【課題】リザーバー内に伝播する液体の圧力変動を十分に吸収することができ、吐出安定性を確保することが可能な液体噴射ヘッド及びこれを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】記録ヘッド２はノズル開口１８に連通する圧力発生室１９となる溝部と溝部の底部の少なくとも一部であって圧力発生源２６の駆動によって発生する振動を圧力発生室に伝える振動板２３と圧力発生室にインク供給口２１を介して連通する共通インク室２０となる溝部と溝部の底部２０ａに開口して共通インク室内にインクを導入するインク導入口２２とが形成された流路形成基板１５と流路形成基板に積層されインク導入口と連通してインクを共通インク室側へ供給するインク導入口２７と圧力発生源の個別電極２５とが形成された電極基板１７とを備え流路形成基板であって共通インク室に対向する領域に第１薄肉部３０を設けることにより流路形成基板と電極基盤との間に空間３１を形成した。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換素子と振動板から成る圧力発生部材（アクチュエータ）の曲がり方向を一様にして液体吐出量を増加させると共に、製造コストを上げたり集積度を低下させないように、圧力発生部材について工夫すること。
【解決手段】圧力室(15)と、この圧力室にそれぞれ連通して設けられたノズル(17)及び液体供給路(18)と、上記圧力室の一部を構成する振動板(14)、及びこの振動板と一体的に形成された電気機械変換素子(13)により構成され、上記圧力室に圧力を発生させる圧力発生部材とから成り、上記電気機械変換素子に電圧を印加することにより、上記ノズルから液体を吐出する液体吐出装置を前提として、
上記振動板(14)の一部の剛性を変えて、上記電気機械変換素子の曲がり方向が一様になるようにしたことである。 （もっと読む）

【課題】消費電力を増加することなく、絶縁膜の帯電を除去することにより、耐久性及び信頼性を向上させることが可能な構造とした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１００は、個別電極１７を形成した電極ガラス基板４と、個別電極１７にギャップ１８を隔てて対向し、個別電極１７との間で発生させた静電気力により動作する振動板８を有するキャビティ基板３とを備え、個別電極１７及び振動板８の対向面のそれぞれに絶縁膜１９を、絶縁膜１９の表面のそれぞれに絶縁膜２０を、形成し、各絶縁膜２０の互いの当接部以外の部分に導電性の導線部２１を接続した。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜間に発生する界面分極による帯電を除去することにより、耐久性及び信頼性を向上させることが可能な構造とした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１００は、個別電極１７を形成した電極ガラス基板４と、個別電極１７にギャップ１８を隔てて対向し、個別電極１７との間で発生させた静電気力により動作する振動板８を有するキャビティ基板３とを備え、個別電極１７及び振動板８の対向面のうち少なくとも一方に絶縁膜を多層に形成し、絶縁膜間に導電性の導線部２１を介在させている。 （もっと読む）

【課題】駆動耐久性に優れ、かつ高電圧駆動が可能で高密度化に対応でき、またプロセス適応性に優れた静電アクチュエータおよびその製造方法等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６とを備え、個別電極５の対向面を階段状の多段構造に形成した静電アクチュエータ４であって、個別電極５の対向面の最上段と最下段とに、物性が異なる表面保護膜８ａ、８ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】他基板と位置合わせして組み立てる際に、機械的ストレスを低減し、擦れ等によるチッピングや割れを防いで組み立て性を向上させることができるシリコン製ノズル基板等を提供すること。
【解決手段】他基板２、３との組み立て時に位置決めピン５１を通して位置合わせするためのアライメント穴１５及びトラック穴１６を備え、これらの穴１５、１６は基板面に平行な断面積が液導入面１ｂ側に向けて漸増し、基板面に垂直な断面形状が指数曲線を有する。このとき、アライメント穴１５は基板面に対して垂直な中心軸を有する回転体の連続曲面で構成され、中心軸を含む断面形状が、中心軸を対称軸として線対称な指数曲線を有する。そして、アライメント穴１５側壁及びトラック穴１６側壁の液導入面１ｂにおける接線と基板面の垂線とのなす角度が、０度以上１０度以下である。 （もっと読む）

【課題】電極基板とキャビティ基板との接合により形成されるギャップ空間内の異物に起因した駆動特性の低下防止を図ることが可能な液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】電極基板２の電極用凹部８とキャビティ基板１とによって囲まれるギャップ空間Ｇにおいて、振動板４と個別電極１１とを有するアクチュエータ部以外の部分に、エレクトレット（エレクトレット部４ｂ、１１ｂ）を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】液状体を吐出するノズルが形成された部材の強度が充分でないことに起因して、当該部材が損なわれたり、当該部材が組み込まれた吐出装置の吐出特性が損なわれたりすることを抑制できるノズル基板、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板は、液状体を吐出する吐出装置が備えるノズル基板であって、液状体が吐出される複数の吐出ノズルがシリコン基板に形成されたシリコンノズルプレートと、複数の吐出ノズルに対応するノズル開口が金属板に形成された補強プレートと、を備える。 （もっと読む）

【課題】インク吐出用のマイクロメカニカルなプランジャの耐久性を向上する。
【解決手段】パドル８は、ノズルチャンバ２内からノズルチャンバ２の１つの壁において規定されたインク噴出ノズル４を通って液体を噴出する。パドル８は、使用中はインク噴出ノズル４に対向しインク噴出ノズル４から間隔を置いて配置された略平らなプランジャ表面を提供するように構成された第１の部分と、第１の部分の周辺におけるプランジャ表面上に形成されて第１の部分の構造上の支持を行う第２の部分とを含み、それによって、使用中、プランジャが作動してインクを、インク噴出ノズル２を通って噴出している間、第２の部分がスペーサとしての役割を果たして、プランジャ表面がインク噴出ノズル４に触れるのを防止する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルのインク詰まり等を簡単な構成により簡単に解消できるようにする。
【解決手段】 ノズルユニット１２を分離する音響インクジェットプリンタにおいて、分離ノズルユニット１４におけるノズルカバー１５をプラテン１６として使用し、ノズル廃棄時には又ノズルカバーとして分離ノズルユニットを覆い、該ノズルユニットと共に廃棄するように構成する。さらに、交換時においては、新しい分離ノズルユニット１４をセットすることにより古い分離ノズルユニットを押し出すように構成する。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動を可能とし、大きな振動板変位量を得ることが可能な静電アクチュエータを提供することを目的とする。また、この静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１の電極として機能する振動板４と、振動板４にギャップＧを隔てて対向し、振動板４との間で電圧が印加される第２の電極としての個別電極１１と、振動板４の個別電極１１との対向面に形成された絶縁膜４ａと、個別電極１１の振動板４との対向面に形成された絶縁膜１１ａとを備え、絶縁膜４ａ及び絶縁膜１１ａとが同種材料で形成され、且つエレクトレット化されている。 （もっと読む）

【課題】吐出エネルギーを高めることができ、配線の引き回しや回路接続の自由度も向上する液滴吐出ヘッドを提案すること。
【解決手段】吐出液をそれぞれのノズル孔１０１から吐出させる複数の加圧室２０１が、対向する振動板の間に形成されたキャビティ基板２００を備え、振動板の一方は複数の加圧室に対して共通の共通電極振動板２１１とされ、振動板の他方は複数の加圧室にそれぞれ対応した個別電極２２３を有した個別電極振動板２２１とされており、キャビテイ基板２００に、共通電極振動板２１１と電極対を形成し複数の加圧室にそれぞれ対応した個別電極３１２を有した個別電極基板３１０と、個別電極振動板２２１と電極対を形成し複数の加圧室に対して共通の共通電極基板３２０とを、積層した液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】電極間で十分な絶縁耐圧を確保することができ、しかも絶縁膜表面の残留電荷を低減できる静電アクチュエーターを得ること。
【解決手段】可動電極を構成する可撓性の振動板１２が形成されたシリコン基板２と、振動板１２に空隙２２を介して対向する固定電極１７を有した電極基板３とを備えた静電アクチュエーターであって、固定電極１７の上面には複数の第一絶縁膜１６ａが隙間１６ｃを有して形成され、複数の第一絶縁膜１６ａの上面および各第一絶縁膜１６ａの周囲の固定電極１７の上面には第二絶縁膜１６ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドにおけるドット抜け検出を容易に行うことを可能とするシリコン製のノズル基板、このノズル基板を備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】導電性を有するシリコン基板で構成され、シリコン基板において液滴吐出側となる吐出面上に、ノズル１１から吐出される前の液滴をシリコン基板の表面を介して帯電させるための電圧印加に用いるドット抜け用電極１２が設けられているものである。 （もっと読む）

【課題】きわめて簡単な構成により静電駆動方式における残留電荷を消失させることができる静電アクチュエーターおよびその製造方法等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、個別電極５上に形成された絶縁膜７と、絶縁膜７上に表面保護膜として形成されたＤＬＣ膜８とを備え、ＤＬＣ膜８と個別電極５とを、絶縁膜７を貫通する導通部９により導通させる。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の液滴吐出面に形成された液滴保護膜の剥離又は破損の発生を抑制することができ、液滴に対するノズル基板の耐久性を向上させることができるノズル基板、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにこれらの製造方法を得る。
【解決手段】シリコン基板１００を貫通させて、液滴を吐出するためのノズル孔１１を形成したノズル基板１であって、シリコン基板１００の液滴吐出面１００ａに形成された第２の液滴保護膜１４と、液滴吐出面１００ａ側に形成され、第２の液滴保護膜１４より絶縁耐圧が低い導電性端子１３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】複雑な制御システムを必要とすることなく、異なるサイズのインク滴で同時に記録することが可能であるインクジェット記録装置およびインクジェット記録方法を提供すること。
【解決手段】記録ヘッドから吐出された飛翔中のインク滴に対して、加熱エネルギを投入するか、投入しないかによってインク滴の径を変化させる。 （もっと読む）

【課題】背圧を印加した高粘度な液を安定に吐出できる液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル１６の反吐出方向では梁部材１４およびアクチュエータ３６に開口１１６が設けられ、大気中に開放された構成とされている。これにより液流路１３より給送された液Ｌは、梁部材１４に設けられた開口１１６の近傍で形成された液溜まり１００に一時的に滞留する。回転エンコーダ２０Ｂに設けられた液吸引プール１２４は図示しない吸引手段と連通し、負圧を印加される。ノズル１６を挟んで長手方向反対側の流路部材１２には吸引路４２が設けられ、液吸引プール１２４と連通している。このため吸引路４２は開口１１６近傍の液溜まり１００に滞留する液Ｌを逐次吸引、除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の液滴吐出面に形成された液滴保護膜の剥離又は破損の発生を抑制することができ、液滴に対するノズル基板の耐久性を向上させることができるノズル基板、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにこれらの製造方法を得る。
【解決手段】シリコン基板１００を貫通させて、液滴を吐出するためのノズル孔１１を形成したノズル基板１であって、シリコン基板１００の液滴吐出面１００ａに形成された第２の液滴保護膜１４と、液滴吐出面１００ａ側に形成され、第２の液滴保護膜１４より絶縁耐圧が低い導電性端子１３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】空隙内圧と大気圧の差圧解消や信頼性向上を目的とする空隙内へのガス導入を行う大気開放部を封止するときに封止材が不必要な部分に流れ出して接合不良、接続不良、特性不良を起こす。
【解決手段】空隙１３に連通する連通路１５と、連通路１５を外部に連通させる大気開放孔４２を有する大気開放部１６と、大気開放部１６の大気開放孔４２を封止する封止材３６と、大気開放部１６の周囲を囲む凸段差部３７とが設けられ、大気開放孔４２を通じてガス導入を行った後に封止材３６で大気開放孔４２を封止するとき、封止材３６の流動性が残っている段階でも凸段差部３７で堰きとめられて、大気開放部１６以外の箇所への流れ出しが防止される。 （もっと読む）