【課題】薄い振動膜を有する圧電アクチュエータを単体で容易に製造できる。
【解決手段】まず、アニール処理工程での所定の温度よりも低い鉛からなる分離膜８１（基材）をステージ８０上に形成する。次に、圧電材料の粒子を分離膜８１の表面に堆積させることにより圧電層３２を形成する。続いて、ＡＤ法によりステンレスの粒子を圧電層３２の表面に堆積させることにより振動膜３１を形成する。次に、分離膜８１、振動膜３１及び圧電層３２を所定の温度に加熱して、圧電層３２に対して熱処理を施す。このとき、分離膜８１はアニール処理工程で溶けて、振動膜３１及び圧電層３２はステージ８０から取り外され、振動膜３１及び圧電層３２を傾けて、溶けた鉛を除去する。その後、圧電層３２上の複数の圧力室１４と対向する領域に、複数の個別電極３３をそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上させることができる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】複数の短尺の液体噴射ヘッドとしての短尺状インク噴射ヘッド８が配列されて構成される液体噴射ヘッドとしてのインク噴射ヘッド４において、短尺状インク噴射ヘッド８の各ノズルの液体噴射方向に、各ノズルにそれぞれ連通する複数の孔部１１が形成されるプレート７が配置され、短尺状インク噴射ヘッド８のノズルプレート９のノズル開口部１０の開口径は、プレート７の孔部１１の開口径よりも大きく、短尺状インク噴射ヘッド８とプレート７とは、プレート７の各孔部１１が、それぞれノズルプレート９のノズル開口部１０の内側に位置するように配置されていること。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ノズルが形成された吐出面の撥水処理を容易に行うことができるとともにノズルからのインクの良好な吐出状態を実現することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】インクを吐出するノズルが形成される金属製のノズルプレート及びノズルに連通するインク流路を形成する複数の金属製のヘッドプレートを積層してインクジェットヘッドを製造する場合、ノズルが形成されていないノズルプレートを最外側に配置した状態でヘッドプレートと積層して拡散接合により一体化し、一体化された積層プレートのノズルプレート表面に対して撥水性樹脂微粒子を共析させた複合メッキ被膜を形成して撥水処理し、撥水処理されたノズルプレートに対して放電加工によりノズル孔を形成することで、撥水処理の影響を受けずにノズル孔を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】短時間で、ノズル孔周囲の不良およびノズル孔内部の異物の有無を一括して検査できるノズルプレートの検査装置等を提供することである。
【解決手段】ノズルプレート２がセットされるセットステージ１２と、ノズルプレート２を移動させる移動テーブル１３と、各ノズル孔３の表面側周囲７および内部を画像認識する認識カメラ１４と、認識カメラ１４のフォーカシング距離を調整するＺテーブル１５と、各ノズル孔３の表面側周囲７を照明する反射照明１６と、各ノズル孔３内部を照明する透過照明１７と、ノズルプレート２の高さを計測するレーザー変位計１８と、制御装置１９と、を備え、制御装置１９は、ノズルプレート２の高さを計測する計測動作と、フォーカシング距離を調整するフォーカシング調整動作と、各ノズル孔３の表面側周囲７の不良を検査する表面検査と、各ノズル孔３の内部の異物の有無を検査する孔内検査と、を連続して実施するものである。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータユニットが破損するのを抑制する。
【解決手段】共通インク室、共通インク室の出口から圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットの上面９ａに、窪み１２２ａが形成されている。窪み１２２ａは、平面形状がアクチュエータユニット２１を収容可能なサイズと形状を有しており、その底面１２２ｂにアクチュエータユニット２１が固定されている。窪み１２２ａの深さが、アクチュエータユニット２１の厚みよりも小さくなっており、アクチュエータユニット２１が、流路ユニットの上面９ａから突出している。 （もっと読む）

【課題】低電圧化を可能としたアクチュエータを提供する。
【解決手段】振動板Ａと、振動板Ａの一面に設けた振動板側電極８に密接して設けられて圧電変位して振動板Ａを変位変形させる圧電素子Ｂと、を備え、圧電素子Ｂは、圧電素子側電極１２及び振動板側電極間８に複数の圧電膜９、１１と、各圧電膜と交互に積層された隣り合う複数の層からなる中間電極１０と、を備え、各圧電膜は、中間電極１０を構成する各層と、振動板側電極８又は圧電素子側電極１２との間に電位を印加されることで変位するようにした。 （もっと読む）

【課題】誘電率を精度よく測定する。
【解決手段】圧電アクチュエータ１２は、圧電層１２ａ，１２ｂそれぞれの表面に設けられている第１および第２の駆動電極パターン４１，４２、定電位電極パターン４３を備える。定電位電極パターン４３は、キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが積層される方向Ｚから見て、駆動電極パターン４１，４２の測定電極部４１ａ，４２ａに対し、間隔を存在させて平行に延びる測定電極部４３ａ，４３ｂ，４３ｃを有する。測定電極部４１ａと測定電極部４３ａ，４３ｂ，４３ｃとの間隔ｈ１と、測定電極部４２ａと測定電極部４３ａ，４３ｂ，４３ｃとの間隔ｈ２は大きさが異なる。定電位電極パターン４３と駆動電極パターン４１，４２とにより、複数の圧電層についての面内方向の静電容量をそれぞれ測定し、測定した両静電容量に基づき、誘電率を求める。 （もっと読む）

【課題】クロストーク現象の抑制効果を高めることができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】液体を吐出するための複数のノズル２０、複数のノズルに個別に設けられる複数の圧力室２５、及び複数の圧力室の各々と連通する共通液室２３を有するキャビティユニット２を備え、圧力室内の液体に圧力を付与してノズルより液体を吐出する液体吐出ヘッド１であって、キャビティユニットのうち共通液室を区画する壁面２７ａ〜２７ｃの少なくとも一部分が、壁面に形成された複数の孔に金属メッキ処理を施すことによって、湾曲する凹凸を有した凹凸面をなすようにする。 （もっと読む）

【課題】振動板を被固定対象物に磁力によって簡便に固定するとともに、固定解除後に振動板の残留磁化を消磁することが可能な、圧電アクチュエータの製造方法を提供すること。
【解決手段】まず、強磁性体からなる振動板４０を、磁石を有するステージ５２に固定する。次に、振動板４０に、圧電材料からなる粒子とキャリアガスとを含んだエアロゾルを吹き付けて粒子を堆積させて圧電層４１を成膜する。その後、圧電層４１が形成された振動板４０を所定の消磁温度以上に加熱して、圧電層４１のアニール処理と振動板４０の残留磁化の消磁とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドにおいて、インクの吐出効率を低下させることなく、気泡を除去する効果を高めること。
【解決手段】インクを吐出させる複数のノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルプレートの一面と接合されノズルのそれぞれに連通する複数の開口部を有する板状部材と、開口部に各々連通するとともに一端からインクが供給され他端からインクが排出される複数の圧力室と、圧力室の容積を可変させて圧力室内のインクを加圧する圧力発生手段とを有し、圧力室の一面が板状部材の一面で構成されたインクジェットヘッドにおいて、開口部は圧力室と接する開口面積がノズルプレートと接する開口面積より大きく、かつ開口部の圧力室の長手方向の断面におけるテーパー角が開口部の圧力室の配列方向の断面におけるテーパー角より大きくした。 （もっと読む）

【課題】吐出特性を正確に把握して印字品質の向上を図ることができる液滴吐出ヘッド及
び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル列３８が２列並設されるノズル基板３３と、ノズル
基板３３を支持するヘッドケース２０とを備える液滴吐出ヘッド１０であって、ヘッドケ
ース２０内において上記並設されたノズル列３８の間に沿って配設され、ヘッドケース２
０外に一部が露出する露出部４２を備える熱伝導板４０と、露出部４２と接触して温度を
計測する熱電対５０とを有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】管状基材上に圧電素子を短時間で、低温かつ任意の厚さで接着工程もなく直接形成してなるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、円管状基材１５の外面に下電極１６、圧電素子１７、上電極１８をこの順に積層してなる。駆動素子として用いられる圧電素子１７は、下電極１６が形成された円管状基材１５に圧電材料からなる微粒子をガスとともに吹き付けることにより直接形成されている。 （もっと読む）

【課題】２つの基材同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができるとともに、使用後にはこれら基材同士を効率よく剥離することができる接合体の形成方法、および、２つの基材同士が高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合体の形成方法は、第１の基板（基材）２１および第２の基板（基材）２２上に、それぞれ、化学的気相成膜法を用いて、銅と有機成分とで構成され、前記銅の含有率が原子比で８０ａｔ．％以上でかつ９０ａｔ．％未満である接合膜３１、３２を形成する工程と、接合膜３１、３２同士が対向するようにして、第１の基板２１および第２の基板２２同士を接触させた状態で、第１の基板２１および第２の基板２２間に圧縮力を付与して、接合膜３１、３２同士を結着させることにより接合体を得る工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】２つの基材同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができるとともに、使用後にはこれら基材同士を効率よく剥離することができる接合体の形成方法、および、２つの基材同士が高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合体の形成方法は、第１の基板（基材）２１および第２の基板（基材）２２上に、それぞれ、化学的気相成膜法を用いて、銅と有機成分とで構成され、前記銅の含有率が９０ａｔ．％以上でかつ９９ａｔ．％未満である接合膜３１、３２を形成する工程と、接合膜３１、３２同士が対向するようにして、第１の基板２１および第２の基板２２同士を接触させた状態で、第１の基板２１および第２の基板２２間に圧縮力を付与して、接合膜３１、３２同士を結着させることにより接合体を得る工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】インク温度を的確に検出してインク吐出を良好に行う。
【解決手段】一表面に開口し平行間隔をあけて形成された複数の吐出溝を有するアクチュエータ基板３およびアクチュエータ基板３に接合され吐出溝を閉塞するカバープレート基板５とによって構成される液体噴射ヘッドチップ１と、液体噴射ヘッドチップ１に接合され、カバープレート基板５によって吐出溝が閉塞されることにより形成される複数の吐出チャンネルにインクを供給する共通液体流路６０を有するベースプレート５０とを備え、共通液体流路６０の少なくとも内面がアルミニウムによって構成されている液体噴射ヘッド１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ボンドプレス部品及び連続ベルト炉部品が不要な金属合金化方法を提供する。
【解決手段】複数の可溶部を固定具上に積層し、固定具に固定されたピンを介して可溶部を位置合わせし、拡散炉の反応チャンバ内に前記位置合わせされた可溶部を有する固定具を配置し、所定のドウェル時間にわたり所定のドウェル温度で第一レベルの合金化を実施し、所定のろう付け時間にわたり所定のろう付け温度で第二レベルの合金化を実施する、ことを含む、拡散炉を利用する一体化された金属合金化方法。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子柱を有する圧電素子部材を用いた液体吐出ヘッドにおいて、端部の圧電素子柱の変位が他の圧電素子柱と異なることによる、ノズル間での液滴の吐出特性のばらつきを低減できる画像形成装置の提供。
【解決手段】複数の圧電素子柱を配列した圧電素子部材を有し、端部の圧電素子柱に印加する共通駆動波形を生成する第２共通駆動波形発生部５４１Ｂと、端部以外の他の圧電素子柱に印加する共通駆動波形を生成する第１共通駆動波形生成部５４１Ａを備え、端部の圧電素子柱に印加する駆動電圧を端部以外の圧電素子柱に印加する駆動電圧よりも高く設定した。 （もっと読む）

【課題】容易に液滴形状を形成することができるノズルプレートを提供する。
【解決手段】本発明に係るノズルプレート１００は、基板１１０と、基板１１０の厚み方向に貫通し、厚み方向のテーパー形状を有する開口部１２０と、開口部１２０を部分的に塞ぐ閉塞部１３０と、閉塞部１３０を支持する支持部１４０と、を含み、閉塞部１３０は、開口部１２０に、開口部１２０を構成する基板１１０の側面１１０ｃと離間して設けられ、支持部１４０は、開口部１２０に設けられ、閉塞部１３０と、開口部１２０を構成する基板１１０の側面１１０ｃとを当接する。 （もっと読む）

【課題】容易に液滴を形成することができるノズルプレートを提供する。
【解決手段】本発明に係るノズルプレート１００は、基板１０と、基板１０に形成された複数のノズル孔２０と、を含み、複数のノズル孔２０の各々は、基板１０の液体を吐出する吐出側の面１０ａに形成された第１開口２２と、基板１０の吐出側の面１０ａと反対側の面１０ｂに形成された第２開口２４と、を有し、複数のノズル孔２０の第１開口２２を、複数のノズル孔２０から吐出される液体の吐出方向３２に平行移動させたときの軌跡２３は、互いに重なり合う部分２３ａを有する。 （もっと読む）

【課題】2つの基材同士を接合するために設けられた接合膜に優れた耐溶剤性を発揮させることができる接合方法、および、かかる接合方法により接合された耐溶剤性に優れた接合体を提供する。
【解決手段】接合方法は、接合膜を介して互いに接合すべき第1の基材21と第2の基材22とを用意し、第1の基材21および第2の基材22の少なくとも一方に、シリコーン材料を含有する液状材料を供給することにより液状被膜を形成する工程と、液状被膜を乾燥して、第1の基材21および第2の基材22の少なくとも一方に、接合膜3を得る工程と、接合膜3を加熱することにより、この接合膜3中に含まれる前記シリコーン材料同士を架橋する工程と、接合膜3にエネルギーを付与することにより、接合膜3の表面32付近に接着性を発現させこの接合膜3を介して第1の基材21と第2の基材22とが接合された接合体1を得る工程とを有する。 （もっと読む）