【課題】低コストの電源を使用することができ、より正確なインク滴吐出を楽に維持すること。
【解決手段】プリンタ用の吐出パルス継続時間制御システムとしての制御システムが提供される。制御システムは、使用可能な電圧を示す信号である第1信号を受信するための第
１入力ポートを備える。更に制御システムは、電圧信号によって索引付けされるプログラム可能且つ更新可能なパルス継続時間表を備える。パルス継続時間表は、１つの吐出パルスの所定の継続時間を表わす制御信号を発生させために用いられる。更に制御システムは、制御信号を送信するための出力ポートを備える。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで酸化物からなる耐吐出液保護膜１３を連続して形成し、耐吐出液保護膜１３の上に撥水膜１４を形成した。また、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜１２を連続して設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム部を構成する樹脂薄膜のリザーバ基板との接着性及び密着性を十分に確保し、樹脂薄膜が剥がれることのない液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板の一方の面からリザーバ凹部２３ａをウェットエッチングにより形成する工程、リザーバ凹部の開口部よりも大きい開口を有するマスク部材を用いて、リザーバ凹部の開口外縁部から内面全体にわたって下地金属膜２６とその上に樹脂薄膜２５を積層する工程、シリコン基板の他方の面からリザーバ凹部の底部のシリコンをエッチングにより選択的に除去して、下地金属膜を露呈させる工程、露呈した下地金属膜を樹脂薄膜が露呈するまでエッチングにより除去して、ダイアフラム部を形成する工程、ノズル基板の製造において、下地金属膜と樹脂薄膜とからなる積層膜に接触しないようリザーバ凹部の開口外縁部を覆う凹部を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出面およびノズル孔内壁が吐出液に浸食されず、耐久性に優れ、撥水性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで連続して耐吐出液保護膜１３が形成され、耐吐出液保護膜１３の液滴吐出側の面１ａに凹凸を形成し、耐吐出液保護膜１３の凹凸面に沿って撥水膜１４をさらに形成した。そして、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて連続して保護膜１２を設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。ノズル孔１１の内壁１１ｃはノズル孔１１の吐出口縁部１１ｄを境にして親水化処理されている。耐吐出液保護膜１３はＤＬＣからなる膜であり、耐吐出液保護膜１３の凹凸は高さが数十ｎｍから数μｍであり、撥水膜１４はフッ素含有有機ケイ素化合物からなる膜である。 （もっと読む）

【課題】長期に渡り安定した撥水性を維持でき、カーボン・ナノ・チューブ層よりも安価な撥水膜が形成されたノズルプレート、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及びノズルプレートの製造方法を得る。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有するノズルプレート１の液滴吐出面にＤＬＣ膜１３を形成し、ＤＬＣ膜１３の表面に凹凸１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】静電吸引方式インクジェットヘッドの放電発生時の駆動電極への電流流れ込みを低減させる。
【解決手段】駆動用電極１６が形成された圧電材料の駆動壁１５とキャビティ１４とが交互に配置された圧力発生体と、圧力発生体のキャビティ１４の開口面に接合された絶縁材料のノズル板１１とを備え、ノズル板１１にノズル１２が設けられ、ノズル板１１に対向する対向電極との間に電界を形成してノズル１２から吐出されるインクを加速吸引する静電吸引式インクジェットヘッドにおいて、インクは導電性インクであり、少なくともインクを吐出するキャビティ１４内の壁面に、駆動用電極１６とは別の接地されたアース電極１７が設けられ、アース電極１７が設けられたキャビティ１４内の駆動用電極１６のノズル板側１１の先端とノズル１２との最短距離をＡ、アース電極１７のノズル板１１側の先端とノズル１２との最短距離をＢとしたとき、Ａ＞Ｂの条件を満たす。 （もっと読む）

【課題】圧力室中のインクの動きに合致した静電アクチュエータの構造を提案する。
【解決手段】ノズル８を有したノズル基板４と、底面が静電力で変形可能な横長形状の振動板１２に形成されている圧力室１３を有し、圧力室１３の長手方向の一端側がノズル基板４のノズル８に連通し、長手方向の他端側が吐出液を貯えるリザーバ１４に連通したキャビティ基板２と、個別電極１８を有し、該個別電極１８が振動板１２に隙間を介して対向配置された電極基板３とを備え、振動板１２と個別電極１８との隙間は、圧力室１３の長手方向の中間部と両端部とのそれぞれの間において、それぞれの間の中心部に行くに従って順次広くなっている液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータを構成する振動板の大変位かつ安定的な変位を可能とする。
【解決手段】電極基板４の個別電極１０は、振動板５１の横長形状の長手方向に沿って振動板５１の中央部分に対向配置された第一個別電極１０Ａと、振動板５１の横長形状の長手方向に沿って振動板５１の中央部分の両側部分に対向して配置された第二個別電極１０Ｂとを有し、第一個別電極１０Ａと第二個別電極１０Ｂとが独立して制御可能とされており、第一個別電極１０Ａと第二個別電極１０Ｂとの同時駆動時には、振動板５１と第二個別電極１０Ｂとの間で発生する静電力が、振動板５１と第一個別電極１０Ａとの間で発生する静電力より大きくなるようにしている。 （もっと読む）

【課題】寿命の長い駆動部と寿命の短い噴射部を離合自在に構成して駆動部に対し噴射部を交換可能な構成にした高周波音響液体ジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】駆動部１２の超高周波発生部２５は駆動制御部２４を介して共通電極２１と個別電極２３間に超高周波電圧を供給する。超高周波電圧を印加された薄層２２は超音波を出射し、駆動部１２の基材Ｂ１９、噴射部１１の第２の音響整合層１８、基材Ａ１７、第１の音響整合層１６、を伝播して液室１５に達し、ノズル孔１３から液滴２６を噴射させる。駆動部１２と噴射部１１は離合自在に合体し、ノズル孔１３の重度の目詰まり等の回復不能な障害が起きたときは駆動部１２に対し噴射部１１を交換することができる。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム部となるパリレン薄膜とリザーバ基板との接触面積及び密着性を十分に確保することが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】リザーバ基板２になるシリコン基材２００の一方の面からリザーバ２３となるリザーバ凹部２３ａをウェットエッチングにより形成する工程と、リザーバ凹部２３ａ内に下地膜としてクロム膜２０５と金膜２０５ａとを順次形成する工程と、リザーバ凹部２３ａの内面全体に対してパリレン薄膜１１１を形成する工程と、反対側の面からパリレン薄膜１１１が露呈するまでエッチングし、ダイアフラム部１００を形成する工程とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】シリコンからなる基板に対して形状ばらつきの少ない凹部を形成可能とする。
【解決手段】第１の酸化膜エッチング工程において、第１の酸化膜エッチング工程（ステップＳ４）において、エッチングによって酸化膜３０１に形成される凹部３０４の側壁部３０５は、等方性エッチングによって得られる傾斜角αを有する傾斜部３０７を備え、かつ、該傾斜部３０７の酸化膜エッチングによる深さ距離Ｌ１が、第２の酸化膜エッチング工程（ステップＳ６）にてエッチングされる酸化膜の深さ距離よりも大きな深さ距離となるようにエッチングされることによって形成される。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板、キャビティ基板及び電極基板を接着剤レスで接合することができ、また、ノズル形状を高精度に形成することが可能な液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル基板３、キャビティ基板１及び電極基板２がこの順に重ねて接合された液滴吐出ヘッドであって、ノズル基板３と電極基板２とをシリコン基板で構成し、キャビティ基板１をガラス基板で構成したものである。 （もっと読む）

【課題】犠牲層エッチングで空隙を形成する構造では、固定電極層上の犠牲層溝が形成された部分における振動板電極層と固定電極層間の耐圧が低下して滴吐出特性のばらつきが生じる。
【解決手段】固定電極１２ａを形成する固定電極層１２と、空隙を形成する犠牲層１４と、可変電極２３ａを形成する可変電極層２３が順次積層され、固定電極１２ａと可変電極２３ａとの間の犠牲層１４がエッチングで除去されて空隙１４ａが形成され、犠牲層１４を各空隙１４ａに対応して分離する犠牲層分離溝の部分７１では固定電極層１２上に可変電極２３ａ及び可変電極層２３が存在していない。 （もっと読む）

【課題】外気圧の変動に影響されることなく、常に所望の圧力が発生できる静電アクチュエータ、液滴の吐出を適切に行うことのできる静電式液体噴射装置を提案することにある。
【解決手段】静電式のインクジェットヘッド１は、インクノズル２１に連通した圧力室６と、大気開放された大気圧室１２を備え、圧力室６の底面には振動板５が形成され、この振動板５と個別電極４３の間に電圧を印加することにより、振動板５が静電気力により振動して、インク液滴の吐出が行われる。密閉室としての振動室４１は圧力補償室４９に連通しており、圧力補償室４９の底面は外気圧の変動に応じて面外方向に変位可能な変位板１６が形成されている。変位板１６が変位することにより、圧力補償室４９の容積が増減し、これに連通している各振動室４１の内圧が外気圧に一致するように調整される。 （もっと読む）

【課題】空隙内圧と大気圧の差圧解消や信頼性向上を目的とする空隙内へのガス導入を効率的に行うことができない。
【解決手段】アクチュエータ基板１上に構成された振動板２０及びこの振動板２０に空隙１４を介して対向する個別電極１２を備え、複数の空隙１４、１４間の隔壁部１５の下側に、隔壁部１５の長手方向に沿って個別連通路１６を設けるとともに、個別連通路１６と空隙１４とを連通する個別連通路孔１７を設け、更に各個別連通路１６が連通する共通連通路１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドの外力に対する耐性を向上し、強い外力がカバー部に作用した場合であってもカバー部及びダイアフラムの損傷を抑止可能とする。
【解決手段】ノズル開口を介して流体を噴射した際に生じる流体流路内の振動波を減衰するためのダイアフラム３９を備えるノズル基板３０と、上記ダイアフラム３９を覆うことによって保護するカバー部４０とを備える流体噴射ヘッドであって、上記ノズル基板３０と上記カバー部４０との間の隙間に充填されると共に上記ダイアフラムの変位領域を避けて配置される充填部４２を備える。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドが備える流体流路が接着剤によって閉塞されることを防止する。
【解決手段】流体を噴射するノズル開口及び該ノズル開口に連通される流体流路５５の一部が形成された第１基板３０と、上記流体流路５５の残部が形成された第２基板２０とが接着剤８０を介して接合された流体噴射ヘッドであって、上記第１基板３０及び上記第２基板２０の少なくともいずれか一方は、上記接着剤８０の流れを堰き止める防御部９０を備える。 （もっと読む）

【課題】外気圧の変動に影響されることなく、常に所望の圧力が発生できる静電アクチュエータ、液滴の吐出を適切に行うことのできる静電式液体噴射装置を提案することにある。
【解決手段】静電式のインクジェットヘッド１は、インクノズル２１に連通した圧力室６と、大気開放された大気圧室１２を備え、圧力室６の底面には振動板５が形成され、この振動板５と個別電極４３の間に電圧を印加することにより、振動板５が静電気力により振動して、インク液滴の吐出が行われる。密閉室としての振動室４１は圧力補償室４９に連通しており、圧力補償室４９の底面は外気圧の変動に応じて面外方向に変位可能な変位板１６が形成されている。変位板１６が変位することにより、圧力補償室４９の容積が増減し、これに連通している各振動室４１の内圧が外気圧に一致するように調整される。 （もっと読む）

【課題】外気圧の変動に影響されることなく、常に所望の圧力が発生できる静電アクチュエータ、液滴の吐出を適切に行うことのできる静電式液体噴射装置を提案することにある。
【解決手段】静電式のインクジェットヘッド１は、インクノズル２１に連通した圧力室６と、大気開放された大気圧室１２を備え、圧力室６の底面には振動板５が形成され、この振動板５と個別電極４３の間に電圧を印加することにより、振動板５が静電気力により振動して、インク液滴の吐出が行われる。密閉室としての振動室４１は圧力補償室４９に連通しており、圧力補償室４９の底面は外気圧の変動に応じて面外方向に変位可能な変位板１６が形成されている。変位板１６が変位することにより、圧力補償室４９の容積が増減し、これに連通している各振動室４１の内圧が外気圧に一致するように調整される。 （もっと読む）

【課題】ノズル間の圧力干渉がなく、また外気圧の変化に対して影響を受けることなく、
安定した吐出特性が得られ、しかも小型化が可能で、高密度化、多ノズル化を容易に実現
することが可能な液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔５が形成されたノズル基板１と、底壁が振動
板７を形成し、吐出室６となる凹部がノズル孔毎に形成されたキャビティ基板２と、振動
板に対向し、振動板を駆動する複数の個別電極８が形成された電極基板３と、吐出室に液
滴を供給する第１のリザーバ１１となる凹部が形成されたリザーバ基板４とを備え、ノズ
ル基板、キャビティ基板、電極基板、リザーバ基板はこの順に積層配置され、キャビティ
基板には第２のリザーバ１２となる開口部が設けられ、電極基板には第３のリザーバ１３
となる開口部が設けられ、第１のリザーバとなる凹部、第２のリザーバとなる開口部、第
３のリザーバとなる開口部を、それぞれ連通させる。 （もっと読む）