【課題】ノズル板のノズルとなる孔をプレス加工で形成するときにノズル板が塑性変形して接合品質や信頼性が低下する。
【解決手段】ノズル板１は、プレス加工により形成された複数のノズル１１が配列された複数のノズル列１２Ａないし１２Ｄを有する金属板（ノズル基材）３０１で形成され、金属板３０１の両面には、ノズル板３０１に対し圧縮応力を有する膜３６０、３６１が形成され、膜３６０、３６１の厚さは、流路板２と接合される液室面側の膜３６１の方が液体吐出面側の膜３６０よりも厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】効率よく均一にアンカー効果が得られるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、この基板の表面に形成される圧電体層と、この圧電体層の上に載置され、圧力室が形成される圧電素子と、圧電体層及び圧電素子に形成される導体層と、この圧電素子を囲むように基板に載置される枠体と、圧電素子の側壁の上端部に接着され、ノズル穴を有するノズルプレートと、を備える。圧電素子と圧電体層とは同じ材質により形成され、同時にエッチングされて表面が粗され、その後メッキにより導体層が形成される。 （もっと読む）

【課題】ノズル密度が向上し、かつインクを良好に吐出させることができるインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上の少なくとも複数の流路１５同士を仕切る部分である流路の側壁となる部位に第１の流路形成部材６を形成する。流路１５の型となるパターン（不図示）であって、基板１と第１の流路形成部材６の流路１５の側壁となる部分との上にまたがって形成されており、流路１５の側壁となる部分における一部を被覆し、他の部分を被覆していないパターン（不図示）を形成する。第１の流路形成部材６とパターン（不図示）との上に、第１の流路形成部材６に対応する材料により構成される第２の流路形成部材７を形成する。第２の流路形成部材７に吐出口４を形成する。パターン（不図示）を除去することにより、流路１５を形成する。第１の流路形成部材と第２の流路形成部材とは、ともに感光性樹脂を含有する。 （もっと読む）

【課題】ケースとの接着面の平坦度を確保するとともに十分な接着圧力を得られる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルプレート１７と、圧力発生室２ならびにインク貯留室４が形成されて上記ノズルプレート１７に積層された流路形成部３０と、上記流路形成部３０に積層された振動板１１と、上記圧力発生室２に圧力を発生させる圧電素子６と、上記ノズルプレート１７と流路形成部３０と振動板１１を含む積層体が貼着されるケース部材２３とを備え、上記積層体のケース部材２３と貼着される領域において、上記積層体に、厚みを有するプレート部材としてダンパ室形成板２１を含めたことにより、ケース部材３２との接着面の平坦度が確保されるとともに、ケース部材３２と接着する際に十分な接着圧力を加えることができ、記録ヘッドとケース部材３２との接合強度を十分確保できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、露光量によって発泡室の形状が変動せず、流路形成部材を十分な露光量で硬化させることができ、流路形成部材が耐久性能の高い液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、前記液体を吐出する吐出口と、前記吐出口に連通する発泡室と、を前記エネルギー発生素子の上側にそれぞれ有する流路形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記流路形成部材を構成する材料としてネガ型感光性樹脂を用い、前記発泡室の側壁を構成する第一の像を形成するための第一の露光処理と、前記吐出口の側壁を構成する第二の像を形成するための第二の露光処理とを、前記第一の像の側壁と前記第二の像の側壁とが斜めに交差するように行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、基板１の上方に、第１電極１０を形成する工程と、基板１および第１電極１０の上方に、樹脂層４０を成膜する工程と、樹脂層４０をパターニングして、第１電極１０を露出する工程と、露出した第１電極１０を覆うように、前駆体溶液２０ａを塗布する工程と、前駆体溶液２０ａを焼成により脱脂して、前駆体層を形成する工程と、前駆体層を焼成により結晶化して、圧電体層を形成する工程と、圧電体層の上方に、第２電極を形成する工程と、を含み、樹脂層４０は、前駆体溶液２０ａを脱脂するための焼成温度に対して、耐熱性を有する。 （もっと読む）

【課題】封止部材とデバイス本体との接着力を向上させ、応力による封止部材のクラックや剥離、及び高湿環境での封止部材の剥離等の発生を抑制することができるデバイス、液滴吐出ヘッド、及びデバイスの封止方法を提供する。
【解決手段】プラスチックで形成された第１構成部材２４Ａと、無機材料で形成された第２構成部材２４Ｂとを備えたヘッド本体２４の凹部２８を封止部材３０で封止する。封止部材３０の封止方法は、凹部２８の表面に第１樹脂材料３２を塗布する工程と、第１樹脂材料３２が硬化した後、第１樹脂材料３２の表面側に第２樹脂材料３４を塗布して充填する工程と、を備え、第１樹脂材料３２とヘッド本体２４との接着せん断強度、及び第１樹脂材料３２と第２樹脂材料３４との接着せん断強度が、第２樹脂材料３４とヘッド本体２４との接着せん断強度より大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】ベース材にインク供給・排出用の穴を開けることなく、圧力室にインクを循環供給することで製造コストを低減するとともに、プリント配線の短絡を防止することで信頼性を高めること。
【解決手段】インクを循環供給するためのインク排出穴２５及びインク供給穴２６が設けられた平面部２２を有し、平面部２２に凹部２３が設けられたマニホールド２０と、凹部２３に嵌合されたベース材３０と、ベース材３０に積層配置され、一定方向に沿って設けられたノズル穴６１を有するノズルプレート６０と、ベース材３０とノズルプレート６０の間に配置され、複数のノズル穴６１に対応して設けられた圧力室４３と、圧力室４３の壁部を形成するとともに、圧力室４３の容積を変化させる駆動素子４２とを有するアクチュエータ４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】部品組み立て時に生じた隙間を接着剤を用いて塞ぐ場合であっても、その使用量を少量にできるとともに、他の領域への流出を防止すること。
【解決手段】インクを循環供給するためのインク供給孔２６及びインク排出孔２５が設けられた平面部２２を有し、平面部２２に凹部２３が設けられたマニホールド２０と、凹部２３に嵌合されたベース材３０と、ベース材３０に積層配置されたノズルプレート６０と、ベース材３０とノズルプレート６０の間に配置され、複数のノズル孔６１に対応して設けられた圧力室４３と、圧力室４３の容積を変化させる駆動素子４２とを有するアクチュエータ４０と、ベース材３０とノズルプレート６０の間に配置され、その両端部５１,５２が平面部２２側に突出した枠部品５０とを備え、平面部２２には、インク供給孔２６及びインク排出孔２５との間を仕切る隔壁２２ａと、枠部品５０の外周部に沿って立設された壁部材２８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】高精細化及び高品位の印刷が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁基板と、前記絶縁基板の上においてインク圧力室を隔てて配置された圧電部材と、前記インク圧力室に対向するノズル穴を有するノズルプレートと、前記圧電部材と前記ノズルプレートとを接着する接着剤と、を備え、前記圧電部材は、隣接する前記インク圧力室の間において、前記絶縁基板に接する第１幅の底面と、前記ノズルプレートに接する前記第１幅より小さい第２幅の上面と、を有することを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】変位低下を抑えつつ、基板と下電極との密着性が向上し、安定した駆動の行なえる圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】チタン膜６１と、チタン膜６１上に形成され、膜厚の比が１．５以下の白金膜６２とが、チタンと白金と酸素とを含むＰＺＴ前駆体膜７１とともに焼成される。チタン膜６１の膜厚を４０ｎｍ以下とすることで、ＰＺＴ前駆体膜７１との界面への焼成によるチタンの拡散を抑えることができ、酸化チタンの形成を抑えることができる。また、白金膜６２の膜厚に応じてチタン膜６１の膜厚の下限が決まる。したがって、変位低下を抑えつつ、弾性膜５０および絶縁体膜５５と下電極６０との密着性を向上でき、安定した駆動が行なえる圧電アクチュエーター３１０および圧電アクチュエーター３１０の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】容易に製造することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】一つの実施形態に係るインクジェットヘッドは、複数のノズルを有したノズルプレートと、前記複数のノズルからそれぞれインクを吐出させる複数の駆動素子を有するとともに、前記ノズルプレートに対向した基材と、前記ノズルプレートと前記基材との間に介在された枠状部と、前記枠状部の内側に設けられたインク室と、前記インク室内に連通しインクを供給するように前記基材に設けられた供給流路と、前記インク室内に連通しインクを排出するように前記基材に設けられた排出流路と、を備える。前記枠状部は、前記複数の駆動素子に対応するように前記インク室と連通した複数の第１の開口部と、前記複数の第１の開口部の全部に亘るとともに前記複数の第１の開口部と前記排出流路とを接続した一つの第２の開口部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】安定した性能のインク吐出ヘッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】犠牲層形成工程の後に、犠牲層５４の上面が平坦になるように、流路壁５３の上端面から離間する位置まで犠牲層５４を削除し、基板５１を犠牲層溶解液に浸漬させて、流路壁５３の上端面が露出するまで、犠牲層５４を溶解させて、流路壁５３の上端面及び犠牲層５４上面を平坦面にする。 （もっと読む）

【課題】圧力チャンバの空間を減らすための突出部を備えてインクジェットプリントヘッドの駆動電圧を低めることができ、突出部をＳＯＩウエハーからなる下部基板の上部シリコン層に形成して、製造工程を簡素化したインクジェットプリントヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明はインクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関し、本発明によるインクジェットプリントヘッドは、圧力チャンバが形成される上部基板、及び上部シリコン層、絶縁層、及び下部シリコン層を含む下部基板を含み、前記下部基板は前記上部シリコン層からなって、前記圧力チャンバの空間を減らすために前記圧力チャンバ内に突出される突出部を含み、前記上部基板の底面と前記下部基板の前記下部シリコン層の上面が固定されることができる。 （もっと読む）

【課題】バンプの位置ずれや広がりによる活性部の領域の拡大を抑制する。
【解決手段】圧電層１７ａの表面１７ａ１には、個別電極１８ａ及びこれに接続した導電性のランド１８ｂが形成されており、さらに、ランド１８ｂを除く領域に、圧電層１７ａより比誘電率の低い低誘電層１７ｘが形成されている。ランド１８ｂの先端面における低誘電層１７ｘから露出した部分に、導電性のバンプ１８ｄが形成されている。ランド１８ｂはバンプ１８ｄを介してＦＰＣの端子と接合される。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップが大型化することなく、ヘッドチップ上の限られたスペースに電流密度の小さな共通電極を備えた独立駆動型のインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】ヘッドチップ１は、後面に、駆動チャネル１１Ａ、１１Ｂ内の駆動電極と導通する接続電極が形成され、前面に、複数のダミーチャネル１２Ａ、１２Ｂ内の駆動電極と共通に導通する共通電極１７Ａ、１７Ｂが形成されていると共に、駆動チャネル１１Ａ、１１Ｂ及びダミーチャネル１２Ａ、１２Ｂの他に、前面から後面に貫通する貫通孔１６Ａ、１６Ｂを有しており、共通電極１７Ａ、１７Ｂは、貫通孔１６Ａ、１６Ｂ内を通ってヘッドチップ１の後面に引き出されている。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１１０）面に結晶が強配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合した混合溶液にプロピレングリコールを添加した圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドに用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化してもインク等の液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れた、さらに好ましくはより薄い保護層を提供すること。
【解決手段】基体と、該基体に形成された発熱抵抗層と、液体の流路と、該発熱抵抗層に積層され、その端部が該発熱抵抗層上で段差部を形成する配線層と、該発熱抵抗層と該段差部を含む該配線層とを覆い、該発熱抵抗層と該流路との間に配された複数の保護層と、を有する液体吐出ヘッド基体において、複数の該保護層のうち最も該流路に近い保護層が、Ｃａｔ−ＣＶＤ法により形成された窒化シリコン系の膜であり、複数の該保護層のうち最も該発熱抵抗層に近い保護層が、プラズマＣＶＤ法により形成された、ＳｉＯ膜、もしくは窒化シリコン系の膜であることを特徴とする液体吐出ヘッド基体。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１００）面に優先配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合して得られる圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光を照射することで複数の部材を接合することにより液体吐出ヘッドを製造する場合に、接合面における面精度の高い液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 第一の部材１と第二の部材２とを当接する当接工程においては、第一の部材１及び第二の部材２のうちのいずれか一方に設けられ、第一の部材１と第二の部材２とが当接される当接部とは別に設けられた突出部８と、第一の部材１及び第二の部材２のうちの他方の部材と、が当接しない。レーザー光を照射して供給路を形成する形成工程においては、突出部８と他方の部材とが当接する。 （もっと読む）