されかつインク供給溝４ａを有する液体供給基板４と、電気機械変換素子に配線部材を介して接合されかつ電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材とを備え、液体供給基板４にインク供給溝４ａを加工形成する際に生じたテーパ状開口の開口面積又は開口幅が小さい面が液室基板２のインク導入路１ｂに対向させて接合されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル板のノズルとなる孔をプレス加工で形成するときにノズル板が塑性変形して接合品質や信頼性が低下する。
【解決手段】ノズル板１は、プレス加工により形成された複数のノズル１１が配列された複数のノズル列１２Ａないし１２Ｄを有する金属板（ノズル基材）３０１で形成され、金属板３０１の両面には、ノズル板３０１に対し圧縮応力を有する膜３６０、３６１が形成され、膜３６０、３６１の厚さは、流路板２と接合される液室面側の膜３６１の方が液体吐出面側の膜３６０よりも厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】感度及び解像性に優れるポジ型レジストをインクジェットヘッドの製造に適用し、インク流路及びインク吐出口の変形、レジストの残存を生じないインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インク流路パターンを形成する工程が、基板上に少なくともフェノール性水酸基を有する樹脂を含有するポジ型レジストを塗布してポジ型レジスト層を形成する工程と、ポジ型レジスト層をパターニングして不溶化処理前のインク流路パターンを形成する工程と、インク流路パターンの上に少なくともビニルエーテル基を２つ以上有する化合物を含有するコーティング剤を塗布する工程と、コーティング剤が塗布されたインク流路パターンを加熱処理して表面が不溶化処理されたインク流路パターンを形成する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）