【課題】マトリクス状に配置されたノズルと長大化したインク供給路とを有していても良好な液体吐出特性を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクが導入される第１の本流リザーバ７１及び第１の本流リザーバ７１からインクが供給される複数の支流リザーバ７２を備えるインク供給路７０と、支流リザーバ７２に連通してマトリクス状に配置された一群のノズル３４と、第１の本流リザーバ７１を加熱する第１の加熱部材９１と、各支流リザーバ７２を加熱する第２の加熱部材９２とを具備し、第１の加熱部材９１と第２の加熱部材９２とは別々に加熱され、且つ、各支流リザーバ７２は他の支流リザーバ７２と別々に加熱され、第２の加熱部材９２は、ノズル３４の利用状況に応じて支流リザーバ７２の加熱状態を変更するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図る。
【解決手段】インクを吐出する複数のノズル３８ａに夫々対応する複数の圧力室４１が設けられた流路ユニット１７と、圧力室４１内のインクに移送圧力を与えるべく流路ユニット１７に重ねられたアクチュエータ１８と、流路ユニット１７に重ねられたフレーム１３とを備え、流路ユニット１７は、アクチュエータ１８が重ねられた側の幅狭部２６と、幅狭部２６の反対側にあって幅狭部２６よりも幅寸法が広い幅広部２７とを有し、フレーム１３は、アクチュエータ１８及び幅狭部２６を囲むように幅広部２７の外側部分２７ａに重ねられている。 （もっと読む）

【課題】被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接合膜付き基材、かかる接合膜付き基材と被着体とを、低温下で効率よく接合する接合方法、および、前記接合膜付き基材と被着体とが高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合膜付き基材は、基板２（基材）と、この基板２上に設けられた接合膜３とを有しており、対向基板４（他の被着体）に対して接合可能なものである。このような接合膜３は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基が導入された膜である。また、この接合膜３は、紫外線を照射することにより、表面３５付近に存在する脱離基が脱離し、これにより接合膜３の表面３５に、対向基板４との接着性が発現し得るものである。 （もっと読む）

【課題】流路ユニット周囲の外気との熱の交換を可能な限り抑制して、液体流路内の液体との熱交換を効率よく行うことで、前記液体の温度調整を速やかに行うことが可能な液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド６は、ノズル２８を含む流路ユニット１０と、ノズル２８からインクを噴射するための噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータ３０とを備え、流路ユニット１０に含まれる流路構造体１２には、循環路４０が形成されている。流路ユニット１０に含まれるノズルプレート１１が、上下方向において循環路４０の一部と重なっている。流路構造体１２は、ノズルプレート１１と圧電アクチュエータ３０に比べて熱伝導率が高い。 （もっと読む）

【課題】屈曲された脚部を有する配線基盤を用いることなく、配線基板と圧電素子との接触を抑制して液体噴射特性の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口３４に連通する圧力発生室２１が設けられた流路形成基板２２と、該流路形成基板２２の一方面側に設けられて前記圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧電素子４０と、前記流路形成基板２２の一方面側に設けられて前記圧電素子４０に導通すると共に、前記流路形成基板２２と反対側の面に、傾斜した接続面４７を備える端子部４６と、前記端子部４６の前記接続面４７に電気的に接続され、前記圧電素子４０を駆動する駆動信号を供給する配線層５１が設けられた配線基板５０と、を具備し、前記接続面４７を、前記圧電素子４０側が当該圧電素子４０とは反対側よりも所定の基準面に対して高くする。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成部材の撥水層の耐久性及び撥水性のいずれも両立して向上することができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】ノズル板３は、ノズル基材３１の液滴吐出側の面に撥水層３２が形成され、撥水層３２は、フッ素樹脂層からなり、単分子の層３２ａ、二量体の層３２ｂ、多量体又はコポリマー（分子鎖）が絡み合った層３２ｃで構成され、これらの単分子の層３２ａ、二量体の層３２ｂ、多量体の層３２ｃがいずれもノズル板３の表面に露出した状態で形成されている。 （もっと読む）

【課題】焼成時において前記駆動に用いる電極による反りを抑制するとともに、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査する。
【解決手段】インクジェットヘッド３は、複数の圧力室１４Ａａとその各圧力室１４Ａａとそれぞれ連通する複数のノズルとを有するキャビティユニット１１と、キャビティユニット１１に固着された積層型圧電アクチュエータ１２とを備える。圧電アクチュエータ１２は、複数の圧電層１２ａ，１２ｂと駆動に用いる駆動電極２１，２２とダミー電極２３とが厚み方向に積層されて構成される。その積層体の積層方向における圧力室１４Ａａ側に、ダミー電極２３が位置している。焼成時において前記駆動に用いる電極２１，２２による反りを抑制するとともに、圧電層１５の、圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を検査する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】樹脂層及び金属層からなる振動板部材を使用する液体吐出ヘッドにおいて、滴吐出特性のバラツキを低減することができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】振動板部材２は、振動板領域２Ａを形成する樹脂層２２上に島状凸部２Ｂなどを形成する金属層２１を析出させ、金属層２１をエッチングして島状凸部２Ｂを形成したものであり金属層２１は、樹脂層２２側と反対側の面（金属層２１の表面）側の結晶粒の大きさ（結晶粒径ａ）が、樹脂層２２側の面（金属層２１の樹脂層界面）側の結晶粒の大きさ（結晶粒径ｂ）よりも大きく（ａ＞ｂの関係に）形成されている。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、基板２０の下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合されており、この接合膜１５は、プラズマ重合法で形成され、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与したことにより、接合膜１５の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜１５に発現した接着性によって、基板２０とノズルプレート１０とを接合している。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの実装密度が高集積化しても圧電振動子の加工性を確保しつつ、かつ振動板のコンプライアンスも十分に確保することで、高速印刷かつ高密度なオンデマンド型のインクジェット式記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インク滴を吐出させるノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室にインクを供給するインク供給路と、前記圧力発生室の一面を封止する振動板と、前記圧力発生室を前記振動板に設けられた凸部を介して加圧する縦振動モードを有する圧電振動子とを有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記振動板上の凸部は前記圧電振動子が複数個形成されていて、前記複数個の凸部の振動板との境界稜線領域内の平面積が、前記圧電振動子が前記凸部に当接する端面の長手方向の長さを最大としたときに形成される１個の凸部前記平面積に対し６０％〜８０％であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを効率よく製造する液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、封止シート３０と振動板４０とを接合してなる封止板を用意する工程と、ノズルプレート１０上に接合膜１５を形成するとともに封止板の下面に接合膜２５を形成する工程と、各接合膜１５、２５にそれぞれエネルギーを付与する工程と、吐出液貯留室形成基板２０に接合膜１５および接合膜２５が密着するように、封止板、吐出液貯留室形成基板２０およびノズルプレート１０の３部材を同時に接合する工程とを有する。各接合膜１５、２５は、それぞれプラズマ重合法により形成されたものであり、シロキサン結合を含むランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、該Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子部材に対して１枚のＦＰＣを接合するとき、圧電素子部材間で段差による接合不良を低減する圧電型アクチュエータを提供する。
【解決手段】圧電型アクチュエータ１は、複数の圧電素子柱が形成された圧電素子部材２がベース３部材上に柱並び方向に沿って、所定の隙間１０を置いて、複数並べて配置された２列の圧電素子部材列を有し、各圧電素子部材列の各圧電素子柱に1枚のフレキシブル配線基板であるＦＰＣ３が直接接続され、圧電素子柱に直接接続されるＦＰＣ３の先端部分（接続部分）には、複数の圧電素子部材２、２間（隙間１０）に対応してくさび形状の切り込み５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合体、および、かかる接合体を、低温下で効率よく製造することができる接合方法を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、第1の基材21上に、第1の金属原子と脱離基とを含む第1の接合膜31を形成して第1の接合膜付き基材11を得るとともに、第2の基材22上に、第1の金属原子よりもイオン化傾向が大きい第2の金属原子と脱離基とを含む第2の接合膜32を形成して第2の接合膜付き基材12を得る工程と、第1の接合膜31および第2の接合膜32に対してエネルギーを付与して、前記脱離基をこれら接合膜31、32から脱離させることにより、前記接合膜31、32に接着性を発現させる工程と、前記接合膜31、32同士が密着するように、第1の接合膜付き基材11と第2の接合膜付き基材12とを貼り合わせて、前記接合膜31、32同士が接合された接合体5を得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドに適用した際に、長期間にわたって高品位の印字を可能とするノズルプレート、かかるノズルプレートの製造方法、寸法精度に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドの製造方法、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、ノズル孔１１を有し、一方の面に撥水膜１４、他方の面に接合膜１５を備えたノズルプレート８０と、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、ノズルプレート８０が備える撥水膜１４と接合膜１５とは、ともに、シロキサン結合を含み、ランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合するアルキル基とを含むプラズマ重合膜で構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】隣接するプレート同士を高精度に位置決めする。
【解決手段】プレート１２２〜１３０の両端近傍に、位置決め孔１８ａ〜１８ｉ及び参照孔１９ａ〜１９ｉの各組がそれぞれ形成されている。位置決め孔１８ａ〜１８ｉ及び参照孔１９ａ〜１９ｉが交互に配置されるように、プレート１２２〜１３０を順に配置するごとに、インク吐出面２ａ側から光を照射しつつ、上方から位置決め孔１８ｂ〜１８ｉ及び参照孔１９ｂ〜１９ｉの各組を撮像する。このとき、平面視において、位置決め孔１８ａ〜１８ｉが、全ての参照孔１９ａ〜１９ｉ、及び、当該位置決め孔１８ａ〜１８ｉよりも下方に位置する別の前記位置決め孔１８ａ〜１８ｉに収容されている。撮像結果に基づいて、位置決め孔１８ａ〜１８ｉの中心がそれぞれ所定の位置関係で配置されるように、各プレート１２２〜１３０の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】交換の必要なノズルを交換できる小型の液体噴射ヘッド、それを備えた液体噴射装置およびノズルの交換方法を提供すること。
【解決手段】第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとの熱膨張係数が異なるので、第１ノズルプレート２０Ａを加熱または冷却すると、接着剤１６を介して取付枠２０１に力が加わる。このとき、接着剤１６の剥離が起こり、第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１から第１ノズルプレート２０Ａを取り外すことができる。したがって、インクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置にノズル開口２１交換のための機構を取付ける必要がなく、ノズルプレート２０の一部の交換でノズル開口２１の交換が行える小型のインクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高精度な接合が可能で、安定した吐出特性が得られるものとする。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０を、加圧液室６が形成されたを備えた、圧電素子１２で振動される振動板２、ノズル４を備えたノズル板３、圧電素子１２を保持するフレーム部材１５で構成し、隣り合って配置される流路板１と振動板２とを、圧延加工された金属プレートを含むものとし、流路板１の金属プレートの圧延方向ａと直交する方向を加圧液室６の長手方向となるように配置し、振動板２の金属プレートの圧延方向ｂに沿った方向が加圧液室６の長手方向となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】シリコンなどを素材とする部材と接合して使用する場合に、熱変形による反りなど防止可能なノズルプレートおよびその製造方法の提供。
【解決手段】この発明は、プレート１１にノズル孔１２を形成したノズルプレート１であって、構成材料がチタン系合金からなる。そのチタン系合金の構成元素は、例えばＴｉ（チタン）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｎｂ（ニオブ）である。また、ノズル孔１２はプレス加工で形成される。 （もっと読む）

【課題】撥液膜の形状劣化や基板の反りを防止しつつ、撥液膜の撥液性を回復させる。
【解決手段】基板上に撥液膜を形成する工程と、前記撥液膜上に所定形状にパターニングされたマスクを形成する工程と、前記マスクを介して前記撥液膜をパターニングする工程と、前記マスクを除去する工程と、前記撥液膜の表面に対してフッ素プラズマ処理を行う工程と、を含むことを特徴とする撥液膜のパターニング方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接合膜付き基材、かかる接合膜付き基材と被着体とを、低温下で効率よく接合する接合方法、および、前記接合膜付き基材と被着体とが高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合膜付き基材１は、基板２（基材）と、この基板２上に設けられた接合膜３とを有しており、対向基板４（他の被着体）に対して接合可能なものである。このような接合膜３は、基板２上に、金属錯体を含有する液状材料を供給し、この液状材料を乾燥・焼成することにより設けられた、金属原子と、有機成分で構成される脱離基が導入された膜である。また、この接合膜３は、紫外線を照射することにより、表面３５付近に存在する脱離基が脱離し、これにより接合膜３の表面３５に、対向基板４との接着性が発現し得るものである。 （もっと読む）