【課題】液体の侵入を抑制してアクチュエーターの破壊を抑制することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口とノズル開口に連通する流路が設けられた流路ユニット５と、流路ユニットに固定されたケース４と、ケースに固定されて流路内に圧力変化を生じさせるアクチュエーターが並設されたアクチュエーターユニットと、を具備し、ケースが樹脂成形材料で形成されていると共に、ケースには補強板６０がアクチュエーターの並設方向に亘って埋設され、ケースの流路ユニットに固定された面とは反対側の面には、補強板が露出された第１露出部６４が設けられ、補強板のアクチュエーターの並設方向両側面には、ノズル開口が開口する吐出面側に凹部６２が設けられ、ケースのアクチュエーターの並設方向の両側面には、補強板の凹部６２によって形成された凸部６３の吐出面側及び側面を含む角部６６が露出された第２露出部６５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの組み立てにおいて、接合部の耐湿性を確保しつつ、アクチュエータの駆動を妨げることなく接合を行った上で、微細寸法の接合部に十分な強度を持たせ、信頼性の高い部材接合を実現する。
【解決手段】少なくとも２つの部材を接合する部材接合方法であって、前記部材は、少なくとも２つ以上の接合部を有し、金属製で、異なる線膨張率を有する複数の接合材料を、前記各接合部に対して、少なくとも２箇所以上の接合部において前記接合材料の線膨張率が異なるように付与し、前記接合部に付与された接合材料を加熱、溶融して接合することを特徴とする部材接合方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく且つ比誘電率が高い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層７０と、圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを具備する圧電素子３００を備えた液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０は、膜厚が３μｍ以下であり、鉄酸マンガン酸ビスマス及びチタン酸バリウムを含むペロブスカイト型化合物を含有する圧電材料からなり、（１１０）面に優先配向し、且つ、この（１１０）面に由来するＸ線の回折ピークの半値幅が０．２４°以上０．２８°以下である。 （もっと読む）

【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】流路形成基板と封止基板とを貫通し、流路形成基板と封止基板との断面が共通の液体室に露出した接合部において、弾性膜にクラックが発生するという課題がある。
【解決手段】シリコン材料からなる隔壁１１により形成された流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方の面に形成されてシリコン酸化物を含む弾性膜５０と、圧電素子と接続するリード電極を構成する、金属層９２及び下地層９１と同一の材料を含み、弾性膜５０の一方の面に形成された積層体層と、流路形成基板１０の一方の面に接着層３５を介して接合された封止基板３０と、を備え、流路形成基板１０と封止基板３０とを貫通して液体流路に連通する共通の液体室と、弾性膜５０が接着層３５に覆われる第１の断面部Ｒ１とが形成され、第１の断面部Ｒ１は、隔壁１１の共通の液体室側の端部ｔ２よりも圧電素子側に形成されている液体噴射ヘッドを提供する。 （もっと読む）

【課題】インク流路内に気泡が滞留することに起因するインク吐出効率の低下を招くおそれがなく、高画質の画像記録を行うことのできるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ガラス基板１とシリコン基板２とが積層一体化された積層体１０と、インクが供給される圧力室４と、該圧力室４内のインクを吐出させるノズルとを有すると共に、前記圧力室４から前記ノズルの出口７に向かうインク流路が前記ガラス基板１と前記シリコン基板２とに亘って貫通形成されてなるインクジェットヘッドにおいて、インク流路のうちガラス基板１に貫通形成される部分の出口側の内面は、出口に向けて次第に拡径する形状を有しており、ガラス基板１からシリコン基板２にかけて貫通形成されたインク流路のうち、ガラス基板１に貫通形成される部分の出口直径をＤ１、前記シリコン基板２に貫通形成される部分の入口直径をＤ２としたとき、Ｄ１≦Ｄ２である。 （もっと読む）

【課題】絶縁材料からなるノズルプレートを有する液体噴射ヘッドを具備していても静電
気の悪影響を抑制することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口３０を有するとともに高絶縁材料で形成されたノズルプレート３
１と、圧電素子３６により圧力発生室２３内に圧力変動を生じさせて前記ノズル開口を介
して液滴を噴射する記録ヘッド本体２１と、該記録ヘッド本体２１上に固定された絶縁材
料からなり記録ヘッド本体２１に前記液体を供給するためのインク導入路４７を有するヘ
ッドケース２２とで構成される液体噴射ヘッド１であって、ヘッドケース２２には、その
内部に形成されたインク導入路４７の内周面を含め、表面全体に金属メッキ層５５が形成
されている。 （もっと読む）

【課題】接着剤が硬化して流路形成基板と封止基板との間に接着層が形成される前に、流路形成基板と封止基板との間から接着剤が流れ出してしまうという課題がある。
【解決手段】シリコン酸化物層を含む弾性膜と液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室とが形成された流路形成基板と、弾性膜上に形成された圧電素子を封止する封止基板と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、流路形成基板用ウェハと封止基板用ウェハとの、マスクパターンの開口領域となる接合面にポリアミド系樹脂である接着剤を塗布する接着剤塗布工程Ｓ１０と、接着剤が所定の第１の温度になるように加熱する第１の加熱工程Ｓ２０と、マスクパターンを除去し、接合面で接着剤を介して流路形成基板用ウェハと封止基板用ウェハとを当接する当接工程Ｓ３０と、接着剤が所定の第２の温度になるように加熱する第２の加熱工程Ｓ４０と、を含む液体噴射ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】狭隘な溝内に形成された電極に対して、フレキシブル基板の接続部を容易に、かつ確実に導通可能に接続したフレキシブル基板の実装構造、液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】フレキシブル基板５００は、一端側が溝部に入り込み、端子部５１２で圧電素子３００の上電極膜（電極）８０と電気的に接続される。フレキシブル基板５００の端子部５１２には、このフレキシブル基板５００の下面５００Ａに形成されている配線パターン（導電部）５１０の延長方向に対して略直角な、フレキシブル基板５００の幅方向に沿って山折して屈折させた屈折部５１３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子のヒステリシス特性のばらつきの少ない圧電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】上電極８０とリード電極との密着性を高めるスパッタエッチングにおいて、上電極８０の表面を、Ａｒガス流量を６０ｓｃｃｍ以上で導入しながらスパッタエッチングすることにより、Ａｒガスの導入によるＡｒガスの流れによって、Ａｒイオンの上電極８０表面での滞留時間を短くできる。したがって、イオン化したＡｒガスが表面に滞留することによる上電極８０のチャージアップを抑えることができ、チャージアップによる圧電素子３００への影響を少なくでき、圧電素子３００の圧電体層７０のヒステリシス特性のばらつきおよび変位特性のばらつきの少ない圧電アクチュエーターの製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置において液体をガス抜きするのに用いられる方法および物品が開示されている。
【解決手段】液滴吐出デバイス２０は、ノズル開口部２１５から液滴を吐出するために、その中の流体が加圧される流路２２０と、流体貯留領域４７、真空領域４９および流体貯留領域と真空領域との間の仕切りを含む脱気器４５とを備えている。脱気器の仕切りは、湿潤層５２、非湿潤層５４、および湿潤層と非湿潤層とを通って延在する１つ以上の通路６０を含む。湿潤層は流体貯留領域に露出されている。 （もっと読む）

【課題】圧電層におけるランドに対向する領域のクラックを高精度に検出可能とする。
【解決手段】圧電層１７ａの上面には、圧力室１６毎の独立電極１８が形成されている。独立電極１８は、圧力室１６に対向する表面電極１８ａ、引き出し電極１８ｂ、及び、引き出し電極１８ｂの先端に配置されたランド１８ｃを含む。ランド１８ｃはＦＰＣの端子と接合される。圧電層１７ａの下面には、内部電極１９が形成されている。内部電極１９は、圧力室１６毎に設けられた個別電極１９ａ、ランド１８ｃ毎に設けられた検出電極１９ｂ、個別電極１９ａと検出電極１９ｂとを接続する延出電極１９ｃ、及び、延出電極１９ｃと並列に配置された予備電極１９ｄを含む。検出電極１９ｂは、ランド１８ｃと対向する領域の輪郭に沿って当該領域を囲むように延在した外周部を有する、一筆書き状の電極である。 （もっと読む）

【課題】所望の特性の圧電セラミックス膜を容易に製造できる圧電セラミックス膜の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電セラミックス膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】Ｚｒ，Ｔｉ及びＰｂを有する錯体と溶媒とを有し、錯体のＺｒ，Ｔｉ及びＰｂの配位子が同一で且つ前記配位子が溶媒と同じものである圧電セラミックス膜形成用組成物により圧電セラミックス前駆体膜を形成する工程と、前記圧電セラミックス前駆体膜を加熱して結晶化する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの耐久性悪化を抑制しつつ、メニスカスを振動させて記録品質を良好に保つ。
【解決手段】記録吐出動作用とメニスカス振動用（不吐出フラッシング用）とに役割分担された２つの圧電層をアクチュエータに設ける。記録吐出動作用の圧電層には、画像データに基づいて吐出口からインク滴を吐出させる吐出駆動信号に対応する電圧を印加する。不吐出フラッシング用の圧電層には、メニスカスを振動させる不吐出駆動信号に対応する電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】第１の貫通口と連通する複数の第２の貫通口が形状精度よく形成された構造体を歩留まりよく得ることが可能なシリコン基板の加工方法を提供する。
【解決手段】第１のシリコン基板１０２と、第２のシリコン基板１０１と、第１のシリコン基板１０２と、第２のシリコン基板１０１との間に設けられ、複数の凹部１０９が設けられた中間層１０３と、の組を用意し、第１のシリコン基板１０２の中間層１０３との接合面の裏の面側から、第１のマスクを使用して第１のシリコン基板１０２をエッチングして第１の貫通口１０７を形成し、中間層１０３の複数の凹部１０９に対応する部分を露出させ、凹部１０９の底部部分を除去して中間層に複数の開口を形成し、開口が形成された中間層をマスクとして第２のシリコン基板１０１に第２のエッチングを行うことにより第２の貫通口１０８を形成する。 （もっと読む）

【課題】インク等の液滴が電気浸透することにより、圧電素子が短絡する可能性を抑え、且つ、圧電素子の駆動により生じる変位を、効率よく圧力発生室へ伝達させることが可能な液滴浸透保護部を備える液滴噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】アクチュエータ３０と、圧力室１９を備えたキャビティユニット１０との間に、４層の応力緩和層２１ａ〜２１ｄと、３層のストップ部材２２〜２４とが交互に配置され、複数の１層目ストップ部材２２により、圧力室１９の開放面に対応する領域が覆われ、１層目ストップ部材２２により覆われない領域が、２層目ストップ部材２３と３層目ストップ部材２４により覆われる。 （もっと読む）

【目的】上下２段に配置した圧力室の間に共通の配線層を配置することにより、高密度化及び小型化と工数の簡略化とを同時に図ることができると共に、上下の各圧力室を独立して動作させることが可能なインクジェットヘッドの提供。
【構成】圧力発生手段によってインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドであって、第１の圧力室11が形成され、該第１の圧力室11の壁面の一部を形成する第１の振動板13に配設された第１の圧力発生手段を有する第１の層10と、第２の圧力室21が形成され、該第２の圧力室21の壁面の一部を形成する第２の振動板23に配設された第２の圧力発生手段を有する第２の層20と、前記第１の層10の前記第１の圧力発生手段及び前記第２の層20の前記第２の圧力発生手段にそれぞれ電圧を印加する配線が形成された配線層30とを有し、前記配線層30は、前記第１の層10と前記第２の層20との間に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接着力を向上すると共に、液体の侵入による破壊や接着剤が異物となるのを抑制できる液体噴射へッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】シリコン酸化膜５０側に圧電素子３００が形成された第１の基板と、一方面にシリコン酸化膜３２が形成された第２の基板３０と、を有し、第１の基板と前記第２の基板３０とが、それぞれシリコン酸化膜５０、３２側が互いに接着剤３５を介して接合された接合領域Ｓを有し、接合領域Ｓには、シリコン酸化膜５０、３２同士が互いに接着剤３５を介して接合された第１接合領域Ｓ１と、第１の基板１０のシリコン酸化膜５０側に設けられて、圧電素子３００及び圧電素子３００に接続された配線と同じ層構造であって、少なくとも圧電素子３００及び配線とは電気的に接続されていない積層体４００が設けられた第２接合領域Ｓ２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドの製造時に、酸化シリコンの層を供給口を作成する時のエッチングマスクとすると、供給口の端部に酸化シリコンの層が突出して残ってしまう。このような突出部が存在していると、液体吐出ヘッドの実装や組み立て中に折れて吐出口等に詰まり、液体吐出ヘッドの信頼性を低下させてしまう可能性がある。
【解決手段】 酸化シリコン層のマスク１３を有するシリコン基板１に、酸化シリコンとシリコンとのエッチング選択比が大きく、酸化シリコン層をエッチングしにくいエッチング液を用いて凹部１０ａを設ける。次に、酸化シリコンとシリコンとのエッチング選択比が小さいエッチング液を用いて、酸化シリコン層１３を除去し、かつ、凹部１０ａを貫通させて供給口１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】圧電体層にダメージを生じさせにくく、簡易な工程で圧電素子を製造することができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、基板１の上に第１導電層１０を形成する工程と、少なくとも第１導電層１０の上に圧電体からなる圧電体層を形成する工程と、圧電体層の上に第２導電層を形成する工程と、を含み、圧電体層を形成する工程は、感光性樹脂、圧電体の原料、および溶媒を含有するインクを塗布してインク層２２ａを形成する工程と、インク層２２ａに露光および現像を行い、インク層２２ａを圧電体層のパターンに対応するパターンにパターニングする工程と、パターニングされたインク層から、少なくとも溶媒を除去する工程と、パターニングされたインク層を熱処理することにより、原料を圧電体とする工程と、を含む。 （もっと読む）