【課題】高粘度な混合液を高効率かつ安定に吐出できる液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】流路部材１２は、液滴吐出方向および逆方向に撓み可能であり、液流路１３を通ってノズル１６まで達した液を、慣性によって吐出方向に液滴２として吐出する。ノズル１６に至るまで、図５（Ｂ）に示すように長手方向両端より液流路１３の内部をそれぞれＡ液、Ｂ液が給送される。図５（Ｃ）に楕円で示される反応進行領域である区間Ｍでは、ノズル１６近傍で接触したＡ液とＢ液とが混合され、反応が進行し高粘度化が起こる。次いで図５（Ｄ）に示されるようにノズル１６より液滴２が吐出される。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドにおけるドット抜け検出を容易に行うことを可能とするシリコン製のノズル基板、このノズル基板を備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】導電性を有するシリコン基板で構成され、シリコン基板において液滴吐出側となる吐出面上に、ノズル１１から吐出される前の液滴をシリコン基板の表面を介して帯電させるための電圧印加に用いるドット抜け用電極１２が設けられているものである。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエーターの高密度化に対応するためにリード配線間の距離が短くなっても、マイグレーション等の発生を防ぎ、信頼性を維持することができる静電アクチュエーター等を得る。
【解決手段】可動電極となる振動板２２と、電極基板上に形成された固定電極となる電極１２の個別電極部１２Ａとを備え、振動板２２と個別電極部１２Ａとの間に電圧を印加して静電気力を発生させて振動板２２を駆動する静電アクチュエーターであって、電極基板１０は、ドライバーＩＣ５０と電気的に接続するための端子部１２Ｃ、個別電極部１２Ａと端子部１２Ｃとを電気的に接続するリード配線部１２Ｂ及び複数のリード配線部１２Ｂを被覆して絶縁を行うための絶縁膜１５をさらに有するものである。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエーターの高密度化に対応するためにリード配線の距離が短くなっても、マイグレーション等の発生を防ぎ、信頼性を維持することができる静電アクチュエーター等を得る。
【解決手段】可動電極となる振動板２２と、電極基板上に形成された固定電極となる電極１２の個別電極部１２Ａとを備え、振動板２２と個別電極部１２Ａとの間に電圧を印加して静電気力を発生させて振動板２２を駆動する静電アクチュエーターであって、電極基板１０は、発振駆動回路４１と個別電極部１２Ａとを電気的に接続するためのリード配線部１２Ｂ及びリード配線部１２Ｂの端子となる部分を残し、部分的に複数のリード配線部１２Ｂを被覆して絶縁を行うための絶縁膜１３をさらに有するものである。 （もっと読む）

【課題】製造プロセス、構成を簡単にし、残留電荷等の除去等を行うことができる静電ア
クチュエーター等を得る。
【解決手段】電極基板１０上に形成された固定電極となる電極１２の個別電極部１２Ａと
、個別電極部１２Ａと所定の距離で対向し、個別電極部１２Ａとの間で発生した静電気力
により動作する可動電極となる振動板２２と、個別電極部１２Ａを覆う絶縁膜１３と、振
動板２２の個別電極部１２Ａと対向する面に直接設けられ、接触による摩耗から絶縁膜１
３を保護する、カーボン系材料からなる表面保護膜２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】シリコン結晶欠陥の発生を防止し、絶縁耐圧を確保した絶縁膜を形成して、安定した吐出特性、駆動耐久性を有する静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】ボロン拡散源を用いてシリコン基板２の一方の面にボロンドープ層２２０を形成する工程を有し、エッチングストップ技術によりボロンドープ層２２０を振動板として形成する静電アクチュエータの製造方法であって、ボロンドープ層２２０を形成する際のボロン拡散源が、Ｂ₂Ｏ₃を主成分とし、Ｐｄ含有量が０．１ｐｐｍ以下である。この場合、Ｐｄ含有量は０．０９ｐｐｍ以下が好ましい。そして、ボロン拡散する際には、エージングによりボロン拡散源内のＰｄ含有量を低減してボロン拡散する。 （もっと読む）

【課題】着弾精度を向上させることができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体吐出装置１００は、液体を吐出するためのノズル孔１２を有するノズル板１０と、ノズル孔１２と連通する液体供給路３０と、液体供給路３０から、ノズル孔１２に液体を供給する液体供給機構１４０と、液体供給路３０に設けられた開閉機構１５０と、ノズル孔１２の側壁に噴射口２０ａを有する気体供給路２０と、を含み、ノズル孔１２に供給された液体の一部は、ノズル孔１２から気体とともに吐出される。 （もっと読む）

【課題】絶縁耐圧に優れた液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】複数のギャップ段差部２０に電極部Ａがそれぞれ形成された第２の基板２と、壁面の一部が振動板１２からなる複数の吐出室１３を有し、振動板１２の吐出室と反対側の面上に絶縁膜１５が成膜された第１の基板１とを少なくとも備え、振動板１２及び絶縁膜１５をギャップＧを介して電極部Ａと対向させ、ギャップ段差部２０から電極部Ａを取り出す電極取り出し部２９を備えた液滴吐出ヘッドであって、ギャップ段差部２０の電極取り出し部２９の近傍にエッチング耐性を有する絶縁保護膜２５を形成した。この絶縁保護膜２５は、電極部Ａのリード部２２の端部近傍に形成する。 （もっと読む）

【課題】ドライバＩＣ収容部を形成する際に、エッチングガスの回り込みによりリード部の絶縁膜がアタックされず、絶縁不良を引き起こすことがない液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】ノズル基板４０、底壁に振動板１８を形成したキャビティ基板１０、電極基板２０、リザーバ基板３０、キャビティ基板１０上に実装されたドライバＩＣ２と、キャビティ基板１０上に形成されたリード部１４とを備え、個別電極２２とドライバＩＣ２とは配線部３により接続され、配線部３は、その一端が個別電極２２に接続されてキャビティ基板１０に設けた配線引き出し孔１６から引き出され、その他端がドライバＩＣ２に接続される。この場合、個別電極２２とドライバＩＣ２とが接続される配線部３によって、振動板１８と電極凹部２１との間に形成されたギャップＧが封止される。 （もっと読む）

【課題】より簡便な方法で、吐出性能の高いノズルとなる穴を形成することができるノズル基板の製造方法等を得る。
【解決手段】シリコン基板５１に形成したフォトレジスト５２に対して露光及び現像を行って、ノズル３１を形成するためのシリコン露出部分周辺におけるフォトレジスト５２に対して、傾斜部分を設けたパターンを形成する工程と、フォトレジスト５２をマスクとして異方性ドライエッチングを行って、テーパ形状のノズル３１となる穴を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】吐出口周辺においてディッシング形状を有さず、安定した吐出特性を得ることができるノズル基板等を得る。
【解決手段】平板を貫通させて、液体を吐出するためのノズル３１を形成した、シリコンからなるノズル基板３０において、液滴の吐出面において、吐出口周辺部分が凹んだディッシング形状（ラウンド形状）とならないようにノズル３１が基板の表面よりも突出した吐出口を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、個別電極５と振動板６との間に静電気力を発生させて、振動板６に変位を生じさせる駆動制御回路４０とを備えた静電アクチュエータにおいて、振動板６または個別電極５上に酸化物系絶縁膜７が形成され、この酸化物系絶縁膜７の上に当接面側が最も体積抵抗率が高くなるように、厚み方向に連続的に体積抵抗率が変化する水素化アモルファスカーボン膜８を形成する。 （もっと読む）

【課題】高電圧で静電アクチュエータを駆動させる場合でも、振動板と個別電極との貼り付きを防止することができる静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにそれらの駆動方法を得る。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエータは、個別電極１０が形成された電極ガラス基板２と、個別電極１０にギャップＧを隔てて対向する振動板４が形成されたキャビティ基板１とを備え、振動板４と個別電極１０との間に電圧を印加することにより発生する静電気力により振動板４を駆動する静電アクチュエータであって、ギャップＧには、振動板４と個別電極１０との間に電圧を印加することにより放電するガス５０が注入されているものである。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出ヘッドの駆動方法よりも残留振動の抑制に適した液滴吐出ヘッドの駆動方法、及びその駆動方法を用いて液滴吐出ヘッドを駆動する液滴吐出装置を得る。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッドの駆動方法は、液滴を吐出するノズル孔３１に連通するインク圧力室２１と、インク圧力室２１に貯留された液体に圧力を付与し、ノズル孔から液滴を吐出させる静電アクチュエータ（振動板２２及び個別電極１１）とを備えた液滴吐出ヘッドの駆動方法であって、ノズル孔３１から液滴を吐出させた後、インク圧力室２１に貯留された液体に、液体の残留振動より位相を９０°遅らせた波形の圧力を、静電アクチュエータによって付与するものである。 （もっと読む）

【課題】優れたインクジェットノズルアセンブリを提供する。
【解決手段】インクジェットノズルアセンブリは、ノズル開口及びインク入口を有する、インクを収容するノズルチャンバと、当該アセンブリの一端部に配置され駆動回路に接続された１対の電気接点と、ノズル開口からインクを吐出させる熱曲げアクチュエータと、を具備する。このアクチュエータは、電気接点に接続され接点から長手方向に離れて延びる能動梁であって、接点間で屈曲した電流流路を画定する能動梁と、能動梁に融着された受動梁であって、能動梁に電流が流れると能動梁が発熱して受動梁に比べて膨張し、その結果アクチュエータが曲がる受動梁と、を備える。このアクチュエータは、アクチュエータの曲げの間、インク内で正圧パルスを生成する作用面を有し、この作用面が８００平方ミクロン未満の面積を有する。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータの繰返し駆動による可動電極及び固定電極の表面に形成された電極保護膜同士の表面吸着力を抑制し、かつ、動作安定性及び信頼性を維持することができる静電型アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】 一部が可動電極となっている変形可能な振動板と、前記振動板に空隙を介して対向配置された固定電極とを備え、前記可動電極と前記固定電極との間に電圧を印可した時に発生する静電力で前記振動板が変形し、前記振動板の前記空隙に面した第１の部分が、前記固定電極の前記空隙に面した第２の部分と当接する静電型アクチュエータであって、前記第１の部分及び前記第２の部分のみが、疎水性を有する部分であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、装置の充分な信頼性を確保することができるアクチュエータ装置、このアクチュエータ装置を備えた液体吐出ヘッド及びこの液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ基板（アクチュエータ装置）１０においては、疎水剤導入部５２は、開放孔５１からの疎水剤供給経路長が全ての静電型アクチュエータ７３の中で最長の位置にある静電型アクチュエータ７３と同一となる位置又はこの静電型アクチュエータ７３よりも長くなる位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】シリコン基材の厚み精度を向上させ、かつ薄板化を容易に行なうことができるシリコン製ノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基材１００の一方の面をドライエッチングして、ノズル孔１１となる凹部１１０とそれより深い終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０とを同時に形成する工程と、ノズル孔１１となる凹部１１０及び終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０を形成した側の面に支持基板５０を貼り合わせる工程と、ノズル孔１１となる凹部１１０及び終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０を形成した側の面と反対側の面１００ｃを研削して、終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０が貫通したことを検出する工程と、終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０が貫通したことを検出したときに研削を終了し、研削された面をさらに薄板化してノズル孔１１となる凹部１１０を開口する工程と、支持基板５０を剥離する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】振動板の厚みばらつきが低減されて厚みが高精度化され、さらに共通電極を容易に取り出すことができる液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】複数の積層された基板１、２、３に、少なくとも、液滴を吐出する複数のノズル孔３０と、各ノズル孔３０のそれぞれに連通する吐出室１３と、吐出室１３の底壁に形成された振動板１２と、各吐出室１３と連通され吐出室１３に液体を供給するリザーバ１４と、振動板１２と対向配置されて振動板１２を駆動する個別電極２１とが形成され、積層された基板１、２、３のうちの一の基板１がシリコン製の基板であって、少なくとも吐出室１３を形成した基材と、この基材の底面に接合した振動板１２とを備え、基材が（１１０）面方位のシリコン単結晶基材１０からなり、振動板１２が（１１１）面方位のシリコン単結晶基材１１からなる。 （もっと読む）

【課題】各ノズルからのインク吐出量の安定化や、ノズル及び吐出室の高密度化、多列化が可能な液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】液滴を吐出するノズル３１が形成されたノズル基板３０と、ノズル３１と連通する吐出室２１が形成され、振動板２２となる吐出室２１の底壁に個別電極２４が形成されたキャビティ基板２０と、少なくとも振動板２２と対向する範囲に振動板２２を駆動する共通電極１１が形成された電極基板１０と、キャビティ基板２０と電極基板１０との間に設けられ、振動板２２と共通電極１１との間にギャップを形成するスペーサ層２５とを備えるものである。 （もっと読む）