【課題】ノズルへの異物詰まりを防止する。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル４と、該ノズル４に連通する個別流路６と、液体が個別流路６に至る途中に設けられたフィルタ１０と、を少なくとも備えた液滴吐出ヘッド１において、フィルタ１０は、ノズル４から液滴を排出する方向に液体を流した場合と、ノズル４から液体を供給する方向に液体を流した場合とでは、捕捉できる異物のサイズが異なるものとしている。 （もっと読む）

【課題】配線部材の劣化を防止しつつ、ヘッド強度を保ち、ヘッドの大型化、コストアップを防ぐことのできるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】第１板状部材１０と、第１板状部材１０の主面１１の面積に比べて面積の小さい主面を有し、第１板状部材１０の第１領域１５に積層された第２板状部材２０と、電気機械変換素子２７の駆動電源を供給する配線部材５０と、第２板状部材２０の縁部のうち、第１板状部材１０の縁部１４より内側に位置する縁部２４に形成され、配線部材５０と電気的に接続する接続端子２９と、第１板状部材１０よりも上位に積層された第３板状部材３０に接合する第１接合面４２と、第１板状部材１０のうち第２板状部材２０が積層されていない第２領域１６に接合する第２接合面とを有するフレーム部材４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】撥液層の端部位置精度が良く滴吐出特性のばらつきが少なく、かつインク充填性及び気泡排出性の良いインク滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔が存在するノズル部領域と、ノズル孔に連通する液室の少なくとも一部が存在する液室部領域と、液室内の液体を加圧してノズル孔から液滴を吐出するための圧力発生手段とを備え、前記ノズル孔の液室側とは反対側の吐出面側に撥液層が形成された液滴吐出ヘッドを製造する方法において、前記ノズル部領域と前記液室部領域とを共通組成の材料を用いてノズル・液室部材として一体に形成するプロセスと、一体形成されたノズル・液室部材の上記吐出面側と反対側に、導電性構造体を密着してこれらを接地して保持するプロセスと、撥液剤を微粒子化した上で帯電させるプロセスと、帯電した微粒子化撥液剤を前記吐出面側に塗布して撥液層を成膜するプロセスとを有する。 （もっと読む）

【課題】振動板部材の振動領域と圧電素子との接合信頼性を向上し、滴吐出特性の安定化を図ることができる液体吐出ヘッド用振動板部材の提供。
【解決手段】振動板部材３の振動領域３１には第１凸部３２が形成され、各液室２２の間の隔壁（液室間隔壁）１２２に対応して第２凸部３３が形成され、第１凸部３２には圧電部材４２の駆動柱１４２ａが接合され、第２凸部３３には圧電部材４２の非駆動柱１４２ｂが接合され、振動領域３１は液室間隔壁１２２と接合する液室間隔壁接合部３５よりも液室２２と反対方向に膨らんで形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動板部材を電鋳で形成するときに圧電部材と接合する凸部のオーバーハング形状部を小さくすると凸部高さが確保できず、接合領域が狭くなり、薄肉部を狭くすると応答性が悪くなる。
【解決手段】振動板部材２は凸部２Ｂを構成する二段の電鋳膜である第２層２ｂ、第３層２ｃは、いずれも、パターンエッジ部分が薄肉部（第１層）２ａに対してオーバーハング形状で形成されているオーバーハング形状部１０１、１０２を有し、第２層２ｂ、第３層２ｃの積み重ね方向に沿う方向における断面において、第３層２ｃ（二段目の電鋳膜）のオーバーハング形状部１０２の第２層２ｂ（一段目の電鋳膜）のオーバーハング形状部１０１の弓形状の外周面１０１ａと対向する側（対向面）１０２ａは弓形状をなし、かつ、二段目のオーバーハング形状部１０２の先端１０２ｂは、第３層２ｃと第２層２ｂとの連結部分１１２よりも薄肉部２ａ側に位置している。 （もっと読む）

【課題】高密度ノズル化した液滴吐出ヘッドにおいて、吐出効率及び画像品質を改善できる液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】画像形成に用いられる記録液の液滴を吐出する複数のノズルを含むノズル板と、各ノズルと連通する加圧液室を複数形成する流路板と、加圧液室の一壁面を構成するとともにダイアフラム部が配置された振動板３と、加圧液室を加圧するエネルギーを発生する圧電素子とを備えた液滴吐出ヘッドであって、ダイアフラム部５１は、圧電素子と当接してエネルギーを加圧液室に伝達するアイランド部５１ｂと、アイランド部５１ｂの周囲に、加圧液室に対応する部分の変形を容易にする第１の薄肉部５１ｃ、５１ｄと、を有し、アイランド部５１ｂには、圧電素子と当接せず、かつ、ノズルの配列方向と直交する方向に、平行に伸びるスリット状の第２の薄肉部５１ｅが設けられる。 （もっと読む）

【課題】振動板部材を電鋳で形成するときに位置合わせパターンを形成する領域の厚みが不均一になって高い精度で中心位置がずれ、圧電部材との接合精度が低下する。
【解決手段】振動板部材２は、電鋳で形成され、圧電部材１２の駆動柱１２Ａが当接する厚肉部からなる島状凸部２ｂと島状凸部２ｂの周囲の薄肉部２ａとからなるアイランド部２０を有し、振動板部材２には圧電部材１２と位置合わせするときの位置合わせパターンとして貫通穴２１、２１が形成され、貫通穴２１のノズル配列方向の両側にはアイランド部２０と同じ形状の肉抜きパターン２２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】チャンネルばらつきの少ない良好なインクジェット、噴射特性のバラツキの少ない印字品質の良好な画像形成を可能とする。フィルタプレートの取扱い性の向上も目的とする。
【解決手段】流路部材としての流路基板１を有し、該流路基板１の上面に接合したノズル板２には、複数のノズル４が列状に形成されている。また、上記三層の接合されたプレートによって、本発明にかかるインクジェットヘッドは、インク滴を吐出する複数のノズル４が連通する個別液室で形成された加圧液室６と、該加圧液室６にインクを供給する流体抵抗部７と、インク導入部８とを形成し、フレーム部材１７に形成した共通液室１８から、フィルタプレート５のフィルタ部２０、液導入部８、流体抵抗部７を介して各加圧液室６にインクが供給される。フィルタ部の厚さ等を柔軟に加工することにより、上記目的を達成するものである。 （もっと読む）

【課題】振動板部材の第１凸部の高さが第２凸部の高さよりも高く形成されると、振動板部材と圧電部材を接合したときに、振動領域が液室側に初期状態で押圧されて振動領域の変位が制限を受け、安定した滴吐出特性が得られなくなる。
【解決手段】振動板部材３の振動領域３１には第１凸部３２が形成され、各液室２２の間の隔壁（液室間隔壁）１２２に対応して第２凸部３３が形成され、第１凸部３２には圧電部材４２の駆動柱１４２ａが接合され、第２凸部３３には圧電部材４２の非駆動柱１４２ｂが接合され、振動領域３１には、第１凸部３２の両側と液室隔壁１２２との間に、液室２２側に凸となる凹凸形状の撓み部３４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】静電気が基板に到達して起こる基板へのダメージを防止することができる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子３を有する基板１と、前記液体を吐出する吐出口１０及び吐出口に連通する液体流路１１を構成する流路形成部材と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記流路形成部材に配置された導電膜１２と、導電膜と電気的に接続された抵抗体と、を備える液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】 セラミックスである圧電素子に複数のノズルを、精度良くかつ、安価に形成することは難しく、加工費を要するものとなっている。
【解決手段】 インクの吐出孔を有するノズルが形成されるノズルプレートと、前記ノズルにインクを供給するインク供給路と、前記ノズルプレートのノズルの前記吐出孔を囲んで形成される第１の電極と、前記ノズルプレートのノズルの前記吐出孔を囲み、かつ前記第１の電極を覆う圧電体膜と、前記圧電体膜を覆い、前記ノズルプレートを形成する金属材料からなる第２の電極と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ヘッドを高精度に位置決め可能とし、１つのヘッド交換でも高い位置精度を再現できる画像形成装置の提供。
【解決手段】各ヘッド２のフレーム部材１１７の外面には、ノズル配列方向の位置決めを行う２つの第１の位置決め面２１ａ、２１ｂが、ノズル配列方向と直交する方向の位置決めを行う第２の位置決め面２２が、滴吐出方向の位置決めを行う３つの第３の位置決め面２３ａ〜２３ｃが、それぞれヘッド２の完成後に切削加工されて設けられ、各ヘッド２の第１の位置決め面２１ａ、２１ｂと端部のノズル１０４ａまでの距離が同じであり、第２の位置決め面２２と端部のノズル１０４ａまでの距離が同じであり、第３の位置決め面２３ａ〜２３ｃとノズル面までの距離が同じである。 （もっと読む）

【課題】 生産工程で実施される印字テストを不要にし、生産性を向上させるインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】 金属で形成され、インク滴が吐出されるノズル孔２ａを中央側に配列するノズル板２と、該ノズル板２上に積層され、ノズル孔２ａと連通するインク流路３ａを有し、赤外線の透過を許容する材質を用いてインク流路３ａがエッチング加工される流路板３と、該流路板３上に積層され、インク流路３ａ内のインク液を加圧する金属で形成される振動板４と、該振動板４を変形させる圧力を発生させる圧力発生手段とを備え、流路板３とノズル板２との積層状態で、インク流路３ａはノズル孔２ａとその積層方向で重なり合って連通する連通孔３ｃと、該連通孔３ｃの外側に形成される凹状の連通溝３ｄとを含み、ノズル板２は連通溝３ｄが形成される個所の流路板３には積層されずに、流路板３の連通孔３ｃを囲う近傍に積層される大きさで形成される。 （もっと読む）

【課題】振動領域の変位効率を高くするとともに相互干渉を抑制することが難しい。
【解決手段】ノズル４が連通する液室６の壁面の一部を形成する振動板部材２には、振動領域２ａに対応して圧電部材１２の駆動圧電素子柱１２Ａと接合する島状の第１凸部２ｂを形成し、液室間隔壁６Ａに対応する部分に非駆動圧電素子柱１２Ｂと接合する第２凸部２ｃを形成し、第１凸部２ｂのノズル配列方向における基部の幅Ｗａ１が、第２凸部２ｃのノズル配列方向における基部の幅Ｗａ２よりも広く形成され、かつ、ノズル配列方向における駆動圧電素子柱１２Ａの幅が、非駆動圧電素子柱１２Ｂの幅より狭く形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、凹部を有し、形状精度よい吐出口部材が歩留まりよく得られる吐出口部材の製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、吐出口を形成するための絶縁性の第１のレジストと、流路壁の凹部を形成するための絶縁性の第２のレジストと、を表面に備えた、少なくとも前記表面が導電性の基体を用意する工程と、前記第１のレジストと前記第２のレジストとをマスクとして利用してめっきを行い、吐出口部材の一部分となるめっき層を形成する工程と、前記第２のレジストを除去する工程と、前記第１のレジストをマスクとしてめっきを行い、前記壁の凹部となるめっき層を形成する工程と、前記第１のレジスト及び前記基体を除去する工程と、をこの順に有する吐出口部材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】チャンバと連通している供給管に気泡が付着しないインクジェットプリントヘッドおよびその製造方法の提供。
【解決手段】感光性樹脂３８の構造層内に作られているチャンバと、それぞれの対応するインク供給管は、タンタルと金の保護層３４、３６で作られた平坦な底壁３６と、少なくとも１つの射出ノズル４６を含み、連続する外周線に沿って底壁に連結されている、実質的に凸状の表面で構成された上壁と、によって境界が定められており、各チャンバと各供給管の内側形状は、金属の、制御された非包囲式の金属の成長から得られ、タンタルの層３４の上に載っている金の層３６の寸法から始めて堆積した犠牲層５７の外側形状の相補形の印象なっている。 （もっと読む）

【課題】 圧電層を破損させることなく、配線基板と圧電アクチュエータの剥離を抑制できる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 流路ユニット２とアクチュエータ４との間に介挿された保護層３は、アクチュエータ４と接着する薄肉部３ａと、アクチュエータ４の外周縁よりも外側に広く、薄肉部３ａよりも厚く形成された厚肉部３ｂを有し、アクチュエータ４の複数の表面個別電極３７上のバンプ電極４５ａと配線部材８の端子部８７とが、バンプ電極４５ａと合成樹脂層８３によって接合されていて、アクチュエータ４よりも外側に位置する保護層３の厚肉部３ｂと配線部材８の基材８１とが合成樹脂層８３によって接合されている。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータユニットの電気的短絡を防止するために流路ユニットとアクチュエータユニットとの間に介在させる部材をできるだけ薄く且つ平らに形成する。
【解決手段】インクジェットヘッドの製造において、吐出口及び圧力室を含むインク流路が形成された流路ユニット１０ａと、各圧力室に対応するアクチュエータを複数有すると共に複数の圧力室に跨って配置されるアクチュエータユニットとの間であって、アクチュエータユニットにおける圧力室の開口を覆う部分に、ニッケル膜５１及び貴金属膜５２からなる保護膜５０を介在させる。シリコンウェハー２００の平滑面２００ａ上に保護膜５０を形成した後、シリコンウェハー２００に支持させたまま保護膜５０を流路ユニット１０ａ上に載置し固定する。その後、シリコンウェハー２００を保護膜５０から剥離し、保護膜５０におけるシリコンウェハー２００が剥離された面に、アクチュエータユニットを接着する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板の共通配線電極の電極幅を個別配線電極の電極幅と同等としても大型ヘッドでレーザー接合を行う場合に半田の接合強度が低下し、あるいはタクトタイムが低下する。
【解決手段】圧電素子部材１２の一端部には、駆動圧電素子柱１２Ａよりも幅広の非駆動圧電素子柱１２Ｂａを形成し、非駆動圧電素子柱１２Ｂａの個別電極側端面にすべての駆動圧電素子柱１２Ａの共通電極２４を接続した共通電極部２５を設け、圧電素子部材１２の各駆動用圧電素子柱１２Ａの個別電極２３にはＦＰＣ１５の個別配線電極３１Ａを電気的接続部材である半田３２で接合して電気的に接続し、また、圧電素子部材１２の一端部側の非駆動圧電素子柱１２Ｂａに設けられた共通電極部２５にはＦＰＣ１５の共通配線電極３１Ｂを同じく半田３２で接合して電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの長尺化に伴って圧電素子部材に溝加工を複数の圧電素子柱を形成するときに圧電素子柱の倒れ、チッピングが生じる。
【解決手段】圧電素子部材１２には溝１４によって複数の圧電素子柱１２Ａ、１２Ｂが形成され、圧電素子柱１２Ａの端面に設けた個別電極には金属箔４１が接合され、金属箔４１に、圧電素子柱１２Ａに駆動信号を与えるＦＰＣ１５の電極４２が接合されて接続されていることで、圧電素子部材１２に溝加工を施すときに金属箔４１で補強されて溝加工による圧電素子柱１２Ａの倒れやチッピングが発生しなくなる。 （もっと読む）