【課題】振動板を薄膜にしても、また絶縁膜にＨｉｇｈ−ｋ材や表面保護膜を使用しても、振動板の反りなどの変形を抑制できる静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】振動板５と、この振動板に対向する電極（個別電極６）と、前記振動板を静電気力により変位させる駆動手段２０とを有する静電アクチュエータにおいて、前記振動板５は、前記電極に対する電極側対向面に絶縁膜７を有するとともに、前記電極側対向面と反対面に前記絶縁膜７の膜応力を打ち消すための応力調整膜８を有する。 （もっと読む）

【課題】微小静電機械システム（ＭＥＭＳ）膜を利用し、均一性及び劣化安定性を有するインク吐出方法を提供する。
【解決手段】加圧された流体チャンバ１０５からインクの連続的な流れ１２９を形成するステップと、駆動回路１４０により駆動信号を作動させてＭＥＭＳ膜１１０を作動させるステップと、インクの連続的な流れ１２９を摂動させるためのＭＥＭＳ膜１１０の摂動に応答して流れ１２９を均一な流滴１５０に分裂させるステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】さまざまな態様の吐出制御を行うことができる構造の液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１と、変位して液体を加圧する振動板（上流側振動板２２Ａ、下流側振動板２２Ｂ）を直列に備え、ノズル３１に連通する液体の流路上に設けられる吐出室２１と、吐出室２１の各振動板とそれぞれ対向し、各振動板との間に静電気力を発生させて、それぞれ独立したタイミングで各振動板を変位させる固定電極１２Ａ、１２Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】より有効に吐出量を変化させる等の吐出制御を行うことができる液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１と、変位して液体を加圧する振動板（上流側振動板２２Ａ、下流側振動板２２Ｂ）をそれぞれ備え、ノズル３１に連通する液体の流路上に直列に設けられる複数の吐出室（上流側吐出室２１Ａ、下流側吐出室２１Ｂ）と、各吐出室の振動板とそれぞれ対向し、各振動板との間に静電気力を発生させて、それぞれ独立したタイミングで各振動板を変位させる複数の固定電極（上流側個別電極１２Ａ、下流側個別電極１２Ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】より有効に吐出量を変化させる等の吐出制御を行うことができる液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１と、変位して液体を加圧する振動板（上流側振動板２２Ａ、下流側振動板２２Ｂ）をそれぞれ備え、ノズル３１に連通する液体の流路上に直列に設けられる複数の吐出室（上流側吐出室２１Ａ、下流側吐出室２１Ｂ）と、各吐出室の振動板と対向し、各振動板との間に静電気力を発生させて各振動板を変位させる個別電極１２Ａ、１２Ｂとを備え、各振動板の変位による排除体積が異なるようにする。 （もっと読む）

【課題】高い応答性を維持しつつ、接触面積の問題を解決し、貼り付きを防止することができる静電アクチュエータ等を得る。
【解決手段】可動電極となる振動板２２と、電極基板１０上に形成された固定電極となる個別電極１２とを備え、振動板２２と個別電極１２との間に電圧が印加されると静電気力を発生させる液滴吐出ヘッド等の静電アクチュエータにおいて、個別電極１２は、導電性金属を材料とする金属電極１２Ａと、金属電極１２Ａの材料とは異なる導電性材料からなり、個別電極１２に凹凸を設けるために金属電極１２Ａ上に形成された複数の凸部電極１２Ｂとで構成されている。 （もっと読む）

【課題】凹部の深さ（ギャップ長）を高精度に測定できるようにした静電アクチュエータ
の製造方法等を得る。
【解決手段】ガラス基板５０にエッチングマスク５１を形成する工程と、エッチングマス
ク５１をエッチングして、電極用凹部１１及びダミーパターン凹部１４を形成するための
開口部を形成する工程と、エッチングを行い、開口部に対応する部分に電極用凹部１１及
びダミーパターン凹部１４を形成する工程と、電極用凹部１１及びダミーパターン凹部１
４を形成するための開口部もさらに広げる工程と、エッチングを行って、広げた開口部に
対応する部分に、階段状の凹部を形成する工程と、上記の工程を１又は複数回繰り返して
所望の段数の凹部を形成する工程と、固定電極となる膜を形成する工程と、ダミーパター
ン凹部１４の部分における深さを接触式段差計により測定する工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドにおいてウェハを一緒に接合する前に、静電薄膜および駆動電極が別個のウェハ上に製造されるＭＥＭＳ静電型インクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】ドライバコンポーネント１１０と、ドライバコンポーネント１１０とは別個に製造され、開口のない流体薄膜を含んだＭＥＭＳコンポーネント１１２と、ドライバコンポーネント１１０およびＭＥＭＳコンポーネント１１２を作動的に接合する結合フィーチャ３３２と、ＭＥＭＳコンポーネント１１２に取り付けられたノズルプレート１１４を備えるＭＥＭＳ型インクジェットプリントヘッドである。 （もっと読む）

【課題】消費電力が小さく、また構造も簡単でコスト増を招くことを防止する。
【解決手段】電磁場により液状体Ｌを移動し圧力を付与して液滴として吐出させる振動体５５を有する。機能性流体ＬＤと、機能性流体ＬＤに電磁場を加えて移動させ振動体５５を変位させる電磁場発生装置３３、３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータ基板を貫通して形成された液供給路に接液膜を形成する場合、上記方法を適用した場合、材料の表面張力によって液供給路の表面（出入り口）付近で被覆性（膜厚）が不十分となり易い。
【解決手段】アクチュエータ基板１０の液供給路である液供給口６０の基板表面部分には、絶縁膜１１、１３、２２、応力調整膜２４、犠牲層除去孔封止膜２５の積層膜からなる接液性を有する庇６２が設けられ、この庇６２と液供給路６０内壁に接液膜６１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動パルスの立ち上がり時、立ち下がり時に瞬間的に容量成分を充放電するために流れる充放電時のピーク電流を小さく抑える。
【解決手段】液体吐出ヘッドＨは、第１の共通電極となる振動板電極を含む振動板と、振動板にギャップを介して対向する固定電極とを有し、固定電極は個別電極１４ａと複数のノズルに対応する第２の共通電極１４ｂとで構成され、滴吐出タイミングで、液滴を吐出するノズルについては第１の共通電極と個別電極１４ａ及び第２の共通電極１４ｂとの間にパルス電圧Ｐｖ２を印加して振動板を液滴吐出が可能な変形量で変形させ、液滴を吐出しないノズルについては第１の共通電極と第２の共通電極１４ｂとの間にパルス電圧Ｐｖ１を印加して振動板を液滴を吐出しない程度に変形させる。 （もっと読む）

【課題】疎水性のインク噴射面を有する印刷ヘッドを製造する優れた方法を提供する。
【解決手段】上記の方法は、（ａ）複数のノズルチャンバと、インク噴射面を少なくとも部分的に画定する相対的に親水性のノズル表面とを備えた、部分的に製造された印刷ヘッドを用意するステップと、（ｂ）ノズル表面に、アッシングによる除去に対して抵抗性を有する相対的に疎水性のポリマー材料の層を付着させるステップと、（ｃ）ノズル表面内に複数のノズル開口を画定するステップとを含み、これによって、相対的に疎水性のインク噴射面を有する印刷ヘッドを製造する。ステップ（ｂ）と（ｃ）は任意の順序で実行することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に配線接続を行うことができて実装信頼性が高く、低コストで生産性が高い液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】 外部の力により少なくとも一部分が形状変化して、連通するノズル孔３０から液滴が吐出される１または複数の吐出室５が形成された第１の基板１と、第１の基板１と陽極接合し、電力が供給されると、選択された又はすべての吐出室５に力を加えて形状変化させる１又は複数の個別電極部Ｂを有する第２の基板２とを少なくとも備え、第２の基板２に第１の基板１と通電可能に当接する接点５０を備えた共通電極部Ａが設けられ、共通電極部Ａの端子部を個別電極部Ｂの端子部と同一平面上に設け、共通電極部Ａ及び個別電極部Ｂの端子部に電圧を印加して吐出室５の形状を変化させるようにした。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、高密度化、多ノズル化を容易に実現することが可能な液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とし、さらには本発明の液滴吐出ヘッドを搭載することにより、装置の小型化を可能にし、高繊細・高品位の液滴吐出と高速駆動に対応し得る液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔５のそれぞれに連通する吐出室６と、前記吐出室の底壁で形成される振動板８を変位可能に駆動するアクチュエータ１４と、前記吐出室のそれぞれに共通に連通するリザーバ部１７とは、それぞれ異なる平面上に区画形成され、前記リザーバ部の形成面１３に垂直な方向の投影面が前記吐出室および前記アクチュエータの形成面１１、１２内に包含されるように、前記吐出室６、前記アクチュエータ１４、前記リザーバ部１７をこの順に積層配置した構造とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造及び簡易な製造プロセスでノズル間ピッチの増大を低減しつつ、吐出エネルギーを増大させることでインク吐出性能の向上を図るようにした液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、複数の吐出室１３が形成され、吐出室１３の底壁に振動板１２となるインク流路が形成されたキャビティ基板２と、振動板１２にギャップ５を隔てて対向し、振動板１２を駆動する個別電極１７が形成された電極基板１と、吐出室１３から移送される液滴を吐出するノズル孔８が形成されたノズル基板３とを備え、ノズル孔８を、このノズル孔８を中心として隣り合う少なくとも２つの吐出室１３に連通させたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 光誘起磁性材料と強磁性体の磁気的相互作用を利用することで、耐久性・環境性・微細構造に優れたインクジェットヘッドが可能となる。
【解決手段】 インク流路３を形成しているインク流路壁、インク流路壁の一部に振動板５、振動板５上部に光誘起磁性材料薄膜層２、光誘起磁性材料薄膜層２とインク流路３を挟んで対向する位置に強磁性体１を配置し、光照射により光誘起磁性材料薄膜層２の磁性を変化させることで、強磁性体１と磁気的相互作用を生じさせ、吸引及び反発を繰り返すことでインク流路３の体積変化を伴い、インクを吐出する。 （もっと読む）

【課題】接合不良による信頼性低下を防ぐことが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】ノズル基板とキャビティ基板とを単結晶シリコン基板で構成し、リザーバ基板と電極基板とをガラス基板で構成し、これらの基板を陽極接合により接合するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 既存の方式のインクジェットヘッドが有していた課題を解決するとともに、高速かつ高精細で経時安定した品質の画像プリントを可能にする。
【解決手段】 平行に形成された複数の液室と該液室からインクを吐出するためのノズルを有し、該液室の容積を変化させることでインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、該平行に形成された複数の液室に対して垂直方向の磁界を発生させる手段、および可撓性と該液室に平行な導電性を有する液室間を隔てる隔壁とを配置することを特徴とするインクジェットヘッド。ローレンツ力により隔壁を変形する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつノズル間の圧力干渉を防止できる液滴吐出ヘッドを歩留まり良く製造することが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドは、ノズル孔を有するノズル基板と、吐出室を有するキャビティ基板と、リザーバ２３となる凹部２４を有し且つノズル孔に連通するノズル連通孔２１が貫通形成されたリザーバ基板とを少なくとも備え、更にリザーバの壁の一部に圧力変動を緩衝するダイアフラム部が設けられたものであり、シリコン基板２００にリザーバ２３となる凹部２４を形成する際の酸化膜のフォトリソグラフィープロセスにおいて、シリコン基板２００のリザーバ２３となる凹部２４の形成面とは反対側の面全体に保護フィルム２２０を貼り付けて反対面を保護するようにし、保護フィルム２００の貼り付けを、減圧環境下で行うようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】空隙内圧と大気圧の差圧解消や信頼性向上を目的とする空隙内へのガス導入を効率的に行うための共通連通路の開口断面積が十分大きくない。
【解決手段】１つのアクチュエータ基板１上に構成された、変形可能な振動板１１及びこの振動板１１に空隙１３を介して対向する電極１４を備え、複数の空隙１３が個別連通路１５Ａを介して連通している共通連通路１５を有し、共通連通路１５及び個別連通路１５Ａの一部は、電極１４を形成する電極形成層２４及び空隙１３を形成する空隙形成層２７と、電極形成層２４より下側のシリコン基板２１上の絶縁層２２が取り除かれて形成されている。 （もっと読む）